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Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments

Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments
高温环境下安装的MEMS传感器的读出技术
批准号：
26600056
负责人：
Tanaka Shuji
金额：
$2.5万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26600056/
关键词：
高温センサ信号読出しSiCダイオードブリッジ回路高温実装技術MEMSダイオードブリッジ容量型センサ炭化ケイ素ダイオードセンサ読出回路

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Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping
  • 批准号：
    21K18666
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额：
    $4.16万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 依托单位：
    Tohoku University
Study on On-site Recovery of Integrated Circuit Failed by Gamma Ray Irradiation
  • 批准号：
    18K19040
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额：
    $3.99万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 依托单位：
    Tohoku University
Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
  • 批准号：
    18H01390
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.07万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 依托单位：
    Tohoku University
Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
  • 批准号：
    25286033
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $12.06万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 依托单位：
    Tohoku University