Surface processing method with localized surface excitation for thermall energy field using femto pulse train beam
Surface processing method with localized surface excitation for thermall energy field using femto pulse train beam
使用毫微微脉冲序列束的热能场局部表面激励的表面处理方法
批准号：
26630028
负责人：
Hayashi Terutake
金额：
$2.5万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2016-03-31
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(8)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
登录
查看更多内容
DOI：
10.1063/1.4939231
发表时间：
2016-01
期刊：
Applied Physics Letters
影响因子：
4
作者：
[T. Kumada;T. Otobe;M. Nishikino;N. Hasegawa;T. Hayashi]
通讯作者：
T. Kumada;T. Otobe;M. Nishikino;N. Hasegawa;T. Hayashi
フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究（第2報）-加工エネルギー閾値の検討
利用飞秒激光对半导体晶片表面进行相干声子激发加工的研究（第二次报告）——加工能量阈值检验
利用飞秒激光对半导体晶片表面进行相干声子激发加工的研究（第二次报告）——加工能量阈值检验
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[T. Takaki, R. Rojas, M. Ohno, T. Shimokawabe, T. Aoki, 林 照剛，横尾英昭，黒河周平，王 成武，松川洋二]
通讯作者：
林 照剛，横尾英昭，黒河周平，王 成武，松川洋二
フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究
飞秒激光半导体表面激发加工研究
飞秒激光半导体表面激发加工研究
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[林 照剛, 横尾英昭, 王 成武, 松川洋二, 黒河周平]
通讯作者：
黒河周平
フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究
飞秒激光器半导体晶片表面相干声子激发加工研究
飞秒激光器半导体晶片表面相干声子激发加工研究
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[R.Tanegashima, I.Ohara, H.Akebono, M.Kato, A.Sugeta, 中西康雅, 林 照剛，横尾英昭，黒河周平，松永啓伍，王 成武，松川洋二]
通讯作者：
林 照剛，横尾英昭，黒河周平，松永啓伍，王 成武，松川洋二
レーザー加工装置
激光加工设备
激光加工设备
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
共 7 条
Nano particle sizing method based on Brownian motion analysis for the system of atto gram particles
-
批准号：19H02043
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
-
资助金额：$11.07万
-
财政年份：2019
-
负责人：Hayashi Terutake
-
依托单位：
In-process nano surface processing control by using time resolved coherent phonon excitation on semiconductor target with
-
批准号：25289017
-
项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
-
资助金额：$11.98万
-
财政年份：2013
-
负责人：Hayashi Terutake
-
依托单位：
海外基金