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垂直配向単層カーボンナノチュープ膜面上への蒸着と接着方法の研究

垂直取向单壁碳纳米管薄膜表面气相沉积及附着方法研究

基本信息

批准号：
19917037
负责人：
渡辺誠
金额：
$ 0.63万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
财政年份：
2007
资助国家：
日本
起止时间：
2007 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19917037/
关键词：
単層カーボンナノチューブ垂直配向接着

项目摘要

研究目的:単層カーボンナノチューブが有する高熱伝導性を利用し、電子部品・機器等の冷却性能向上が期待できると着想した。こうした背景から本研究は、(VA-SWNT膜)にうすく貴金属を蒸着してから、還元雰囲気中で、伝熱ブロック面と蒸着膜面との間に最適なロウ付け材料を選定し、アニールしながら(VA-SWNT膜)を接合すれば、強固に(VA-SWNT膜)接着を実現できると考え、最適な条件を実験的に明らかにすることを目的とした。研究方法:アニール用実験装置を試作し、試料をチャンバー内部に母材I(伝熱ブロック)と母材II(金蒸着VA-SWNT膜+石英基板)の間に(ロウ付材料)を挟みこみ、石英円筒管の中央にセットし、アルゴンガスを流しながら還元雰囲気中において、400℃〜900℃の範囲でアニール温度を各種設定した。試料の加熱には、昇温速度が速く、温度コントロールが簡単にできる石英カーボンヒーター(QCHヒーター:スパイラル型)を石英円筒管の外側に設置し、設定温度±3℃で10分間程度維持した。なお温度は、チャンバー上方よりシース熱電対を挿入して試料直上で測定した。10分間維持した後は、石英カーボンヒーターをOFFにし、室温まで放置した。研究成果:目的の伝熱ブロックに金蒸着した(VA-SWNT膜)だけを接合する事に成功した。顕微鏡写真で観察したところ、(VA-SWNT膜)、銀ろう,銅伝熱ブロックが、お互いしっかり接合していた。この(VA-SWNT膜)を接着した伝熱ブロックを利用して、伝熱特性実験を行なうことができた。

Objective: To improve the cooling performance of electronic components and machines by utilizing high thermal conductivity in single layer. In this study, the optimum materials for noble metal evaporation, reduction, thermal degradation and evaporation were selected, and the optimum conditions for bonding and strengthening of VA-SWNT films were investigated. Research methods: The test equipment used in the test, the sample preparation, the internal part of the base material I(heat transfer) and the base material II(gold evaporation VA-SWNT film + quartz substrate), the intermediate (heat transfer material), the center of the quartz tube, the flow of the sample, the temperature of the sample in the range of 400℃ ~ 900℃, and various settings. Sample heating, heating rate, temperature, temperature. The temperature of the sample is measured directly above the sample. After 10 minutes of maintenance, the quartz crystal is turned OFF and placed at room temperature. Research results: The aim of this paper is to successfully combine the heat transfer film with the metal evaporation film (VA-SWNT film). Micro-mirror photo,(VA-SWNT film), silver, copper The VA-SWNT film is then used for thermal properties.