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Development of highly efficient damage-free finishing technique for wide gap semiconductor substrate utilizing atmospheric pressure plasma

Development of highly efficient damage-free finishing technique for wide gap semiconductor substrate utilizing atmospheric pressure plasma
利用大气压等离子体开发宽禁带半导体衬底高效无损伤精加工技术
批准号:
25249006
负责人:
Yamamura Kazuya
金额:
$28.54万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份:
2013
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2013-04-01 至 2017-03-31

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Planarization and Smoothing of CVD Grown Diamond Wafer by Atmospheric Pressure Plasma Based Process
采用大气压等离子体工艺对 CVD 生长金刚石晶片进行平坦化和平滑化
DOI: --
发表时间: 2015
期刊:
影响因子: --
作者: [道上久也, 田畑雄壮, 遠藤勝義, 山田 英明, 茶谷原 昭義, 杢野 由明, 山村和也]
通讯作者: 山村和也
DOI: 10.1088/0022-3727/47/11/115503
发表时间: 2014-02
期刊: Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子: --
作者: [Y. Takeda;Y. Hata;K. Endo;K. Yamamura]
通讯作者: Y. Takeda;Y. Hata;K. Endo;K. Yamamura
プラズマ援用研磨法の開 発( 第 13 報 ) -単結晶GaNの研磨における表面改質条件の最適化-
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DOI: --
发表时间: 2015
期刊:
影响因子: --
作者: [鄧輝, 遠藤勝義, 山村和也]
通讯作者: 山村和也
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: [Lennaert van Veen, Alberto Vela Martin, Genta Kawahara, Tatsuya Yasuda, 畑祐輝]
通讯作者: 畑祐輝
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    Development of slurry-less electrochemical mechanical polishing machine for wide-gap semiconductor substrates applying ultrasonic vibration
    • 批准号:
      21K18677
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额:
      $4.16万
    • 财政年份:
      2021
    • 负责人:
      Yamamura Kazuya
    • 依托单位:
    Highly efficient slurryless finishing of difficult-to-polish materials by active controlled electrochemical mechanical polishing
    • 批准号:
      18K18810
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额:
      $4.08万
    • 财政年份:
      2018
    • 负责人:
      Yamamura Kazuya
    • 依托单位:
    Highly-efficient damage-free manufacturing of functional materials by plasma nanomanufacturing process
    • 批准号:
      18H03754
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额:
      $28.62万
    • 财政年份:
      2018
    • 负责人:
      Yamamura Kazuya
    • 依托单位:
    海外基金