能動型超解像電子顕微鏡法の開発

主动超分辨电子显微镜的发展

• 批准号: 03452093
• 负责人: 志水 隆一
• 金额: $ 4.48万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
• 财政年份: 1991
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1991 至 1992
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03452093/
• 关键词: 高圧変調方式; 能動型画像処理; 焦点ヅレ像; 原子レベル像; 無収差像観察; 表面緩和; 球面収差補正; 超解像度; 吹過型電子顕微鏡

高圧変動方式による新しい能動型超解像電子顕微鏡法の開発を行った高分解能電子顕微鏡-2000CJEMの高圧に150V-0Vの変調電圧を定量させて256ステップ毎の高圧変調を100Hzでドライブさせることに成功した。とくにこの方式の優れている点は(1)高圧中心軸調整が出来るので変調をかけているときの試料像の位置づれが防げること、(2)高速変調が可能なので実〓問処理が実現出来る、ということである。実〓への〓問として 次の2点を中心に原子レベルの像観察を行った。(1)〓微粒子の原子レベル像観察約60Aﾟ〓の〓の微粒子の無収差像観察に成功した。 能動型正像処理により・位相像と〓中像を分〓して観察した。 とくに位相像は表面の原子像の正確な観察が可能になった結果、第1層(200面)が約10%緩和していることを見出した。 これに対て(111)面は緩和が殆んで見られているという意味ある結果を得た。(2)高圧変調による高分解能像観察JEM-200Cを用いて高圧変調方式能動型正像処理を行うことにより、〓〓収差除去高分解能像が得られることを確認した。 とくに高速変調が可能なことより、実〓問処理の実現に見直しが得られることは大きな成果である。現在、傾斜照明法をとり入れた色収差除去について検討を進めておりS/Nの低下の欠点があるものの原理的に無収差像観察が出来ることを確かめており,球面収差と色収差の両面の除去が実現出来る見直しを得ている。ようやく1Aﾟの壁を破る〓〓る一歩をふみ出したと確信している。

High voltage switching mode: new active super resolution electron micro-mirror method development: high resolution electron micro-mirror-2000CJEM high voltage 150V-0V variable voltage quantitative adjustment: 256 Hz high voltage variable voltage adjustment: 100Hz (1) High pressure center axis adjustment,(2) High speed adjustment,(3) High pressure center axis adjustment,(4) High pressure center axis adjustment,(5) High pressure center axis adjustment,(6) High pressure center axis adjustment,(7) High pressure center axis adjustment,(8) High pressure center axis adjustment,(9) High pressure center axis adjustment, The two points of the center. (1)The atomic absorption spectrum of micro-particles is about 60A, and the non-differential absorption spectrum of micro-particles is successfully detected. Active positive image processing, image segmentation, and image processing The atomic image of the surface is detected correctly, and the first layer (200 surfaces) is about 10% relaxed. This is the first time I've ever seen a woman. (2)JEM-200C high-voltage modulation mode active positive image processing, high-resolution energy removal, high-resolution energy detection High speed adjustment is possible, and processing is possible. Now, the oblique illumination method is used to remove the color difference. The S/N ratio is low. The principle of the oblique illumination method is that the spherical color difference is removed. The first step is to make sure

项目成果

Y.Taniguchi,Y.Takai R.Shimizu,M.Chaya and T.Ikuta: "Assessuent of Image Formation by Three Dimeusional Power Spectrum in TEM." Journal Electron Microscopy. 40. 5-10 (1991)

Y.Taniguchi、Y.Takai R.Shimizu、M.Chaya 和 T.Ikuta：“TEM 中三维功率谱对图像形成的评估”。

M.Tarutani,Y.Takai R.Shimizu: "Application of the FIB technique for Hiph Resolution Election Miuoscepic Obsewatien" Japan J.Apnl.Khip.31. 305-308 (1992)

M.Tarutani，Y.Takai R.Shimizu：“FIB 技术在高分辨率选举 Miuoscepic Obsewatien 中的应用”Japan J.Apnl.Khip.31。

Y.Kimura,A.Sugimoto M.Yasuno,R.Shimizu: "Developnut of Coinacleuco TEM" Techuol.Rept.Osaka Univ.42. 247-252 (1992)

Y.Kimura,A.Sugimoto M.Yasuno,R.Shimizu：“Coinacleuco TEM 的开发” Techuol.Rept.Osaka Univ.42。

Y.Taniguchi,Y.Takai,T.Ikuta and R.Shimizu: "Correction of Spherical Afberrotion in HREM Image using DefocusーModulation Image" Journal Elctron Microscopy. 41. (1992)

Y.Taniguchi、Y.Takai、T.Ikuta 和 R.Shimizu：“使用散焦调制图像校正 HREM 图像中的球面差动”杂志 Elctron Microscopy 41。（1992 年）

M.Takeguchi,K.Harada,R.Shimizu: "Study of Defects and Strairs on Cleaued GaAs (110) Surface by Reflection Election Microjcopy" J.Electron Micresc.41. 174-178 (1992)

M.Takeguchi、K.Harada、R.Shimizu：“通过反射电子显微镜研究 Cleaued GaAs (110) 表面的缺陷和条纹”J.Electron Micresc.41。