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Evaluation of the effect of the state of the vacuum vessel wall on the plasma in high-frequency process plasmas

Evaluation of the effect of the state of the vacuum vessel wall on the plasma in high-frequency process plasmas
评估高频工艺等离子体中真空容器壁状态对等离子体的影响
批准号：
21K13907
负责人：
Suzuki Haruka
金额：
$2.91万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2021
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21K13907/
关键词：
プロセスプラズマ容量結合型プラズマ誘導結合型プラズマプラズマ電位高周波プラズマCCPシース

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Influence of small ground surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner
浮动衬管电感耦合等离子体中小接地面对等离子体特性的影响
DOI： 10.35848/1347-4065/ac7e19
发表时间： 2022
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [Kyuzo Manabu, Chiba Yukinori, Suzuki Haruka, Toyoda Hirotaka]
通讯作者： Toyoda Hirotaka
RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner
具有浮动衬里的射频偏置高密度等离子体中的射频电压划分
DOI： --
发表时间： 2022
期刊：
影响因子： --
作者： [Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda]
通讯作者： Hirotaka Toyoda
Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner
金属暴露对浮动衬里射频偏置高密度等离子体中等离子体电势的影响
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Yukinori Chiba, Manabu Kyuzo, Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda]
通讯作者： Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner
浮动衬里电感耦合等离子体中小接地表面对等离子体特性的影响
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, and Hirotaka Toyoda]
通讯作者： and Hirotaka Toyoda
Identification of longitudinal sleep patterns from infancy to school age and their impact on cognitive development.
  • 批准号：
    19K14150
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 资助金额：
    $2.75万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Suzuki Haruka
  • 依托单位：
    Hamamatsu University School of Medicine
Development of electron temperature control technique for atmospheric pressure microwave plasma to promote radical production
  • 批准号：
    18K13531
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 资助金额：
    $2.66万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Suzuki Haruka
  • 依托单位：
    Nagoya University
long-term system of ecological resource utilization viewed from reusing construction timber over generations in Indonesia
  • 批准号：
    26760005
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $1.33万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    Suzuki Haruka
  • 依托单位：
    Kyoto University