Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
压电薄膜执行器的稳定/可靠传感和精确控制
批准号：
18H01390
负责人：
Tanaka Shuji
金额：
$11.07万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2021-03-31
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Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 on Si for Creation of Giant-Piezoelectric MEMS Actuator
Si 上溅射外延 Sm 掺杂 Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 用于制造巨型压电 MEMS 致动器
Si 上溅射外延 Sm 掺杂 Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 用于制造巨型压电 MEMS 致动器
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka]
通讯作者：
Shuji Tanaka
台湾・国立精華大学(その他の国・地域)
台湾国立清华大学（其他国家/地区）
台湾国立清华大学（其他国家/地区）
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
良好な絶縁性を有するMEMS用PZT系単結晶薄膜の形成法の探索
寻找一种用于MEMS的具有良好绝缘性能的PZT基单晶薄膜的形成方法
寻找一种用于MEMS的具有良好绝缘性能的PZT基单晶薄膜的形成方法
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[海老原凌, 吉田慎哉, 田中秀治]
通讯作者：
田中秀治
Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping
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批准号：21K18666
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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资助金额：$4.16万
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财政年份：2021
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负责人：Tanaka Shuji
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依托单位：
Study on On-site Recovery of Integrated Circuit Failed by Gamma Ray Irradiation
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批准号：18K19040
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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资助金额：$3.99万
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财政年份：2018
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负责人：Tanaka Shuji
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依托单位：
Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments
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批准号：26600056
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额：$2.5万
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财政年份：2014
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负责人：Tanaka Shuji
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依托单位：
Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
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批准号：25286033
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$12.06万
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财政年份：2013
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负责人：Tanaka Shuji
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依托单位：
海外基金
