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Making micro-/nano-device structures by self-assembly using environmental-friendly in-solution process

Making micro-/nano-device structures by self-assembly using environmental-friendly in-solution process
使用环保的溶液内工艺通过自组装制造微/纳米器件结构
批准号:
24681020
负责人:
KUMAGAI Shinya
金额:
$7.16万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份:
2012
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2012-04-01 至 2015-03-31

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豊田工業大学 研究者一覧
丰田技术研究所研究员名单
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
豊田工業大学研究者情報システム
丰田技术研究所研究员信息系统
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
Bio-Nano Crystallization of Amorphous Si Thin-Film for MEMS Devices
用于 MEMS 器件的非晶硅薄膜的生物纳米结晶
DOI: --
发表时间: 2015
期刊:
影响因子: --
作者: [S. Kumagai, I. Yamashita, Y. Uraoka, M. Sasaki]
通讯作者: M. Sasaki
DESINGING POSITIONS OF GRAIN BOUNDARIES IN SI THIN-FILM FOR LOW-ENERGY-LOSS OPTICAL MEMS/NEMS DEVICES
低能量损耗光学 MEMS/NEMS 器件硅薄膜中晶界位置的设计
DOI: --
发表时间: 2014
期刊:
影响因子: --
作者: [T. Tomikawa, J.-H. Jeong, S. Kumagai, I. Yamashita, Y. Uraoka, M. Sasaki]
通讯作者: M. Sasaki
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    Making device functions on microtrench sidewall through three-dimensional photolithograpy
    • 批准号:
      24656066
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额:
      $1.41万
    • 财政年份:
      2012
    • 负责人:
      KUMAGAI Shinya
    • 依托单位:
    Tension-controlled MEMS spatial light modulator by using bionano particles
    • 批准号:
      21710128
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额:
      $2.91万
    • 财政年份:
      2009
    • 负责人:
      KUMAGAI Shinya
    • 依托单位:
    国内基金
    海外基金
    基于概率化失效准则的多晶MEMS/NEMS结构断裂可靠度研究
    • 批准号:
      JCZRQN202500559
    • 项目类别:
      省市级项目
    • 资助金额:
      --
    • 批准年份:
      2025
    • 负责人:
    • 依托单位:
    基于纳米发电机的自驱动MEMS/NEMS机理研究