エネルギー分散型X線反射率計用全反射屈折フイルターの試作

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16年度の研究実績は研究計画の80パーセントは遂行できた。具体的には本年度は次の研究計画をたてた。(1)鏡面フィルターを作製と平行して高精度基礎実験用として全反射白色X線回折装置のゴニオメータに高精度回転(1/500度)と平行移動(1ミクロン)ができる屈折X線強度測定装置を設計・製作する。(2)高精度屈折X線強度測定装置、各種材料フイルターを用いてフイルターの最適化がなされ実用研究のめどがたてば反射率計としての装着を可能にする装置の設計装着を試みる。(3)高精度屈折X線強度測定装置を用いて各種薄膜試料を対称に実用化に向けての実験を行い、データを収集する。具体的には、可変エネルギーフイルターの特性測定、有機多層膜の構造評価(その場測定)、有機EL素子の動作構造変化の測定等の応用実験等を計画している。以上の計画に対して、本年度の研究実績は次の通り。(1)50ミクロンの両面研磨ベリリュームフィルターの作成に成功した。ゴニオメータ精度〔1/500度〕、平行移動精度〔1ミクロン〕の測定装置の作成に成功した。(2)フィルター、ゴニオメータの作成に加え試料装着装置を完成させた。(3)試料としてSi基板の反射率を測定し、データを収集した。その結果、本手法の有効性が確認された。また、実験で得られ可変エネルギーフイルターの特性とシミュレーションとの比較から装置改善の指針が得られた。有機多層膜の構造評価(その場測定)、有機EL素子の動作構造変化の測定等の応用実験等は実行できなかった。以上の結果は国際学会(Materials Research Society (Boston)で発表した。