ホットウォール法で作製した有機薄膜・半導体超格子の走査型トンネル顕微鏡による観察

使用扫描隧道显微镜观察热壁法制造的有机薄膜和半导体超晶格

• 批准号: 05245206
• 负责人: 佐々木 彰
• 金额: $ 1.47万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-05245206/
• 关键词: 走査型トンネル顕微鏡; バリアハイト; ステアリン酸; 有機薄膜; グラファイト; ITO; 金薄膜; 走査型ずれ応力顕微鏡

1.有機薄膜・半導体超格子観察用STMシステムの製作を行った。1)トンネルバリアハイトをSTM観察と同時に行えるシステムとした。2)大気中で金原子を観察可能な高安定システムとした。3)熱的及び機械的に安定で、±15Vの制御信号で観察可能なシステムとした。4)上記システムを使用し、これから種々の材料で必要になると考えられるSTMナノ加工を試みた。2.ステアリン酸薄膜をHOPGグラファイト、ITO、金薄膜基板上にホットウォール法で作製し、STM・バリアハイト同時観察を行い、薄膜特性の違いを観察した。また、基板のバリアハイトの値は小さいが有機薄膜での値は大きくなった。3.上記システムに、探針と試料の間に働く、ずれ応力を同時観察可能である水晶振動子を検出素子に用いた新たな走査型プローブ顕微鏡機能を付加し、バリアハイト発生メカニズムに関連する新たな知見を得る試みをおこなった。このシステムを使用し、金蒸着薄膜を試料として用い観察を試みた。試料の凹凸による傾斜部分でずれ応力が変化し、観察可能であった。4.製作したシステムの性能向上を行い、STSを観察可能なシステムに改良中であり、有機薄膜及び半導体超格子の観察を試みる。

1. The organic film semi-solid superlattice is used to observe the performance of the STM thin film superlattice. 1) at the same time, we must make sure that the STM is inspected. At the same time, we need to make sure that we do not need to make any changes. 2) the observation of gold atoms in the big fish may be highly stable and stable. 3) the safety of the machine and the control signal of ±15V may cause serious problems. 4) it is necessary to test the use of different kinds of materials for the use of different kinds of materials. 4) the necessary tests for the use of different kinds of materials are necessary for the use of different kinds of materials. 4) the necessary test for the use of different kinds of materials is necessary for the use of different materials. two。 In this paper, the acid film, HOPG, ITO, gold film substrate, STM and film properties are observed at the same time. The equipment, the substrate, the equipment, the film, the film. 3. At the same time, it is possible that the crystal vibrator will be able to use the new machine to pay for the increase, so that the new information will be heard. Make sure that the film is steamed with gold and that the material is tested. The material is bump and bump, the oblique part is inclined, the force is changed, and it is possible to see that it is possible. 4. In order to improve the performance of the system, STS monitoring may be used to improve the performance of the machine, the film and the semi-solid superlattice.

项目成果

Akira Sasaki: "Scanning shearing-stress microscopy" Appl.Phys.Lett.64. 124-125 (1994)

Akira Sasaki：“扫描剪切应力显微镜”Appl.Phys.Lett.64。

佐々木 彰: "変位補正機能付き走査型トンネル顕微鏡" 精密工学会誌. 59. 95-100 (1993)

Akira Sasaki：“具有位移校正功能的扫描隧道显微镜”日本精密工程学会杂志 59. 95-100 (1993)。

佐々木 彰: "高安定STMの製作とナノ加工への応用" 精密工学会誌. 59. 987-992 (1993)

Akira Sasaki：“高度稳定的 STM 的制造及其在纳米加工中的应用”日本精密工程学会杂志 59. 987-992 (1993)。

Akira Sasaki: "Scanning tunneling microscopy and barrier-height observation of stearic acid thin films prepared by hot-wall technique" Jpn.J.Appl.Phys.32. 2952-2957 (1993)

Akira Sasaki：“热壁技术制备的硬脂酸薄膜的扫描隧道显微镜和势垒高度观察”Jpn.J.Appl.Phys.32。