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Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping
通过多重掺杂对硅 MEMS 谐振器进行温度补偿
基本信息
- 批准号：21K18666
- 负责人：
- 金额：$ 4.16万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
- 财政年份：2021
- 资助国家：日本
- 起止时间：2021-07-09 至 2023-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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Tanaka Shuji其他文献
Development of Piezoelectric Epitaxial Thin Film for High-Performance MEMS
高性能MEMS压电外延薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉;Shinya Yoshida - 通讯作者：
Shinya Yoshida
GO-Finder: Registration-Free Wearable System for Assisting Users in Finding Lost Objects via Hand-Held Object Discovery
GO-Finder：免注册可穿戴系统，通过手持物体发现帮助用户寻找丢失的物体
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Chen Jianlin;Tsukamoto Takashiro;Tanaka Shuji;八木拓真，西保匠，川崎邦将，松木萌，佐藤洋一 - 通讯作者：
八木拓真，西保匠，川崎邦将，松木萌，佐藤洋一
圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
压电MEMS高性能压电薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉 - 通讯作者：
吉田 慎哉
エピタキシャル圧電薄膜のSi基板上への成膜と高性能MEMSの創出
在硅衬底上沉积外延压电薄膜并创建高性能MEMS
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉 - 通讯作者：
吉田 慎哉
Silver nanoparticle enhanced luminescence of [Ru(phen)3]Cl2 for thermal imaging applications
银纳米粒子增强了 [Ru(phen)3]Cl2 的发光，用于热成像应用
- DOI：
10.1016/j.sna.2021.113312 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Pan Xiaoying;Hu Jun;Li Jialiang;Zhai Yufei;Li Song;Wang Min;Tsukamoto Takashiro;Tanaka Shuji - 通讯作者：
Tanaka Shuji
Tanaka Shuji的其他文献
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{{ truncateString('Tanaka Shuji', 18)}}的其他基金
Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
压电薄膜执行器的稳定/可靠传感和精确控制
- 批准号：
18H01390 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Study on On-site Recovery of Integrated Circuit Failed by Gamma Ray Irradiation
伽马射线照射失效集成电路现场修复研究
- 批准号：
18K19040 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments
高温环境下安装的MEMS传感器的读出技术
- 批准号：
26600056 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
Si基片上理想取向PZT单晶薄膜的沉积及其应用于MEMS的可行性研究
- 批准号：
25286033 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
相似海外基金
2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用
2+1质量MEMS谐振器新型模式控制方法研究及其在高性能传感器中的应用
- 批准号：
23K23192 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Quantum Hall plasmon resonator-based qubit sensing and multi-qubit coupling
基于量子霍尔等离子体谐振器的量子位传感和多量子位耦合
- 批准号：
24K06915 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
development of the fundamental technologies of the force probing for tissue and cell by using the advanced quartz crystal resonator
开发利用先进石英晶体谐振器对组织和细胞进行力探测的基础技术
- 批准号：
23H01364 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Superconducting nematic susceptibility probed by microwave resonator with strain appratus
微波谐振腔应变仪探测超导向列磁化率
- 批准号：
23K17879 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Resonator-enhanced quantum levitation of macroscopic systems
宏观系统的谐振器增强量子悬浮
- 批准号：
DP230101940 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Discovery Projects
CAREER: CAS-Climate: Structure-Property-Performance Relationships of Iron- and Copper-Based Hybrid Mie-Resonator Photocatalysts for C-C and C-N Coupling Reactions
职业：CAS-气候：用于 C-C 和 C-N 偶联反应的铁基和铜基混合米氏谐振器光催化剂的结构-性能-性能关系
- 批准号：
2237454 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Continuing Grant
ExpandQISE: Track 1: A Deep-Dive into the Materials Science of Alpha-Ta Growth on Oxides for Superconducting Resonator Development
ExpandQISE：轨道 1：深入研究用于超导谐振器开发的氧化物上 α-Ta 生长的材料科学
- 批准号：
2328747 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Standard Grant
Ultrahigh-speed magnophononic resonator devices
超高速磁振子谐振器装置
- 批准号：
23H05463 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
Study of continuous-mode optical buffer on non-Hermite topological resonator
非埃尔米特拓扑谐振器连续模光缓冲器的研究
- 批准号：
23K13682 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Giant nonlinear refractive index and applications by Huygens dipole in silicon Mie resonator
巨非线性折射率及其惠更斯偶极子在硅米氏谐振器中的应用
- 批准号：
22K18987 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 4.16万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)