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高精度微細エッチング用ホトレジストの密着性の電気化学的評価法

高精度微刻蚀光刻胶附着力的电化学评价方法

基本信息

批准号：
12875134
负责人：
杉本克久
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2000
资助国家：
日本
起止时间：
2000 至 2002
项目状态：
已结题

项目摘要

CRT用シャドウマスクの高精度化を図るためには,エッチングマスクとなるホトレジストと素地金属の密着性を改善することが重要である。そのためには,まず,ホトレジストの密着性を定量的に評価する方法が必要である。本研究では,ホトレジストの密着性を電気化学的に評価する方法を開発することを目的として一連の検討を行い,以下のような成果を得た。1.密着性ファクターの決定前年度までに開発した電気化学的手法による密着性評価をより定量的なものとするために,密着性が良好な条件で測定される通過電気量を基準値とし,これに対する試験試料の通過電気量の比を密着性ファクターとして定義し,各前処理条件による密着性ファクターの変化を調べた。2.エッチングファクターの測定および密着性ファクターとの比較実操業で用いられる塩化第2鉄溶液を用いてエッチングを行い,エッチング深さとサイドエッチング量を計測することによってエッチングファクターを求めた。このエッチングファクターと電気化学的手法により得られたる密着性ファクターとを比較した結果,両者の間には良い相関関係があることが分かった以上の結果を総合して,電気化学的手法による密着性の定量的評価法を確立した。

In addition to improving the accuracy of CRT displays, it is important to improve the adhesion of electronic displays to plain metals. A quantitative evaluation method of the closeness of the material is necessary. This study is aimed at developing a new method for evaluating the electrical chemistry of the polymer. The following results are obtained 1. Adhesion before the determination of the year before the development of electrochemistry method, adhesion evaluation, quantitative evaluation, adhesion, good conditions for the determination of the amount of electricity through the reference value, the test sample for the ratio of the amount of electricity through the adhesion, definition, each pretreatment conditions, adhesion, adjustment. 2. The determination of the amount of iron in the second iron solution was carried out by comparing the operation of the iron solution with that of the second iron solution. The method of electrochemistry was established by comparing the results of electrochemistry with the results of electrochemistry.