ナノ結晶3次元組織解析のための電子顕微鏡トモグラフィー技術の確立

三维纳米晶结构分析电子显微镜断层扫描技术的建立

• 批准号: 15651055
• 负责人: 松村 晶
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2003 至 2004
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15651055/
• 关键词: 透過電子顕微鏡法; 電子線トモグラフィー; ナノグラニュラー薄膜; 3次元構造解析; 暗視野像

本研究では、電子顕微鏡トモグラフィー観察において試料回転ホルダーを活用した試料方位の制御を試行し、ナノ物質の3次元結晶組織を解析する手法を開拓することを主目的とした。具体的には、ナノグラニュラー組織をもつ金属ナノ結晶材料の3次元結晶組織解析を通して回折条件の選択や画像合成の条件について検討を行い、手法や観察条件の最適化を図り手法としての確立を目指した。本年度に得られた主な成果を以下に述べる。(1)昨年度に引き続き、試料回転ホルダーを使用することにより、回折波が現れる結晶軸と試料ホルダー傾斜軸(X軸)を一致させ、回折条件を制御した明視野による電子顕微鏡トモグラフィーの可能性を検討した。その結果、試料傾斜軸の調整と同時に、電子線入射方位を適宜に調整することにより、像コントラストの最適化が図られることが明らかになった。(2)非晶質Al_2O_3マトリックス中にナノメートルスケールのFePt微粒子を分散させたナノグラニュラー薄膜について、タスク1で検討したTEMトモグラフィー法を活用して、その3次元構造の観察を行った。対物絞りを挿入しない明視野像から、直径1nm以下のFePt粒子の3次元像を得ることに成功した。(3)昨年度に引き続き、2.4MeVCuイオンの照射を施したFePtナノグラニュラー薄膜のTEMトモグラフィー観察を行い、FePt粒子の3次元形態を明らかにした。照射によってFePt粒子がイオン照射方向に沿って大きく成長することをトモグラフィーによる3次元構造解析により明らかにした。さらに、粒子形状がFePt組成の関数として変化することを示す結果を得た。

In this study, the orientation of the sample using the electron microscopy microscope was usedのcontrol を trial し, ナノ material の 3-dimensional crystal structure を analysis す る technique を development す る こ と を main purpose と し た. Specific には, ナノグラニュラーstructure をもつ metal ナノcrystal material の3-dimensional crystal structure analysis を通 して folding conditions の selection択やThe conditions for image synthesis are optimized, and the technique is optimized to observe the conditions. The technique is established and the purpose is established. The main achievements of this year are summarized below. (1) Yesterday's year's に氚きき続き, sample return 転ホルダーを use することにより, return folding wave がpresent れる crystallization axis と sample ホルダー tilt The oblique axis (X-axis) is consistent, and the folding condition is controlled and the bright field of view is controlled, and the possibility of the electronic micromirror is controlled. The result, the adjustment of the sample tilt axis and the simultaneous adjustment of the incident direction of the electron beam are appropriate and appropriate.ことにより, like コントラストのoptimization が図られることが明らかになった. (2) Amorphous Al_2O_3 マトリックス中にナノメートルスケールのFePt microparticles をdispersed させたナノグラニThe ュラー film について, the タスク1で検したTEMトモグラフィー法を utilizes the して, その3-dimensional structure の看を行った. We succeeded in inserting a bright field image and a 3D image of FePt particles with a diameter of less than 1 nm. (3) Yesterday's year's 2.4 MeVCu イオンのirradiation irradiation を Shi したFePt ナノグラニュThe TEM technology of the ラー thin film and the 3-dimensional form of the FePt particles are as follows. Irradiation of FePt particles in the direction of irradiation and growth of large particlesることをトモグラフィーによる3-dimensional structure analysis により明らかにした. The particle shape and FePt composition are determined by the number of changes and the results are obtained.

项目成果

Characterization of carbides at different boundaries of 9Cr-steel

• DOI: 10.1016/j.msea.2003.12.065
• 发表时间: 2004-06
• 期刊: Materials Science and Engineering A-structural Materials Properties Microstructure and Processing
• 影响因子: 6.4
• 作者: K. Kaneko;S. Matsumura;A. Sadakata;K. Fujita;W. Moon;S. Ozaki;Nishimura Nobuhiko;Y. Tomokiyo

K.Kaneko, S.Matsumura, et al.: "Quantitative electron microscopy of FePt nano-crystallites in amorphous Al_2O_3 matrix"Scripta Materialia. 48・7. 915-920 (2003)

K. Kaneko、S. Matsumura 等：“非晶 Al_2O_3 基质中 FePt 纳米微晶的定量电子显微镜” Scripta Materialia 48・7 (2003)。

Effect of the nitrogen content in CoFe-AlN granular thin films

CoFe-AlN颗粒薄膜中氮含量的影响

• 发表时间: 2004
• 期刊: Proc.8^<th> Asia-Pacific Conf.Electron Microscopy
• 作者: K.Kaneko;S.Matsumura;et al.
• 通讯作者: et al.

Morphological change in FePt nanogranular films induced by irradiation with 100 keV He ions

100 keV He 离子辐照诱导 FePt 纳米颗粒薄膜的形貌变化

• 发表时间: 2005
• 期刊: Scripta Materialia 53・4
• 作者: M.Shirai;S.Matsumura;et al.;S.Hata;K.Kimura;Y.Tomokiyo;S.Matsumura
• 通讯作者: S.Matsumura

Radiation-induced structural change in FePt nanogranular films

FePt 纳米颗粒薄膜中辐射引起的结构变化

• 发表时间: 2004
• 期刊: Proc.8^<th> Asia-Pacific Conf.Electron Microscopy
• 作者: S.Matsumura;et al.
• 通讯作者: et al.