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レーザビームの電気光学偏光によるマイクロ波影像装置の開発

利用激光束电光偏振的微波成像装置的研制

基本信息

批准号：
16656038
负责人：
巨陽
金额：
$ 2.24万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,被検査体を透過したマイクロ波ビームの電場分布を電気光学結晶に入力されたレーザビームの偏光に置き換えることによりマイクロ波影像を得る装置を開発し,被検査体の電磁物性分布を画像化することを目的とするものである。高分解能なマイクロ波影像をリアルタイムで取得可能な装置の開発,さらにその応用としてシリコンウェーハの導電率分布の非接触計測への実用化を図る。2年継続により,(I)マイクロ波影像装置の開発,(II)マイクロ波周波数及び電気光学結晶の最適化,(III)シリコンウェーハの導電率分布の定量評価,なる3項目の研究を推進し,目標を達成する。本年度は以下の実績を得た。1.マイクロ波周波数及び電気光学結晶の最適化マイクロ波周波数,及び電気光学結晶の種類を変化させ,それぞれにおけるマイクロ波影像を得ることにより,マイクロ波影像装置におけるマイクロ波周波数,及び電気光学結晶の種別の影響を調べ,最適化を行った。これにより,高分解能,高感度の影像を実現した。2.シリコンウェーハの導電率分布の定量評価上記の研究成果を踏まえ,マイクロ波影像装置の応用例として,シリコンウェーハの導電率分布の非接触計測を実施した。種々の加工条件により導電率分布の違うシリコンウェーハ試験片を用いて,試験片を透過したマイクロ波の電場分布をマイクロ波影像装置により測定し,試験片の導電率分布によって変化するマイクロ波の応答を計測した。さらにマイクロ波の応答と従来の接触型測定法により評価される試験片の導電率から,マイクロ波による導電率の定量評価式を生成し,シリコンウェーハの導電率分布の非接触リアルタイム計測を実現した。

In this study, the optical properties of the optical distribution of the electromagnetic field were analyzed by the optical analysis of the optical distribution of the electromagnetic field. The device was successfully applied to the imaging of the electromagnetic and magnetic properties of the body. The high decomposition energy system can be used to determine the possibility that the equipment can be turned on, and the energy distribution system, the non-contact meter, and the energy distribution system will be used. In the past two years, (I) the imaging device has been launched, (II) the cycle number and optical properties of infrared waves have been optimized, (III) the electrical rate distribution has been quantified, the research of the third project has been promoted, and the goal has been improved. The following awards will be awarded this year. 1. The number of wave cycles and the optical properties of optical devices, such as the number of waves, the number of waves, and the number of waves. It has the advantages of high decomposition energy, high sensitivity, high resolution and high sensitivity. two。 The results of the research, the wave imaging device, the use case, and the non-contact measurement of the power distribution system are very important. A variety of processing conditions, such as the distribution of energy distribution, the use of equipment, the distribution of energy distribution, the distribution of energy, the distribution of electricity, the distribution of energy, the In response to the contact method, the contact method is used to determine the electrical rate of the film, the quantitative formula of the electrical rate of the film, the distribution of the electrical rate, the distribution of the electrical rate, the temperature of the temperature, the temperature of the film, the rate of electricity, the distribution of the energy rate, the temperature distribution, the temperature, the electricity rate, the power distribution, the energy distribution, the non-contact temperature, the energy rate, the