刷新
{{item.name}}会员
Study on low-temperature and high-rate deposition technology of ZnSe for the application to infrared sensor arrays
应用于红外传感器阵列的ZnSe低温高速沉积技术研究
基本信息
- 批准号：24651155
- 负责人：
- 金额：$ 2.58万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份：2012
- 资助国家：日本
- 起止时间：2012-04-01 至 2014-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
For low-temperature and high-rate deposition of ZnSe, which is used for infrared windows, hot wire metal organic chemical vapor deposition (HW-MOCVD) was studied. HW-MOCVD uses atomic hydrogen from a hot wire heated at about 2000 deg.C to decompose alkyl metal organic compounds. The HW can generate a larger amount of atomic hydrogen than plasma, but the HW is damaged by reaction or evaporates as oxide when it is exposed to the source gas or degases. In addition, a substrates is considerably heated by radiation from the HW. In this study, we have developed a new "remote-type HW system" to solve the above problems. The developed HW system was fundamentally characterized, and its operation was confirmed as designed. The deposition of ZnSe was demonstrated using diethyl Zn and dimethyl Se as sources.
针对红外窗口材料ZnSe的低温高速沉积，研究了热丝金属有机物化学气相沉积（HW-MOCVD）技术。HW-MOCVD使用来自在约2000 ℃下加热的热线的原子氢来分解烷基金属有机化合物。HW可以产生比等离子体更大量的原子氢，但是当HW暴露于源气体或脱气时，HW被反应损坏或蒸发为氧化物。此外，衬底被来自HW的辐射显著加热。在这项研究中，我们开发了一种新的“远程型硬件系统”，以解决上述问题。开发的硬件系统的基本特征，并确认其操作的设计。以二乙基锌和二甲基硒为原料，研究了硒化锌的沉积。
项目成果
期刊论文数量（8）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
MEMSプロセスのための遠隔輸送型ホットワイヤ反応装置の開
开发用于MEMS工艺的远程传输热线反应器
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：田中康基;熊野勝文;江刺正喜;田中秀治
- 通讯作者：田中秀治
Removal of SU-8 by Two Types of Hot Wire Atomic Hydrogen Sources
两种热丝原子氢源去除 SU-8
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Tanaka;M. Kumano;S. Tanaka
- 通讯作者：S. Tanaka
MEMSプロセスのための遠隔輸送型ホットワイヤ反応装置の開発
开发用于MEMS工艺的远程传输热线反应器
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Tanaka;M. Kumano;S. Tanaka;中康基,熊野勝文,江刺正喜,田中秀治
- 通讯作者：中康基,熊野勝文,江刺正喜,田中秀治
加熱タングステン触媒体を用いた遠隔輸送型原子状水素源の開発
利用加热钨催化剂开发远程传输原子氢源
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K. Tanaka;M. Kumano;S. Tanaka;中康基,熊野勝文,江刺正喜,田中秀治;中康基,熊野勝文,江刺正喜,田中秀治
- 通讯作者：中康基,熊野勝文,江刺正喜,田中秀治
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
TANAKA Shuji其他文献
TANAKA Shuji的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
{{ truncateString('TANAKA Shuji', 18)}}的其他基金
Study of Tungsten mesh anode electrode gas detector
钨丝网阳极电极气体探测器的研究
- 批准号：
24654075 - 财政年份：2012
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
General research on the history of Japanese modern sculpture
日本近代雕塑史综合研究
- 批准号：
20520086 - 财政年份：2008
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Noise Generation and Its Control of Discrete Frequency Noise Emitted from Aerofoils in Consideration of Flow Transition and Large Scaled Coherent Structures
考虑流动过渡和大规模相干结构的翼型离散频率噪声的产生及其控制
- 批准号：
14550163 - 财政年份：2002
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Electroenzymatic Activity of Cytochrome P-450cam and Application to the Organic Synthesis
细胞色素P-450cam的电酶活性及其在有机合成中的应用
- 批准号：
11650820 - 财政年份：1999
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Investigation and Control of the Combined Three Dimensional Organized Structures in Turbulent Wakes behind Bluff Bodies
断崖体后湍流尾流中组合三维组织结构的研究与控制
- 批准号：
11650193 - 财政年份：1999
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
An Investigation of the Genaration Mechanism of Discrete Frequency Noise Relating to the Large Scaled Turbulent Organized Structures and Its Noise Control
大型湍流组织结构离散频率噪声产生机制及其噪声控制研究
- 批准号：
09650210 - 财政年份：1997
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Experimental Determination of Organized Fluctuating Fluid Forces acting on the Finite Circular Cylinders with Different Aspect Ratios
不同长径比有限圆柱上有组织脉动流体力的实验测定
- 批准号：
05650183 - 财政年份：1993
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
相似海外基金
金属表面上に形成した窒素吸着ナノ構造と原子状水素の反応
金属表面形成的氮吸附纳米结构与原子氢之间的反应
- 批准号：
26914007 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
原子状水素処理による有機薄膜トランジスタの特牲向上
通过原子氢处理改善有机薄膜晶体管的特性
- 批准号：
18850020 - 财政年份：2006
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
ヘリウム液面電子を使った原子状水素2次元希薄気体の超流動状態の研究
利用氦液表面电子研究二维稀原子氢气的超流态
- 批准号：
16654058 - 财政年份：2004
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
原子状水素援用分子線エピタキシーによるInGaAs量子ドットの作製とその物性評価
原子氢辅助分子束外延制备InGaAs量子点及其物理性能评价
- 批准号：
99J07048 - 财政年份：1999
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
液体ヘリウム表面上に吸着された偏極原子状水素の2次元超流動の探索
液氦表面吸附极化原子氢二维超流性探索
- 批准号：
96J06150 - 财政年份：1998
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
原子状水素を用いた化合物半導体材料の表面修飾ヘテロエピタキシー
利用原子氢对化合物半导体材料进行表面改性异质外延
- 批准号：
07750338 - 财政年份：1995
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
原子状水素制御によるZnSe結晶の低温成膜に関する研究
原子氢控制低温沉积ZnSe晶体的研究
- 批准号：
01604532 - 财政年份：1989
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
マイクロ波励起による原子状水素を用いたシリコンナイトライド膜の合成
微波激发原子氢合成氮化硅薄膜
- 批准号：
01750260 - 财政年份：1989
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
原子状水素制御によるZnSe結晶成膜に関する研究
原子氢控制ZnSe晶体沉积研究
- 批准号：
63604527 - 财政年份：1988
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
偏極原子状水素の生成と中間子実験への応用
极化原子氢的产生及其在介子实验中的应用
- 批准号：
63203006 - 财政年份：1988
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research