Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators

压电薄膜执行器的稳定/可靠传感和精确控制

基本信息

  • 批准号：
    18H01390
  • 负责人：
    Tanaka Shuji
  • 金额：
    $ 11.07万
  • 依托单位：
    Tohoku University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份：
    2018
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2018-04-01 至 2021-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 on Si for Creation of Giant-Piezoelectric MEMS Actuator
Si 上溅射外延 Sm 掺杂 Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 用于制造巨型压电 MEMS 致动器
  • DOI：
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Xuanmeng Qi;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
  • 通讯作者：
    Shuji Tanaka
台湾・国立精華大学(その他の国・地域)
台湾国立清华大学（其他国家/地区）
  • DOI：
  • 发表时间：
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
  • 通讯作者：
良好な絶縁性を有するMEMS用PZT系単結晶薄膜の形成法の探索
寻找一种用于MEMS的具有良好绝缘性能的PZT基单晶薄膜的形成方法
  • DOI：
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    海老原凌;吉田慎哉;田中秀治
  • 通讯作者：
    田中秀治
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  • 通讯作者：
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    10.1016/j.sna.2021.113312
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
    Sensors and Actuators: A, Physical
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
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  • 通讯作者：
    Tanaka Shuji

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  • 财政年份：
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  • 资助金额：
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    $ 11.07万
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