高温加圧法によるシリコン結晶ウェハーの変形加工と形状制御限界の研究

高温加压法硅晶片变形加工及形状控制极限研究

基本信息

  • 批准号:
    17656002
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.24万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 财政年份:
    2005
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2005 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

本研究では、硬くて脆いSi結晶を、三次元的に自由な形状に変形加工するための加工条件(加工温度範囲、ウエハー厚さ、荷重、形状、面方位)を明らかにし、Si結晶ウエハーの高温加圧加工と形状ウエハー結晶の利用という新しい研究分野を拓くことを目的とした。また、三次元的に加工したウエハー結晶の太陽電池やX線集光レンズへの応用を検討した。Si(100)およびSi(111)結晶について、加工条件(加工温度、加工荷重、ウエハー厚み)を変化させて系統的に加工実験を行い、それぞれの結晶において、最適な変形加工条件を特定した。この条件を用いれば、板状の結晶を半球状や波状など三次元的に自由な形状に加工できることを実証した。また、本高温加圧加工法により、さまざまな曲率を有する半導体結晶レンズの作製に成功した。本手法により作製したSi結晶レンズを用いて太陽電池を試作し、加工条件と変換効率の相関を調べた。Si結晶レンズ太陽電池の変換効率は、加工温度や加工後のアニーリングにより結晶内の転位密度を低減することにより改善されることを示した。このSi結晶レンズ太陽電池を集光レンズ型太陽電池として応用した新しい太陽電池システムを提案し、本システムを用いることにより、太陽電池の変換効率を向上できることを示した。さらに、この半導体結晶レンズの表面の結晶格子面が曲率にあわせて変形することを見出し、この特徴を利用することにより、本手法により作製される半導体結晶レンズがX線用の一点集光レンズに応用できる可能性を示した。以上のように、本研究におけるSi結晶の3次元的加工という萌芽的な研究から、様々な応用分野への発展が期待できる成果が得られた。
This study で は, hard く て brittle い Si crystal を, three dimensional に free な shape に - shape processing す る た め の processing conditions (processing temperature fan 囲, ウ エ ハ ー thick さ, load, shape, surface bearing) を Ming ら か に し, Si crystallization ウ エ ハ ー の high-temperature add 圧 と shape ウ エ ハ ー crystallization の using と い う new し い research eset を billiton く こ と を purpose と し Youdaoplaceholder0. ま た, three dimensional に processing し た ウ エ ハ ー crystallization の solar cell や X-ray optics レ ン ズ へ の 応 with を beg し 検 た. Si (100) お よ び Si (111) crystal に つ い て, processing conditions (temperature, machining load, ウ エ ハ ー thick み) を variations change さ せ て system に processing be 験 を い, そ れ ぞ れ の crystallization に お い て, optimum な - shape processing conditions を specific し た. を こ の conditions with い れ ば, tabular の crystallization を half globular や wavy な ど three dimensional shape に free な に processing で き る こ と を card be し た. ま た, the high temperature plus 圧 processing method に よ り, さ ま ざ ま な curvature を have す る semiconductor crystal レ ン ズ の cropping に successful し た. This technique に よ り cropping し た Si crystal レ ン ズ を with い て solar cell を attempt と し, processing conditions - in sharper rate の phase masato を adjustable べ た. Si crystal レ ン ズ solar cell の は variations in working rate, after machining temperature や の ア ニ ー リ ン グ に よ り crystallization の in planning a を low density decrease す る こ と に よ り improve さ れ る こ と を shown し た. こ の Si crystal レ ン ズ solar cell を concentrated レ ン ズ type solar cell と し て 応 with し た new し い solar cell シ ス テ ム を し, proposed this シ ス テ ム を with い る こ と に よ り, solar battery の - in sharper rate を upward で き る こ と を shown し た. さ ら に, こ の semiconductor crystal レ ン ズ の が の crystalline grid on the surface curvature に あ わ せ て - shaped す る こ と を see し, こ の, 徴 を using す る こ と に よ り, this technique に よ り cropping さ れ る semiconductor crystal レ ン ズ が X-ray used little concentrated の レ ン ズ に 応 with で き を る possibility in し た. Above の よ う に, this study に お け る Si crystal の 3rd dimensional processing と い な research of the burgeoning う か ら, others 々 な 応 use eset へ の 発 exhibition が expect で き が る achievements have ら れ た.

项目成果

期刊论文数量(4)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
曲率分布結晶レンズの製造方法および偏光制御装置
曲率分布晶体透镜的制造方法及偏振控制装置
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
X線反射率測定装置およびX線反射率測定方法
X射线反射率测量装置及X射线反射率测量方法
  • DOI:
  • 发表时间:
    2005
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Solar cell system using a polished concave Si-crystal mirror
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    佐藤真柚;江副 祐一郎;小川 智弘;生田 昌寛;沼澤正樹;中村果澄;石川久美;大橋 隆哉;満田 和久;前田 龍太郎;廣島 洋;倉島 優一;野田大二;金森 義明;中嶋 一雄;森下 浩平
  • 通讯作者:
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  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
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  • 通讯作者:
    K. Nakajima and T. Nishi
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非线性扩散问题的数值分析
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
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    0
  • 作者:
    佐藤真柚;江副 祐一郎;小川 智弘;生田 昌寛;沼澤正樹;中村果澄;石川久美;大橋 隆哉;満田 和久;前田 龍太郎;廣島 洋;倉島 優一;野田大二;金森 義明;中嶋 一雄;森下 浩平;小原脩平;村川秀樹
  • 通讯作者:
    村川秀樹
Type II blowup in the doubly parabolic Keller-Segel system in the two dimension
二维双抛物线 Keller-Segel 系统中的 II 型爆炸
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    佐藤真柚;江副 祐一郎;小川 智弘;生田 昌寛;沼澤正樹;中村果澄;石川久美;大橋 隆哉;満田 和久;前田 龍太郎;廣島 洋;倉島 優一;野田大二;金森 義明;中嶋 一雄;森下 浩平;小原脩平;村川秀樹;近藤荘平;長谷川賢二;Noriko Mizoguchi
  • 通讯作者:
    Noriko Mizoguchi

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  • 批准号:
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  • 财政年份:
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  • 资助金额:
    $ 2.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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  • 批准号:
    423491951
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 2.24万
  • 项目类别:
    Research Grants
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