Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping

通过多重掺杂对硅 MEMS 谐振器进行温度补偿

基本信息

  • 批准号:
    21K18666
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 4.16万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 财政年份:
    2021
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2021-07-09 至 2023-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
MEMS共振子の温度特性を予測するシミュレータの作成
创建一个预测 MEMS 谐振器温度特性的模拟器
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    山田 駿介;田中 秀治
  • 通讯作者:
    田中 秀治
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Development of Piezoelectric Epitaxial Thin Film for High-Performance MEMS
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  • DOI:
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  • 作者:
    Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉;Shinya Yoshida
  • 通讯作者:
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  • 发表时间:
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  • 通讯作者:
    八木拓真,西保匠,川崎邦将,松木萌,佐藤洋一
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  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉
  • 通讯作者:
    吉田 慎哉
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  • 发表时间:
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  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉
  • 通讯作者:
    吉田 慎哉
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    10.1016/j.sna.2021.113312
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
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  • 通讯作者:
    Tanaka Shuji

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    DP230101940
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    2023
  • 资助金额:
    $ 4.16万
  • 项目类别:
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    2023
  • 资助金额:
    $ 4.16万
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  • 批准号:
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    2023
  • 资助金额:
    $ 4.16万
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  • 批准号:
    23K13682
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 4.16万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Giant nonlinear refractive index and applications by Huygens dipole in silicon Mie resonator
巨非线性折射率及其惠更斯偶极子在硅米氏谐振器中的应用
  • 批准号:
    22K18987
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 4.16万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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知道了