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Evaluation of the effect of the state of the vacuum vessel wall on the plasma in high-frequency process plasmas

评估高频工艺等离子体中真空容器壁状态对等离子体的影响

基本信息

批准号：
21K13907
负责人：
Suzuki Haruka
金额：
$ 2.91万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2021
资助国家：
日本
起止时间：
2021-04-01 至 2023-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（4）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Influence of small ground surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner

浮动衬管电感耦合等离子体中小接地面对等离子体特性的影响

DOI：
10.35848/1347-4065/ac7e19
发表时间：
2022
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Kyuzo Manabu;Chiba Yukinori;Suzuki Haruka;Toyoda Hirotaka
通讯作者：
Toyoda Hirotaka

RF Voltage Division of in RF-biased High-density Plasma with Floating Liner

具有浮动衬里的射频偏置高密度等离子体中的射频电压划分

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yukinori Chiba;Manabu Kyuzo;Haruka Suzuki;Hirotaka Toyoda
通讯作者：
Hirotaka Toyoda

Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner

金属暴露对浮动衬里射频偏置高密度等离子体中等离子体电势的影响

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yukinori Chiba;Manabu Kyuzo;Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
通讯作者：
Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda

Influence of small grounded surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner

浮动衬里电感耦合等离子体中小接地表面对等离子体特性的影响

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Manabu Kyuzo;Yukinori Chiba;Haruka Suzuki;and Hirotaka Toyoda
通讯作者：
and Hirotaka Toyoda

DOI：
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作者：
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Suzuki Haruka其他文献

3 体系のHill 安定性に対する一般相対論的効果の影響

3 广义相对论效应对系统希尔稳定性的影响

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Suzuki Haruka;Nakamura Yusuke;Yamada Shoichi;鈴木遼
通讯作者：
鈴木遼

日本近代における生徒の懲戒方法論の形成過程ー明治期の米国学校管理論の受容に焦点化して

近代日本学生纪律方法论的形成过程——以明治时期美国学校管理理论的接受为中心

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Ishikawa-Omori Yuuka;Nishimura Tomoko;Nakagawa Atsuko;Okumura Akemi;Harada Taeko;Nakayasu Chikako;Iwabuchi Toshiki;Amma Yuko;Suzuki Haruka;Rahman Mohammad Shafiur;Nakahara Ryuji;Takahashi Nagahide;Nomura Yoko;Tsuchiya Kenji J.;塩原佳典;塩原佳典;塩原佳典;塩原佳典;塩原佳典;国立歴史民俗博物館（編）;水谷智彦;水谷智彦;水谷智彦
通讯作者：
水谷智彦

国境を越えるキャリア志向―中国系のトランスナショナリズム―

超越国界的职业抱负：中国人的跨国主义

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
『日本社会の移民第二世代―エスニシティ間比較でとらえる「ニューカマー」の子どもたちの今』明石書店
影响因子：
0
作者：
Ishikawa-Omori Yuuka;Nishimura Tomoko;Nakagawa Atsuko;Okumura Akemi;Harada Taeko;Nakayasu Chikako;Iwabuchi Toshiki;Amma Yuko;Suzuki Haruka;Rahman Mohammad Shafiur;Nakahara Ryuji;Takahashi Nagahide;Nomura Yoko;Tsuchiya Kenji J.;塩原佳典;塩原佳典;塩原佳典;塩原佳典;塩原佳典;国立歴史民俗博物館（編）;水谷智彦;水谷智彦;水谷智彦;水谷智彦;水谷智彦;水谷智彦;坪田光平;坪田光平・宮地さつき;坪田光平;坪田光平;坪田光平;坪田光平;坪田光平
通讯作者：
坪田光平

中退防止に関連する変数の整理

组织与预防辍学相关的变量

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Sugiyama Mika;Tsuchiya Kenji J.;Okubo Yusuke;Rahman Mohammad Shafiur;Uchiyama Satoshi;Harada Taeko;Iwabuchi Toshiki;Okumura Akemi;Nakayasu Chikako;Amma Yuko;Suzuki Haruka;Takahashi Nagahide;Kinsella-Kammerer Barbara;Nomura Yoko;Itoh Hiroaki;Nishimura Tomo;白鳥成彦
通讯作者：
白鳥成彦

藩地域における維新期学制改革の再検討：信州高島藩にみる教育と教化の諸相

明治维新时期藩域教育改革的再审视：信州高岛藩的教育和灌输方面

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
日本教育史学会紀要
影响因子：
0
作者：
Ishikawa-Omori Yuuka;Nishimura Tomoko;Nakagawa Atsuko;Okumura Akemi;Harada Taeko;Nakayasu Chikako;Iwabuchi Toshiki;Amma Yuko;Suzuki Haruka;Rahman Mohammad Shafiur;Nakahara Ryuji;Takahashi Nagahide;Nomura Yoko;Tsuchiya Kenji J.;塩原佳典;塩原佳典
通讯作者：
塩原佳典