Development of Tiny Tactile Sensor for Medical Tools by Punch Creep Forming of Si Thin Film
Development of Tiny Tactile Sensor for Medical Tools by Punch Creep Forming of Si Thin Film
批准号:
16K14135
负责人:
Isono Yoshitada
金额:
$2.33万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份:
2016
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2016-04-01 至 2018-03-31
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逆解析手法による単結晶Si薄膜の高温クリープ特性解明と触覚センサ開発への応用
利用逆分析方法阐明单晶硅薄膜的高温蠕变特性及其在触觉传感器开发中的应用
DOI:
--
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
作者:
[K. Osaka, S. Nakata, K. Yamamoto, T. Toyoda, K. Sugano, and Y. Isono, 大坂憲司,中田悟史,山本賢祐,菅野公二,磯野吉正, 山本賢祐,中田悟史,菅野公二,磯野吉正]
通讯作者:
山本賢祐,中田悟史,菅野公二,磯野吉正
逆解析手法による単結晶シリコン薄膜の高温クリープ三次元成形加工技術の確立
利用逆分析法建立单晶硅薄膜高温蠕变三维加工技术
DOI:
--
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
作者:
[K. Osaka, S. Nakata, K. Yamamoto, T. Toyoda, K. Sugano, and Y. Isono, 大坂憲司,中田悟史,山本賢祐,菅野公二,磯野吉正, 山本賢祐,中田悟史,菅野公二,磯野吉正, 山本賢祐,中田悟史,菅野公二,磯野吉正]
通讯作者:
山本賢祐,中田悟史,菅野公二,磯野吉正
A NOVEL 3-AXIS TINY TACTILE SENSOR DEVELOPED BY 3-D MICROSTRUCTURING USING PUNCH CREEP FORMING PROCESS
采用冲压蠕变成型工艺通过 3D 微结构开发的新型 3 轴微型触觉传感器
DOI:
--
发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
--
作者:
[K. Osaka, S. Nakata, K. Yamamoto, T. Toyoda, K. Sugano, and Y. Isono]
通讯作者:
and Y. Isono
Effect of Surface Potential on Piezoresistivity for Semi-conductive Nanowires
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批准号:18H01335
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$11.32万
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财政年份:2018
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负责人:Isono Yoshitada
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依托单位:
Enhancement of thermoelectric property of core-shell SiNWs
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批准号:18K19005
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项目类别:Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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资助金额:$3.99万
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财政年份:2018
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负责人:Isono Yoshitada
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依托单位:
Evaluation of Piezoresistivity for Semi-conductive Nanowires by MEMS-based Strain Engineering
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批准号:15H03893
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额:$10.9万
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财政年份:2015
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负责人:Isono Yoshitada
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依托单位:
国内基金
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导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
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批准号:2026JJ50499
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2026
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负责人:樊波
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依托单位:
基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2026
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负责人:王捍兵
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依托单位:
面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
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批准号:JCZRQNB202600477
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2026
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负责人:
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依托单位:
用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2026
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负责人:蔡先法
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依托单位:
掺钪氮化铝薄膜压电MEMS水声传感器关键技术研究
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批准号:JCZRMS202601290
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2026
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负责人:
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依托单位:
基于级联超构表面与MEMS谐振镜的光机协同机制与高频广角光束扫描技术研究
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批准号:JCZRQNB202600599
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2026
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负责人:
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依托单位:
基于MEMS/4D打印水凝胶异质集成的感染创面智能感知-动态修复系统研发
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2025
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负责人:
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依托单位:
高可靠高精度超薄柔性硅基MEMS智能压力传感器技术研究
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批准号:Z25A020018
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2025
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负责人:陈颖
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依托单位:
基于ScAlN薄膜的高灵敏度压电MEMS超声
相控阵研究
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:10.0万元
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批准年份:2025
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负责人:刘文娟
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依托单位:
基于硅基集成MEMS变压器与自适应电路协同设计的隔离电源芯片研究
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2025
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负责人:毛雨晴
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依托单位: