Visualization of flow dynamics of gas and excited species generated by small thermal non-equilibrium plasmas

小型热非平衡等离子体产生的气体和激发态物质的流动动力学可视化

• 批准号: 18H05849
• 负责人: 占部 継一郎
• 金额: $ 1.91万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2018-08-24 至 2020-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18H05849/
• 关键词: プラズマ; 分光診断; 分光計測; 流れの可視化

本研究の研究対象と計画していた，誘電体管内に発生させたプラズマを真空チャンバー中に噴き出す形式のプラズマ発生システムを構築した．研究室に既存のロータリーポンプ，ターボ分子ポンプの接続，真空チャンバーの改造，ガス導入系の構築，などを科研費補助金により実施した．設備備品費により，レーザー分光システムを立ち上げるための光学定盤架台を購入した．その他，実験研究をスタートしていくにあたって必要な工具などを購入し，スムーズな実験立ち上げを行うことができた．また，研究室に保管されていた大型分光器を整備し，分子スペクトルを詳細に観測する発光分光・吸収分光計測を実現するために用いる予定である．研究課題に関連する内容として，電気推進器中でのイオン流れが内部金属部品に及ぼす影響や，非平衡プラズマを用いたプラズマ加工（基板へのイオン流れ）が及ぼす半導体，絶縁体材料への影響に関する基礎研究を進めている．これらの内容については，論文・学会発表を２０１８年度後半から継続的に行っている．また，オリジナルな研究をスタートしていくために必要な情報収集を，応用物理学会（９月，名古屋），宇宙科学連合講演会（１１月，久留米），プラズマエレクトロニクス新領域研究会（１１月，札幌）にて行った．それぞれの研究集会において，これまでに研究代表者が行ってきた研究内容（大気圧プラズマの電子密度診断）や，研究スタート支援により部分的に補助されている研究（低圧プラズマと固体材料の相互作用）の発表を行った．

The purpose of this study is to develop a computer program for the purpose of this study. the purpose of this study is to prepare a computer for the purpose of this study. in this study, the research is in the form of a computer in the form of a vacuum, a vacuum. The equipment, equipment equipment, equipment and equipment. The laboratory is responsible for the maintenance of the equipment of the large-scale spectrometer, the molecular equipment, the optical absorption spectrometer, the spectrophotometer, the spectrometer, the laboratory, the laboratory and the laboratory. The unbalanced equipment is processed in the form of a substrate (substrate) and a half-body, and the material of the body is used to improve the performance of the study. the contents of the research are reviewed, and the information is available in the second half of 2018. In the second half of 2018, the Institute of Literature and Literature shows that it is necessary to collect information. The Society of Applied Physics (Nagoya, September), the Universe Science Connectivity Conference (November, Kuliumi), the New Field Research Conference (Sapporo, November), the New Field Research Conference (Sapporo, Sapporo), and the research representative of the Institute of Applied Physics, Nagoya, November, Sapporo, Sapporo. In the study of the interaction between solid materials and solid materials, the study of the interaction between solid materials and solid materials is supported by the study of the interaction between solid materials and materials.

项目成果

電気特性解析を用いた高エネルギーイオン照射による電極腐食過程の研究

利用电性能分析研究高能离子辐照电极腐蚀过程

• 发表时间: 2018
• 作者: 中村浩大，占部継一郎;江利口浩二
• 通讯作者: 江利口浩二

Characterization of the distribution of defects introduced by plasma exposure in Si substrate

Si 衬底中等离子体暴露引入的缺陷分布特征

• DOI: 10.1116/1.5048027
• 发表时间: 2019
• 期刊: Journal of Vacuum Science & Technology A
• 影响因子: 2.9
• 作者: Sato Yoshihiro;Shibata Satoshi;Uedono Akira;Urabe Keiichiro;Eriguchi Koji
• 通讯作者: Eriguchi Koji

First-principles study on electronic structure modifications of Si substrtae with the Cl-terminated surface

Cl封端硅衬底电子结构修饰的第一性原理研究

• 发表时间: 2018
• 作者: Y. Yoshikawa;K. Urabe;and K. Eriguch
• 通讯作者: and K. Eriguch

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