イオン衝撃による固体励起の原子的過程の研究

离子轰击固态激发原子过程的研究

• 批准号: 62102006
• 负责人: 志水 隆一
• 金额: $ 14.91万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Special Project Research
• 财政年份: 1987
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1987 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62102006/
• 关键词: 多光子励起; エキシマレーザー; スパッタリング; 二次イオン生成; コンピュータシミュレーション; 酸素誘起効果

本年の研究実績は昨年度にひきつづき, (1)エキシマレーザーを用いた多光子励起に表面離脱原子のイオン化過程についての一連の成果(森田, 村田, 一村), (2)二次イオン生成機構における酸素の誘起効果における2段階過程の存在の確認(志水, 野田), (3)シミュレーションコードの開発とそれを用いたスパッタリングにおける非線型過程の解析(山村), など著しい成果がみられている. まとめると次の通りである.(1)エキシマレーザーを用いた多光子励起により, Fe(村岡), Ni(森田)からのスパッタ原子の共鳴励起を用いた速度分布の測定は, 表面結合エネルギーなどの評価の上づきわめて重要な手法として定着しつつある. 又, Al(一村)を用いたイオン化効率の評価も, 多光子励起法が有用であることを裏付ける結果を与え, 今後の進展に大きな期待をよせるものであった.(2)二次イオン生成における酸素の誘起効果については, ISS-SIMSの手法を開発して, Ni(志水)とGaAs(野田)についての詳細な研究がまとまった. とくに, Niでは従来予見されていた2段階過程が明瞭に存在することが確認され, 更にその第1過程では, トンネルモデルが有用であることが更めて確かめられ長年の問題に一つの終止符をうつことが出来た.(3)スパッタリングについてのコンピュータシミュレーションについては, 山村による系統的研究がまとまりつつある. とくに今回新らたに開発したシミュレーションコード DYACAT によるスパッタリングにおける, 非線型過程についての解明は, 反跳原子の中で, 入射イオンより大きいエネルギーをもつものが出現することを初めて示した画期的な成果をもたらした. 今後世界中で広く使われるものと期待される.

の research be performance this year annual に は yesterday ひ き つ づ き, (1) エ キ シ マ レ ー ザ ー を with い た multiphoton excitation に the surface from atoms off の イ オ ン process に つ い て の の results in a row (morita, murata, village), (2) secondary イ オ ン production mechanism に お け る acid element の induced unseen fruit に お け る 2 order process の is の confirmation (water, Noda), (3) シ ミ ュ レ ー シ ョ ン コ ー ド の open 発 と そ れ を with い た ス パ ッ タ リ ン グ に お け る の parsing (village), linear process な ど the し い results が み ら れ て い る. ま と め る と times の tong り で あ る. (1) エ キ シ マ レ ー ザ ー を with い た multiphoton excitation up に よ り, Fe okada (village), Ni (morita) か ら の ス パ ッ タ の atom resonance excitation を use い の determination は た velocity distribution, surface combination エ ネ ル ギ ー な ど の review 価 の on づ き わ め て important な gimmick と し て fixed on し つ つ あ る. Again, Al (village) を い た イ オ ン change rate of unseen の review 価 も, multiphoton excitation up useful method が で あ る こ と を in pay け を and え る results, future の progress に big き な expect を よ せ る も の で あ っ た. (2) secondary イ オ ン generated に お け element の る acid induced unseen fruit に つ い て は, ISS - SIMS の gimmick を open 発 し て, Ni (water) と GaAs (his) に つ い て の detailed study な が ま と ま っ た. と く に, Ni で は 従 come to see さ れ て い が た 2 period of order process and clear に exist す る こ と が confirm さ れ, more に そ の process 1 で は, ト ン ネ ル モ デ ル が useful で あ る こ と が more め て か indeed め ら れ elder の problem に つ の terminators を う つ こ と が た. (3) ス パ ッ タ リ ン グ に つ い て の コ ン ピ ュ ー タ シ ミ ュ レ ー シ ョ ン に つ い て は, Mountain village に よ る system research が ま と ま り つ つ あ る. と く に today back to new ら た に open 発 し た シ ミ ュ レ ー シ ョ ン コ ー ド DYACAT に よ る ス パ ッ タ リ ン グ に お け る, linear process に つ い て の interpret は, bounce in の で atom, Big incident イ オ ン よ り き い エ ネ ル ギ ー を も つ も の が appear す る こ と を early め て in し た painting period な results を も た ら し た. In the future world, で broad く makes われる と と expect される.

项目成果

M.Inoue,Y.Sugiyama,S.Nishigaki,T.Noda: Proceedings of 2nd Japan-China Joint Simposium on Mase Spectronetry. (1987)

M.Inoue，Y.Sugiyama，S.Nishigaki，T.Noda：第二届中日马斯谱学联合研讨会论文集。

M.Inoue,Y.Sugiyama,S.Nishigaki,T.Noda: Proceedings of 12th Into Conf on Atomic Collisions in Solids. (1987)

M.Inoue，Y.Sugiyama，S.Nishigaki，T.Noda：第 12 届固体原子碰撞会议论文集。

Y.Matsuda et al.: Nucl.Instr.Meth.B. (1988)

Y.Matsuda 等人：Nucl.Instr.Meth.B。

杉山安彦,井上雅彦,西垣敏,野田保: 第48回応用物理学会学術講演会予稿集2. 360 (1987)

Yasuhiko Sugiyama、Masahiko Inoue、Satoshi Nishigaki、Tamotsu Noda：日本应用物理学会第 48 届年会论文集 2. 360 (1987)

井上雅彦,杉山安彦,西垣敏,野田 保: 質量分析.

Masahiko Inoue、Yasuhiko Sugiyama、Satoshi Nishigaki、Tamotsu Noda：质谱法。