アクティブ型フローティング機構による高能率なナノ表面形状研磨法の開発

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光学・電子部品に使用される硬質脆性材料の仕上げ加工には、化学的な作用を付与した遊離砥粒加工等が一般的に用いられている。しかし、加工能率や廃液などの問題があり、砥石などの固定砥粒を活用した加工への代替が求められている。本研究では超砥粒砥石を用いながら、安定した低切込み深さを得るために、加工圧力の極低圧化と砥粒の微細化を提案している。提案手法の実用化に向けて高能率加工法を確立するため,アクティブ型フローティング機構の加工部への適用を検討する.この手法の採用により、高速・高周波数の加工でも低切込み状態の維持が期待でき、これにより高能率なナノ表面形状研磨法の開発をめざすことを目的としている。平成23年度は環境整備・実験装置のセットアップ、アクティブ型フローティング機構の検討,研磨加工の実施と評価を行った。(1)実験装置のセットアップ:アクティブ型フローティング機構による研磨加工を実現するため,その母体となる実験機を購入・設置した.また事前実験用に中速加工が可能な試作研磨装置も設置した.(2)アクティブ型フローティング機構の検討:提案手法のキーとなるアクティブ型フローティング機構に必要なセンサ類をそろえ,その機構・設置方法・評価方法について検討中である.(3)研磨加工の実施と評価:中速加工が可能な試作研磨装置を用いて,研磨加工を実施し評価を行った.提案手法である加工圧力の極低圧化と砥粒の微細化による加工は,本機で実施可能となっており,ナノオーダーの表面が得られている.