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超精密ダイヤモンド工具刃先のin situナノ形状計測による超精密加工技術

利用超精密金刚石刀具切削刃原位纳米形状测量的超精密加工技术

基本信息

批准号：
16656054
负责人：
難波義治
金额：
$ 2.24万
依托单位：
Chubu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

形状誤差100nm以下のレプリカX線非球面反射鏡を製作するために、無電解ニッケル製金型の超精密ダイヤモンド切削の研究を行なって来た。この場合、加工装置の位置決め分解能1nmに比べ超精密ダイヤモンド工具刃先の形状測定分解能はその100倍から1000倍も悪いのが現状であった。また、X線望遠鏡のような大型金型においては、工具摩耗による工具刃先形状の変化は避けられない。そこで、静的な状態でnm単位の形状計測が可能なレーザー散乱を応用した超高精度工具形状計測システムNano InSPEC を使用して、各種超精密ダイヤモンド工具刃先形状を測定した。それと共に、ナノVIBEファイバーオプティックセンサーを使用して非球面金型のナノ機上形状計測を行い、その計測結果を加工にフィードバックすることにより、X線顕微鏡並びにX線望遠鏡用超精密非球面金型を製作した。その結果、前者においては数十nmの形状精度での非球面金型の加工が可能となった。海外共同研究者(Soares博士)を招聘し、共同研究を行い、その結果は、"Measurements of Spindl Parameters and Tool Positioning on a Diamond Turning Machine to Nanometer Resolution" と題して,3rd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21),Nagoya, Japan(2005)で発表した。また、同じ会議で"Precision Machining of Electroless Nickel Mandrels and Fabrication of Replicated Mirrors for Soft X-Ray Microscopes" と題してX線反射鏡用非球面金型の超精密加工と形状計測について発表した。

Form error below 100 nm のレプリカ X-ray aspherical mirrors を making するために, non electrolytic ニッケル type of gold の ultra-precision ダイヤモンド cutting line の research をなってた. この occasions, processing device の position can definitely め decomposition 1 nm に than べ ultra-precision ダイヤモンドの first tool blade shape measurement can decompose はその 100 times から 1000 times も悪いのが status quo であった. Youdaoplaceholder0, X-ray telescope ような, large gold type におてて, tool wear による, tool edge shape <s:1> change avoid けられなまた. そこで, static state of なで nm 単 a の shape measuring が may なレーザー scattered を応 with した ultra precision tool shape measuring システム Nano InSPEC を use して, all kinds of ultra-precision ダイヤモンド tool blade shape first を determination した. それとに, ナノ VIBE ファイバーオプティックセンサーを use して non spherical gold のナノ machine shape measuring をい, その measuring results を processing にフィードバックすることにより, X-ray 顕 micro mirror and びに X-ray telescope made of ultra-precision aspheric gold type をした. The そ <s:1> result, the former におてて tens of nm <s:1> shape accuracy で <s:1> aspheric metal shape <s:1> processing が may となった. Overseas co-researcher (Dr. Soares)を recruitment を, co-study を rows を, そ <s:1> results, "Measurements of Spindl Parameters and Tool Positioning on a Diamond Turning Machine to Nanometer Resolution と topic て,3rd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21),Nagoya Japan(2005)で published on た. Youdaoplaceholder0, the same as じ conference で"Precision Machining of Electroless Nickel Mandrels and Fabrication of Replicated Mirrors for Soft X-Ray "Microscopes" と question て X-ray reflectors aspheric metal type <s:1> ultra-precision machining と shape measurement にてて development たた.

项目成果

期刊论文数量（18）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Upgraded hard x-ray telescope with multilayer supermirror for the InFOCuS balloon experiment

用于 InFOCuS 气球实验的升级版硬 X 射线望远镜，配备多层超级镜面

DOI：
发表时间：
2004
期刊：
Proc.SPIE 5488
影响因子：
0
作者：
榊裕之監修;木塚徳志分担執筆;Y.Kanamori;佐々木実;H.Fujii;S.Nakamichi;T.Watanabe;S.Tsurekawa;Hirotsugu Ogi et al.;K.W.Kim;K.S.Chon;R.Shibata
通讯作者：
R.Shibata

Fabrication and Micro- structure Analysis of Pt/C Multilayers for Hard X-ray Optics

硬 X 射线光学器件 Pt/C 多层膜的制备和微观结构分析