Challenge to a product of dark material made by a silicon carbide
对碳化硅深色材料产品的挑战
基本信息
- 批准号:25630119
- 负责人:
- 金额:$ 2.58万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份:2013
- 资助国家:日本
- 起止时间:2013-04-01 至 2015-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(2)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
自然酸化膜付Si 基板上へのモノメチルシランを用いたSiC薄膜高速成長
自然氧化膜硅衬底上单甲基硅烷高速生长SiC薄膜
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:山田晋平,成田 克,中島健介,内藤正路,末光眞希;成田 克,山田晋平,高野昌伸,早尾貴史,中島健介,末光眞希
- 通讯作者:成田 克,山田晋平,高野昌伸,早尾貴史,中島健介,末光眞希
自然酸化膜付Si基板上へのモノメチルシランを用いたSiC薄膜高速成長(II)
使用单甲基硅烷在自然氧化膜的 Si 衬底上快速生长 SiC 薄膜(II)
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:山田晋平,成田 克,中島健介,内藤正路,末光眞希
- 通讯作者:山田晋平,成田 克,中島健介,内藤正路,末光眞希
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