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ナノメ-トル反射回折オ-ジエ電子顕微鏡の試作研究

纳米反射衍射俄歇电子显微镜原型研究

基本信息

批准号：
63850017
负责人：
志水隆一
金额：
$ 8万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至 1989
项目状态：
已结题

项目摘要

昨年度試作した同心球型阻止電位メッシュ2枚電極をもつ円筒鏡型エネルギ-アナライザ-(CMA)は、その後の詳細な実験を行った結果、夫々のメッシュ電極が数100ミクロン偏心してとりつけられていることが判明した。これを解決するために新らたにこれら電極を保持しているマコ-ルホルダ-の精密加工を行った。更に帯荷を防ぐために、松下電産(株)が開発した半導体塗料の焼付塗付を行い、このセラミクスホルダ-を用いて、再度CMAへの取り付けを行い実験を再開した。実験は現在もなお続行中であるが、現時点で明らかになっていることを以下に箇條通に示す。(1)2枚の円心球型メッシュ電極は数10ミクロンの精度で同心状にとりけることが出来た。これは分解能テストを行って、信号電子のエネルギ-(弾性散乱ピ-ク)が大きくなるにつれてピ-ク形状が崩れるという現象が無くなったことから裏付けされる。(2)阻止電圧を高くしてもS/Nが急激に劣化するということが見られなくなり、理論通りの特性が定性的に確認された。しかし、定量的な特性評価を行うには、検出器の入射電子のエネルギ-への依存性について正確な知見が必要である。このため現在、検出器をファラテ-カップとして使用する方式に変更して実験を続行中であるが、電流導入端子の絶縁劣化のため暗電流が効いて来て正確な測定が出来ていない。現在、この部分のオ-バホ-ルを行っており、順調にいけば、絶対電流測定が可能になる予定である。これらの結果をもとに本来の目的である、高分解能オ-ジエ分析を試み、とくに反射回折の情報の取り込みについての一連の実験を行って最終結論を出す予定である。とくに同心型阻止電極ホルダ-の製作にあたってきわめて有用なノウハウを得ることが出来たので報告書で詳しく述べる予定である。

Last year's test results showed that the number of concentric spherical blocking potentials was 100. The number of concentric spherical blocking potentials was 100. The number of concentric spherical blocking potentials was 100. The new electrode is manufactured In addition, Matsushita Electric Co., Ltd. has developed semiconductor coating and coating, and has re-opened CMA coating and coating. The following is a description of the current situation. (1)2 The number of concentric spherical electrodes is 10. The signal electrons are generated by the decomposition of energy, and the signal electrons are generated by the decomposition of energy. (2)To prevent high voltage, high S/N, rapid excitation, degradation, theoretical communication, qualitative characteristics, etc. For quantitative evaluation of the characteristics of the detector, it is necessary to know the dependence of the incident electron on the detector. The current detector is used to correct the current detection by changing the current detection mode. Now, this part of the time- The results of this study are consistent with the original objectives, high resolution energy, analysis, reflection, information retrieval, and implementation of the final conclusions. In addition, the production of concentric stopper electrode electrodes can be used to make them useful. This report will be published in detail and will be determined in detail.