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A study for sub-nanometer ultra-high precision measurement method of micro cutting edge of diamond tool

A study for sub-nanometer ultra-high precision measurement method of micro cutting edge of diamond tool
金刚石刀具微细切削刃亚纳米超高精度测量方法研究
批准号：
26630015
负责人：
Gao Wei
金额：
$2.41万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26630015/
关键词：
ナノ計測マイクロエッジAFM反転エッジMDシミュレーションアクチュエータ圧力センサFTSダイヤモンド工具

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Ductile cutting of a microstructure array on silicon surface by using a diamond tool with a negative rake angle
负前角金刚石刀具对硅表面微结构阵列的延性切削
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Keisuke Tohyama, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao]
通讯作者： Wei Gao
A New Fast Tool Servo with Integrated Functions for In-process Measurement and Fabrication of Microstructured Surfaces
具有集成功能的新型快刀伺服系统，用于微结构表面的过程测量和制造
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao]
通讯作者： Wei Gao
On-machine edge contour measurement of a micro cutting tool by using a diamond edge artifact
使用金刚石边缘工件对微型切削刀具进行机上边缘轮廓测量
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao]
通讯作者： Wei Gao
Detection and repair of micro defects in the process of diamond cutting of a microstructure array
微结构阵列金刚石切割过程中微缺陷的检测与修复
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, 陳遠流，清水裕樹，伊東聡，高偉]
通讯作者： 陳遠流，清水裕樹，伊東聡，高偉
共 12 条
    Frontier of the precision optical metrology created by the ultra-precision optical nano-grid reference artifact and the absolute optical scale comb
    • 批准号：
      15H05759
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
    • 资助金额：
      $64.65万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Gao Wei
    • 依托单位：
      Tohoku University