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ナノメ-トル反射回折オ-ジエ電子顕微鏡の試作研究

纳米反射衍射俄歇电子显微镜原型研究

基本信息

批准号：
63850017
负责人：
志水隆一
金额：
$ 8万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至 1989
项目状态：
已结题

项目摘要

昨年度試作した同心球型阻止電位メッシュ2枚電極をもつ円筒鏡型エネルギ-アナライザ-(CMA)は、その後の詳細な実験を行った結果、夫々のメッシュ電極が数100ミクロン偏心してとりつけられていることが判明した。これを解決するために新らたにこれら電極を保持しているマコ-ルホルダ-の精密加工を行った。更に帯荷を防ぐために、松下電産(株)が開発した半導体塗料の焼付塗付を行い、このセラミクスホルダ-を用いて、再度CMAへの取り付けを行い実験を再開した。実験は現在もなお続行中であるが、現時点で明らかになっていることを以下に箇條通に示す。(1)2枚の円心球型メッシュ電極は数10ミクロンの精度で同心状にとりけることが出来た。これは分解能テストを行って、信号電子のエネルギ-(弾性散乱ピ-ク)が大きくなるにつれてピ-ク形状が崩れるという現象が無くなったことから裏付けされる。(2)阻止電圧を高くしてもS/Nが急激に劣化するということが見られなくなり、理論通りの特性が定性的に確認された。しかし、定量的な特性評価を行うには、検出器の入射電子のエネルギ-への依存性について正確な知見が必要である。このため現在、検出器をファラテ-カップとして使用する方式に変更して実験を続行中であるが、電流導入端子の絶縁劣化のため暗電流が効いて来て正確な測定が出来ていない。現在、この部分のオ-バホ-ルを行っており、順調にいけば、絶対電流測定が可能になる予定である。これらの結果をもとに本来の目的である、高分解能オ-ジエ分析を試み、とくに反射回折の情報の取り込みについての一連の実験を行って最終結論を出す予定である。とくに同心型阻止電極ホルダ-の製作にあたってきわめて有用なノウハウを得ることが出来たので報告書で詳しく述べる予定である。

Last year's trial production of the concentric spherical blocking potential メッシュ 2-electrode をもつ円 tube mirror type エネルギ-アナライザ-(CMA) は, その后のDetails of な実験を行った results, husband 々のメッシュelectrode number 10 0ミクロンeccentricityしてとりつけられていることが明明した.これをsolvedするために新らたにこれらelectrodeをholdしているマコ-ルホルダ-のprecision machiningを行った. It is more suitable for the manufacturers of Panasonic Electronics Co., Ltd.このセラミクスホルダ-を Use いて, CMA again へのtake りpay けを行い実験を开した.実験はNow もなお続行中であるが、The present point で明らかになっていることをThe following に箇条通にす. (1) The number of 2-piece spherical メッシュ electrodes is 10 ミクロンの, and the precision is concentric. The これは decomposition energy テストを行って, the signal electronic のエネルギ-(弾性 scatter ピ-ク)が大きくなるにつれてピ-クshaped がcollapse れるというphenomenon が无くなったことから里发けされる. (2) Prevent the deterioration of the high voltage S/N and the rapid deterioration of the electric voltage, and confirm the qualitative properties of the theoretical properties.しかし, quantitative な characteristic evaluation 価を行うには, 検ejector ののエネルギ-へのdependence について Correct knowledge がである.このためNow, the 検出器をファラテ-カップとして uses the する method and the して実験を続行中であるが、The current introduction terminal's absolute deterioration のためdark current がeffect いてcomes and the correct measurement がcomes out ていない. Now, it is possible to measure the absolute current, and it is not possible to measure the current.これらのRESULT をもとに originally のpurpose である, high resolution energy オ-ジエ ANALYSIS をtrial み, とくに inverse The information that is shot back and folded is taken out and the final conclusion is determined.とくにConcentric blocking electrode ホルダ-のproduced by にあたってきわめて用なノウハウを got the ることが came out and the たので report was detailed and the しく was stated and the べる was decided.