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原子直視ホログラフィ-電子顕微鏡による超格子界面の電位分布の直接観察

使用直接原子全息电子显微镜直接观察超晶格界面的电势分布

基本信息

批准号：
01650521
负责人：
志水隆一
金额：
$ 1.09万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
起止时间：
1989 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01650521/
关键词：
ホログラフィ-超格子構造界面電子顕微鏡原子直視観察

项目摘要

原子直視分析電子顕微鏡(JEM-4000EX)用の電子線バイプリズムシステムを開発した。このシステムはすでに我々が開発した加熱清浄型電子線バイプリズムに微少偏向電極を取り付け、機械的振動を伴うことなく、電子線バイプリズムと試料との位置関係を調整することが出来るように設計した。このバイプリズムシステムにより反射型の電子線木にグラフィを行い、GaAs(110)面に存在するScrew転位による1原子ステップの設差を定量的に測定することに成功した。このため電導機を用いたホログラム再生用のソフトを開発し、良好な両性像が得られることを実験により確認した。次に、よりコヒ-レンスの高い電子線を得るため、熱電界放射用陰極として、LaB_6(310)陰極の動作特性を詳細に調べ、高鮮度電子鏡用陰極として、極めて優れた特性を有することを一連の輝度測定実験より確かめた。即ち、20kvで、JEM100C-FEG電子顕微鏡を用いて夫々熱電子放射と熱電界放射における輝度測定を行ったところ、後者の方が約2ケタ高い輝度の値を示した。以上の研究によって、今回開発したLAB_6(310)熱電界放射型電子鏡と微少偏向用電極をもつバイプリズムシステムを電子顕微鏡に組み込むことによって、高分解能反射型電子線ホログラフィ-が実現するとの確信を得た。このシステムによって本研究の目的とする半導体超格子界面の電位分布の定量測定が実現出来るものと考えている。今後は、LAB_6(310)陰極の最適動作条件下での実験の遂行と、電子線ホログラフィ-による像両生についての理論的取扱いについてより詳細な検討を行うことが課題である。この点についてすでに若干の結果が得られており、十分な見通しが得られている。

The atomic direct vision analytical computer micrometer (JEM-4000EX) uses the electronic cable to start the operation. In this connection, we are interested in the operation of clean-up electric power lines and electrical equipment. There is a slight preference for active electrical equipment, mechanical vibration equipment, electrical equipment, electrical equipment, This is very important to determine the accuracy of the reflective electronic equipment. In the GaAs (110mm) surface, there is a quantitative measurement of the difference between the Screw position and the atomic temperature setting value. The electronic guide machine is used to make sure that the equipment is in operation, and the good performance is similar to the confirmation of the equipment. Secondary, high-temperature, high-voltage, high-power, high-power, high-temperature, high-temperature, high- That is, the microwave, 20kv, and JEM100C-FEG computers are used to determine the radiation temperature of the electronic industry, and the latter is about 2 percent higher than that of the other two. In the above research, the LAB_6 (310) radiation model has a slight preference for the use of active power, high-resolution reflective power lines, high-resolution reflective power lines, and high-resolution reflective power lines. The purpose of this study is to quantitatively determine the electric potential distribution at the interface of the semi-solid superlattice. In the future, LAB_6 (310) is very active under the most active operation conditions, such as the selection of the theory of health education and communication, which is similar to the theory of health education. In the end, the results show that the results are very good, and the results are very good.