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斜入射X線照射下-プラズマプロセスの可視・紫外・X線分光によるその場解析

使用可见光、紫外和 X 射线光谱对斜入射 X 射线照射下的等离子体过程进行原位分析

基本信息

批准号：
09750805
负责人：
辻幸一
金额：
$ 1.6万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1997
资助国家：
日本
起止时间：
1997 至 1998
项目状态：
已结题

项目摘要

今回の科学研究費補助金により行った特徴的な実験は、グロー放電プラズマに対してX線分析を行った点である。これまで、グロー放電プラズマは機器分析の分野で可視・紫外光の光源やイオン源として利用されてきた。また、半導体デバイス作成時の表面処理方法としても不可欠であり、プラズマプロセスを制御するために主に可視・紫外光をモニターする研究が行われてきた。今回の研究では、グロー放電管に比較的高い電圧(2〜10kV)を印加し、エネルギー分散型X線検出器を用いてX線分析を行った。特性X線、連続X線が観測されたため、これらX線の起源を明らかとするとともに、グロー放電のX線管としての性能や元素分析への応用などを検討した。その結果、グロー放電X線管は小型・軽量・低廉化・取り扱いが容易といった特徴を有しながら、高強度のX線が比較的安定して得られることがわかった。特に、長さ20mm、直径10mmの小型グロー放電X線管(Review of Scientific Instruments,69,1998,pp.4006-4007)は可搬型小型X線分析装置の開発などに注目を集めている。さらに、今回の科学研究費補助金により、可視・紫外光分光器システムを購入できた。高電圧印加グロー放電プラズマに対して可視・紫外分光測定を行い、高電圧印加領域での分光特性・スパッタリング特性などを調査した。その結果、質量の小さいヘリウムガスを放電ガスに用いた場合でも、アルゴンガスに匹敵する発光強度、スパッタリング速度が得られることが分かった。

This year's scientific research grants are based on X-ray analysis. The light source of visible light and ultraviolet light can be used in machine analysis. Surface treatment methods for semiconductor devices are studied in detail in the field of visible and ultraviolet light. This paper studies the application of high voltage (2 ~ 10kV) and low voltage X-ray detector in the field of semiconductor power supply. Characteristics of X-ray, continuous X-ray, X-ray origin, X-ray tube performance, elemental analysis, etc. As a result, the X-ray tube is compact, compact, inexpensive, easy to obtain, and stable in comparison with high-intensity X-rays. A small X-ray tube with a diameter of 10 mm and a length of 20 mm (Review of Scientific Instruments, 69, 1998, pp. 4006 -4007) was developed for portable small X-ray analyzer. Today's scientific research grants are available for the purchase of visible and ultraviolet spectrometers. Investigation on the optical properties of high voltage light sources in the field of visible and ultraviolet spectroscopy The result is that the quality of the light is small, and the light intensity and speed of the light are small.