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Innovation of CMOS process using crystallographic orientation during multiple-layer epi-growth

在多层外延生长过程中使用晶体取向的 CMOS 工艺创新

基本信息

批准号：
25600091
负责人：
Suemitsu Maki
金额：
$ 2.5万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2013
资助国家：
日本
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-25600091/
关键词：
3C-SiC ヘテロエピタキシ積層欠陥転位 X線ロッキング曲線 CMOS 断面TEM観察 RHEED 面欠陥 CVD 双晶

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（40）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Heteroepitaxy of 3C-SiC on Si Using GSMBE and Formation of Epitaxial Graphene Thereon

使用 GSMBE 在 Si 上异质外延 3C-SiC 并在其上形成外延石墨烯

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
Asia-Pacific Symposium on Solid Surfaces Abstracts Book
影响因子：
0
作者：
M. Suemitsu;S. N. Filimonov
通讯作者：
S. N. Filimonov

Recent progress in epitaxial graphene on bulk and thin film SiC crystals

块状和薄膜碳化硅晶体上外延石墨烯的最新进展

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Izumi;H. Miyake;K. Hiramatsu;H. Oku;H. Asamura and K. Kawamura;Maki Suemitsu
通讯作者：
Maki Suemitsu

Controlling Planar Defects in 3C–SiC: Ways to Wake it up Develop 3C-SiC as a Practical Semiconductor

控制 3C-SiC 中的平面缺陷：唤醒其发展的方法将 3C-SiC 开发为实用半导体

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
ECSCRM2014: European Conf. on Silicon Carbide and Related Materials Abstracts Book
影响因子：
0
作者：
Hiroyuki Nagasawa;Maki Suemitsu
通讯作者：
Maki Suemitsu

高品質エピタキシャルグラフェンを用いたGFETの特性評価

使用高质量外延石墨烯表征 GFET

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
第62回応用物理学会春季学術講演会予稿集
影响因子：
0
作者：
須藤亮太;舘野泰範;吹留博一;末光眞希
通讯作者：
末光眞希

Graphene based Electronic & Photonic Devices, Circuits and Systems

石墨烯基电子

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
EXMATEC 2014 Book of Abstracts
影响因子：
0
作者：
A. Z. M. Touhidul Islam;N. Murakoshi;T. Fukuda;H. Hirayama and N. Kamata;M. Suemitsu;M. Suemitsu
通讯作者：
M. Suemitsu

DOI：
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作者：
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Suemitsu Maki其他文献

Dynamics of surface electron trapping of a GaN-based transistors revealed by spatiotemporally resolved x-ray spectroscopy

时空分辨 X 射线光谱揭示 GaN 基晶体管表面电子俘获动力学

DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
Applied Physics Letters
影响因子：
4
作者：
Omika Keiichi;Takahashi Kensuke;Yasui Akira;Ohkochi Takuo;Osawa Hitoshi;Kouchi Tsuyoshi;Tateno Yasunori;Suemitsu Maki;Fukidome Hirokazu
通讯作者：
Fukidome Hirokazu

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DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
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DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
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通讯作者：
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发表时间：
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影响因子：
0
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Arif Md. Rashedul Kabir

Sensing surface mechanical deformation of soft materials using biomolecular motors

使用生物分子马达感测软材料的表面机械变形

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Osanai Hiroya;Nakamura Kazuki;Sasaki Yuya;Koriyama Haruto;Kobayashi Yasuyuki;Enta Yoshiharu;Suzuki Yushi;Suemitsu Maki;Nakazawa Hideki;Arif Md. Rashedul Kabir
通讯作者：
Arif Md. Rashedul Kabir