Visualization of flow dynamics of gas and excited species generated by small thermal non-equilibrium plasmas

本研究の研究対象と計画していた，誘電体管内に発生させたプラズマを真空チャンバー中に噴き出す形式のプラズマ発生システムを構築した．研究室に既存のロータリーポンプ，ターボ分子ポンプの接続，真空チャンバーの改造，ガス導入系の構築，などを科研費補助金により実施した．設備備品費により，レーザー分光システムを立ち上げるための光学定盤架台を購入した．その他，実験研究をスタートしていくにあたって必要な工具などを購入し，スムーズな実験立ち上げを行うことができた．また，研究室に保管されていた大型分光器を整備し，分子スペクトルを詳細に観測する発光分光・吸収分光計測を実現するために用いる予定である．研究課題に関連する内容として，電気推進器中でのイオン流れが内部金属部品に及ぼす影響や，非平衡プラズマを用いたプラズマ加工（基板へのイオン流れ）が及ぼす半導体，絶縁体材料への影響に関する基礎研究を進めている．これらの内容については，論文・学会発表を２０１８年度後半から継続的に行っている．また，オリジナルな研究をスタートしていくために必要な情報収集を，応用物理学会（９月，名古屋），宇宙科学連合講演会（１１月，久留米），プラズマエレクトロニクス新領域研究会（１１月，札幌）にて行った．それぞれの研究集会において，これまでに研究代表者が行ってきた研究内容（大気圧プラズマの電子密度診断）や，研究スタート支援により部分的に補助されている研究（低圧プラズマと固体材料の相互作用）の発表を行った．

本研究の研究対象と計画していた，誘電体管内に発生させたプラズマを真空チャンバー中に噴き出す形式のプラズマ発生システムを構築した．研究室に既存のロータリーポンプ，ターボ分子ポンプの接続，真空チャンバーの改造，ガス導入系の構築，などを科研費補助金により実施した．設備備品費により，レーザー分光システムを立ち上げるための光学定盤架台を購入した．その他，実験研究をスタートしていくにあたって必要な工具などを購入し，スムーズな実験立ち上げを行うことができた．また，研究室に保管されていた大型分光器を整備し，分子スペクトルを詳細に観測する発光分光・吸収分光計測を実現するために用いる予定である．研究課題に関連する内容として，電気推進器中でのイオン流れが内部金属部品に及ぼす影響や，非平衡プラズマを用いたプラズマ加工（基板へのイオン流れ）が及ぼす半導体，絶縁体材料への影響に関する基礎研究を進めている．これらの内容については，論文・学会発表を２０１８年度後半から継続的に行っている．また，オリジナルな研究をスタートしていくために必要な情報収集を，応用物理学会（９月，名古屋），宇宙科学連合講演会（１１月，久留米），プラズマエレクトロニクス新領域研究会（１１月，札幌）にて行った．それぞれの研究集会において，これまでに研究代表者が行ってきた研究内容（大気圧プラズマの電子密度診断）や，研究スタート支援により部分的に補助されている研究（低圧プラズマと固体材料の相互作用）の発表を行った．