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イオン衝撃による固体励起の原子的過程の研究

离子轰击固态激发原子过程的研究

基本信息

批准号：
62102006
负责人：
志水隆一
金额：
$ 14.91万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1987
资助国家：
日本
起止时间：
1987 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本年の研究実績は昨年度にひきつづき, (1)エキシマレーザーを用いた多光子励起に表面離脱原子のイオン化過程についての一連の成果(森田, 村田, 一村), (2)二次イオン生成機構における酸素の誘起効果における2段階過程の存在の確認(志水, 野田), (3)シミュレーションコードの開発とそれを用いたスパッタリングにおける非線型過程の解析(山村), など著しい成果がみられている. まとめると次の通りである.(1)エキシマレーザーを用いた多光子励起により, Fe(村岡), Ni(森田)からのスパッタ原子の共鳴励起を用いた速度分布の測定は, 表面結合エネルギーなどの評価の上づきわめて重要な手法として定着しつつある. 又, Al(一村)を用いたイオン化効率の評価も, 多光子励起法が有用であることを裏付ける結果を与え, 今後の進展に大きな期待をよせるものであった.(2)二次イオン生成における酸素の誘起効果については, ISS-SIMSの手法を開発して, Ni(志水)とGaAs(野田)についての詳細な研究がまとまった. とくに, Niでは従来予見されていた2段階過程が明瞭に存在することが確認され, 更にその第1過程では, トンネルモデルが有用であることが更めて確かめられ長年の問題に一つの終止符をうつことが出来た.(3)スパッタリングについてのコンピュータシミュレーションについては, 山村による系統的研究がまとまりつつある. とくに今回新らたに開発したシミュレーションコード DYACAT によるスパッタリングにおける, 非線型過程についての解明は, 反跳原子の中で, 入射イオンより大きいエネルギーをもつものが出現することを初めて示した画期的な成果をもたらした. 今後世界中で広く使われるものと期待される.

This year's research was conducted in the first half of the year. (1) in this year's research, we have studied the results of a series of experiments (Morita, Murata, Ishimura) in the process of surface deatomization by multi-photon excitation. (2) there is a confirmation that there is a process in the second stage of the process (Shimizu, Noda). (3) the analysis of the non-linear process (mountain village), and the results of the analysis (village). (1) the multiphoton excitation device, Fe (village), Ni (Morita), and atomic device (atom) are used to stimulate the measurement of velocity distribution. The surface is used to determine the speed distribution of the device. In addition, Al (a village) uses a wide range of temperature response rates, and the multiphoton excitation method is useful to analyze the results and results. In the future, we look forward to further development. (2) the second cycle is used to generate antioxidants. The results show that the ISS-SIMS method is effective. Ni (Zhishui). GaAs (Noda). In the second part of the process, you have learned that there is a confirmation that there is an error in the Ni process, and that the first procedure is useful. You can make sure that you have a long-term problem. (3) you need to know that there is a problem in the first step. The study of the mountain village hospital system is very important. This time, you have to start a new operation. This time, you are going to be able to detect the results of the DYACAT image. The results of the picture show that the results of the painting period are not valid. In the future, the world will make you look forward to it.