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Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS

Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
Si基片上理想取向PZT单晶薄膜的沉积及其应用于MEMS的可行性研究
批准号：
25286033
负责人：
Tanaka Shuji
金额：
$12.06万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25286033/
关键词：
PZTエピタキシャル成長単結晶圧電薄膜急冷法誘電率MEMS圧電薄膜バッファ層キュリー点スパッタリングチタン酸ジルコン酸鉛スパッタ成膜単結晶膜シリコン基板圧電定数

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LARGE FIGURE-OF-MERIT EPITAXIAL PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI TRANSDUCER FOR PIEZOELECTRIC MEMS SENSORS
用于压电 MEMS 传感器的大品质因数外延 PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI 传感器
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa, and Shuji Tanaka]
通讯作者： and Shuji Tanaka
Epitaxial Growth of (100)/(001) PZT-Based Thin Film on (111) Si Wafer Using SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 Buffer Layer
使用 SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 缓冲层在 (111) Si 晶圆上外延生长 (100)/(001) PZT 基薄膜
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka]
通讯作者： Shuji Tanaka
K. Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga, Structure and Ferroelectric Properties of High TcBi(Me)O3-PbTiO3 Single Crystal Thin Films
K. Wasa、H. Hanzawa、S. Yoshida、S. Tanaka、H. Adachi、T. Matsunaga，高 TcBi(Me)O3-PbTiO3 单晶薄膜的结构和铁电性能
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga]
通讯作者： T. Matsunaga
Advanced Piezoelectric Films for MEMS and Acoustic Wave Devices
用于 MEMS 和声波器件的先进压电薄膜
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Tanaka, S. Yoshida, M. Kadota, K. Wasa]
通讯作者： K. Wasa
共 12 条
    Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping
    • 批准号：
      21K18666
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $4.16万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      Tanaka Shuji
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Study on On-site Recovery of Integrated Circuit Failed by Gamma Ray Irradiation
    • 批准号：
      18K19040
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.99万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Tanaka Shuji
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
    • 批准号：
      18H01390
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.07万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Tanaka Shuji
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments
    • 批准号：
      26600056
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Tanaka Shuji
    • 依托单位：
      Tohoku University
    海外基金