ガスフローレーザークリーニングによる高価基板の再生利用

使用气流激光清洗回收昂贵的基材

• 批准号: 16H00371
• 负责人: 東畠 三洋
• 金额: $ 0.2万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16H00371/
• 关键词: レーザークリーニング; サファイア基板; エキシマレーザー

本研究の目的は, 我々の研究室において大量消費している高価サファイア基板の再利用と関連技術への応用である. 研究背景として, 窒化ガリウムに代わる有望な化合物半導体材料である安価で安全な酸化亜鉛を主材料としたナノ構造体による白色LEDの研究開発を行っており, その酸化亜鉛ナノ構造体は主にサファイア基板上に作製している. 用いている単結晶サファイア基板は, 近年量産化技術の確立により価格が下がってきているが, 機械的強度があるため加工費がかかり, 現在も1枚当たり数千円での納入となっている. しかし, 良質な酸化亜鉛ナノ構造体を得るためには、数多くの作製条件での試作を必要とし, それに伴い大量のサファイア基板を消費している現状がある. また, 近年の研究費削減による購入枚数の制限や資源の有効利用という観点からも再利用は非常に有意義であり, 不可欠であると考えている. 今回の試みにより年間数十万円程度の経費削減に繋がり, また, この技術を用いた他材料への応用や他技術へ応用についても発展していくと考えており, 関連研究を行っている.本年度は, 下記について試みた.1. 自作したガスフロー装置にてAirブローしながらのクリーニングを試みたが現時点では有用性が確認出来ていない. 今後, ブロー圧力等条件を振っての実験を行いたいと考えている. また, 真空時におけるクリーニングについても試みたが, 現有の真空容器及びロータリーポンプの仕様等制限により数Pa程度での条件でしか行えず, 有用性が確認出来なかった.2. ネオンガスの入手に目途が付いて来たので, 当該残ガスを用いた予備実験を再開し, レーザー照射フルエンス等最適条件を探っているところである.3. より酸化亜鉛が吸収すると思われる波長351nmで発振するXeFエキシマレーザーの有用性について確認する予定である.

The purpose of this study is to improve the quality of our laboratory and improve the reuse of substrates and related technologies. Background: Research on the development of semiconductor materials and their safety and security, as well as on the manufacture of white LED structures on substrates. In recent years, the establishment of mass production technology, the strength of machinery, the processing cost, and now only one piece of crystal. A number of manufacturing conditions are necessary for trial operation, and a large number of production conditions are necessary for production of high-quality lead oxide structures. In recent years, the reduction of research expenses has limited the number of purchases and the utilization of resources. In the past few years, hundreds of thousands of years have been tried to reduce the cost of this technology, and the use of other materials and other technologies has been developed. This year, the following records are recorded. 1. Self-operated devices are available for testing and validation. In the future, the pressure and other conditions will be changed. The vacuum time limit of the existing vacuum vessel and vacuum time limit of the existing vacuum vessel and vacuum time limit of the existing vacuum vessel and vacuum time limit of the existing vacuum vessel and vacuum time limit of the existing vacuum vessel. The optimal conditions for the development of the new system are explored when the new system is ready for use. The absorption of lead in acidified solution was determined by the wavelength of 351nm.