サイクロトロン共鳴質量分析器を用いた磁化プラズマ中ラジカルイオンの測定

使用回旋共振质谱仪测量磁化等离子体中的自由基离子

• 批准号: 05237216
• 负责人: 三重野 哲
• 金额: $ 0.96万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-05237216/
• 关键词: サイクロトロン共鳴; 質量分析器; 磁化プラズマ; ラジカルイオン; プラズマプロセッシング; ふっ素; 負イオン; フリーラジカル

1.報告者の開発したサイクロトロン共鳴質量分析器を用いて、磁化プラズマ中のラジカルイオンのその場質量分析を、分解能M/ΔM(〕 SY.ltoreq. 〔)80で行うことができた。2.CH_4/Ar、CF_4/Ar、CH_4/H_2の原料ガスに対して直流放電とECR放電を行ない、ラジカルイオン組成のプラズマ条件依存性のデータを得ることができた。特に、CF^+、CH^+、CH_5^+の圧力やプラズマ密度依存性が特微的であった。また、分子分圧が1%以下でもその分子イオンを測定することができた。また、炭素基板への水素プラズマ照射において、エッチング作用による炭火水素イオンの発生過程を測定することができた。3.CF_4ガスの直流放電で、正イオンと同時に負イオン(F^-、F_2^-)もこの分析器で測定することができた。そして、F^-の密度はCF_3^+の約30%に達していることが分かった。4.CH_4とCF_4の中性ガスに対して、この分析器で電子ビーム入射のイオン化質量分析を試み、分子の解離イオン化の様子を測定できた。また、電子ビームエネルギーに対するイオン化の断面積を測定することができた。しきい値イオン化法による中性ラジカルの測定も検討中である。5.分析器のオリフィスやターゲットにバイアス電圧を加え、通過イオン速度を減速させることにより、分解能を上昇させることができた。現在、分解能の向上と分析器の小型化のため、イオン閉じ込め法を開発中である。

1. Reporter's development of resonance mass analyzer application, magnetization, field mass analysis, decomposition energy M/ΔM(SY.ltoreq. [80]. 2. CH_4/Ar, CF_4/Ar, CH_4/H_2 raw materials are mixed with DC and ECR. The density dependence of CF^+, CH^+ and CH_5^+ is very small. The molecular weight is less than 1%, and the molecular weight is less than 1%. The carbon substrate is irradiated with water and the carbon substrate is irradiated with water and the carbon substrate is irradiated with water. 3. CF_4 is a direct current source, positive source and negative source (F^-, F ^-). The density of CF_3^+ is about 30%. 4. Neutralization of CH_4 and CF_4 is related to the analysis of electron emission and molecular dissociation. For example, if you are interested in electronic products, you may want to contact us. In the middle of the discussion, the neutral color method was used. 5. The analyzer's voltage increases, its speed decreases, and its decomposition energy increases. Now, the decomposition energy can be improved and the miniaturization of the analyzer can be improved.

项目成果

T.Mieno: "Cyclotron Resonance Mass Spectrometry of Ionic Radicals in a Magnetized CF_4 Plasma" Jpn.J.Appl.Phys.33 (出版予定). (1994)

T.Mieno：“磁化 CF_4 等离子体中离子自由基的回旋共振质谱”Jpn.J.Appl.Phys.33（待出版）。

T.Kano: "Measurement of Ion Fractions in Helicon Wave CF_4 Plasmas by TOF Mass Analysis" Proc.2nd Int.Conf.Reactive Plasmas,Yokohama,1994. 581-583 (1994)

T.Kano：“通过 TOF 质量分析测量螺旋波 CF_4 等离子体中的离子分数”Proc.2nd Int.Conf.Reactive Plasmas，横滨，1994 年。

三重野 哲: "ヘリコン波酸素プラズマ中正負イオンの時間分解分析" 信学技報. SPDM-126. 53-57 (1993)

Satoshi Mieno：“螺旋波氧等离子体中正离子和负离子的时间分辨分析”IEICE 技术报告 53-57 (1993)。

T.Mieno: "Cyclotron Resonance Mass Spectrometry of Radical Ionsina Magnetized Reactive Plasma" Proc.2nd Int.Conf.Reactive Plasmas,Yokohama,1994. 395-398 (1994)

T.Mieno：“自由基离子磁化反应等离子体的回旋共振质谱”Proc.2nd Int.Conf.Reactive Plasmas，横滨，1994 年。

武田 仁志: "サイクロトロン共鳴質量分析器による磁化プラズマ中炭化水素不純物の測定" ダイバーター研究会報告書,核融合科学研究所,1994. (出版予定). P.7 (1994)

Hitoshi Takeda：“使用回旋共振质谱仪测量磁化等离子体中的碳氢化合物杂质”Diverter 研究小组报告，融合科学研究所，1994 年。（待出版）第 7 页（待出版）。