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Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping

Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping
通过多重掺杂对硅 MEMS 谐振器进行温度补偿
批准号：
21K18666
负责人：
Tanaka Shuji
金额：
$4.16万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2021
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-07-09 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21K18666/
关键词：
MEMS共振子周波数温度特性ドーピング振動子温度補償シリコン

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MEMS共振子の温度特性を予測するシミュレータの作成
创建一个预测 MEMS 谐振器温度特性的模拟器
DOI： --
发表时间： 2022
期刊：
影响因子： --
作者： [山田 駿介, 田中 秀治]
通讯作者： 田中 秀治
Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
  • 批准号：
    18H01390
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.07万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 依托单位：
    Tohoku University
Study on On-site Recovery of Integrated Circuit Failed by Gamma Ray Irradiation
  • 批准号：
    18K19040
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额：
    $3.99万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 依托单位：
    Tohoku University
Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments
  • 批准号：
    26600056
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.5万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 依托单位：
    Tohoku University
Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
  • 批准号：
    25286033
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $12.06万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 依托单位：
    Tohoku University
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