Making device functions on microtrench sidewall through three-dimensional photolithograpy
通过三维光刻技术在微沟槽侧壁上实现器件功能
基本信息
- 批准号:24656066
- 负责人:
- 金额:$ 1.41万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份:2012
- 资助国家:日本
- 起止时间:2012-04-01 至 2014-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
A novel micro-electro-mechanical systems (MEMS) device was fabricated through three-dimensional (3D) photolithography. The MEMS device in the present study was a particle sorter. The sorter uses electrostatic force and fluid flow for separating particles in a liquid. To enhance the electrostatic force, the working electrodes were designed on the microtrench sidewall. Since the sidewalls have not been used to exhibit device functions, the approach here would be a great step to expand the possibility of MEMS devices. The 3D photolithography consists of photoresist spray-coating for uniform photoresist deposition on the microtrench and angled exposure for patterning the trench sidewall. Through the numerical simulation, the uniformity of spray-coated photoresist film was improved. The numerical simulation was also applied to designing the microfluidics channels. With the careful device design and the 3D photolithography, the particle sorter devices were fabricated on a glass substrate.
采用三维光刻技术制作了一种新型的微机电系统(MEMS)器件。本研究中的MEMS装置是颗粒分选器。分选机使用静电力和流体流动来分离液体中的颗粒。为了增强静电力,在微沟槽侧壁上设计了工作电极。由于侧壁还没有被用来展示器件功能,因此这里的方法将是扩大MEMS器件可能性的重要一步。3D光刻包括用于在微沟槽上均匀沉积光刻胶的光刻胶喷涂和用于图案化沟槽侧壁的成角度曝光。通过数值模拟,提高了喷涂光刻胶膜的均匀性。数值模拟也被应用到微流体通道的设计。通过仔细的器件设计和3D光刻,在玻璃衬底上制作了颗粒分选器器件。
项目成果
期刊论文数量(10)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
A Thermocouple Device Fabricated on Trench Sidewall for Measuring Accurate Temperature of Microfluid
沟槽侧壁制作的热电偶装置用于精确测量微流体温度
- DOI:
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. Yamaguchi;S. Kumagai;M. Sasaki
- 通讯作者:M. Sasaki
A Thermocouple Device Fabricated on Trench Sidewall for Measuring Accurate Temperature of Microfluid
沟槽侧壁制作的热电偶装置用于精确测量微流体温度
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. Yamaguchi;S. Kumagai;M. Sasaki
- 通讯作者:M. Sasaki
A microfluidics device with thermocouples fabricated on sidewall
一种在侧壁上制作热电偶的微流控装置
- DOI:
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. Yamaguchi;S. Kumagai;M. Sasaki
- 通讯作者:M. Sasaki
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
KUMAGAI Shinya其他文献
KUMAGAI Shinya的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
{{ truncateString('KUMAGAI Shinya', 18)}}的其他基金
Making micro-/nano-device structures by self-assembly using environmental-friendly in-solution process
使用环保的溶液内工艺通过自组装制造微/纳米器件结构
- 批准号:
24681020 - 财政年份:2012
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
Tension-controlled MEMS spatial light modulator by using bionano particles
使用生物纳米粒子的张力控制MEMS空间光调制器
- 批准号:
21710128 - 财政年份:2009
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
相似海外基金
マイクロ流路デバイス中の流れと空間の制御による超高速イムノセンシングの実現
通过控制微流控装置中的流量和空间实现超高速免疫传感
- 批准号:
19J11009 - 财政年份:2019
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
マイクロ流路デバイスの最適流路創成設計を目的としたトポロジー最適化
微通道器件最优通道创建设计的拓扑优化
- 批准号:
14J02008 - 财政年份:2014
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
TFTマイクロ流路デバイスによるスマート癌診断システムの開発
利用TFT微通道器件开发智能癌症诊断系统
- 批准号:
13F03353 - 财政年份:2013
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
急性心筋梗塞診断用マイクロ流路デバイス型DNase I活性測定法開発
诊断急性心肌梗死的微通道装置型DNase I活性测定方法的建立
- 批准号:
21659175 - 财政年份:2009
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
均一径ジャイアントリポソームと細胞融合のためのマイクロ流路デバイス
均匀直径巨型脂质体和细胞融合微流控装置
- 批准号:
18680902 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)