使用固体氯化物通过气相外延单工艺制造 III 族氮化物伪衬底和器件-猫眼课题宝

使用固体氯化物通过气相外延单工艺制造 III 族氮化物伪衬底和器件

批准号：

19H02614

负责人：

Murakami Hisashi

金额：

$10.98万

依托单位：

Tokyo University of Agriculture and Technology

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

财政年份：

2019

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2019-04-01 至 2022-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19H02614/

关键词：

結晶成長エピタキシャル成長窒化物半導体混晶窒化ガリウムトリハライド低転位加工サファイア基板窒化アルミニウムガリウムヘテロ界面ワイドバンドギャップ

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通讯作者： and J. S. Speck

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作者：

[Sandeep Kumar, Hisashi Murakami, Yoshinao Kumagai, Masataka Higashiwaki]

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