Kontrollierte Selbstorganisation bei der niederenergetischen Ionenstrahlerosion von Silizium-Oberflächen durch Vorstrukturierung

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Im Mittelpunkt des Projektes steht, den Prinzipien der kontrollierten Selbstorganisation folgend, konventionelle lithographische Strukturierungsmethoden mit Selbstorganisations-phänomenen zu verknüpfen, die bei der Ionenstrahlerosion von Festkörperoberflächen auftreten, und somit die spezifischen Vorteile beider Ansätze vereinen. Exemplarisch wird dabei die ionenstrahlinduzierte Musterbildung auf Silizium-Oberflächen untersucht. Im Rahmen der bisher durchgeführten Arbeiten konnte gezeigt werden, dass durch die Kombination der ionenstrahlinduzierten Selbstorganisation mit konventionellen litho-graphischen Verfahren völlig neuartigen Strukturen bzw. Muster entstehen können, die auf planaren Oberflächen nicht realisierbar sind. Als Hauptparameter, die diese Musterbildung beeinflussen, wurden der lokale Einfallswinkel der Ionen sowie die relative Orientierung zwischen dem jeweiligen Oberflächenelement und einfallenden Ionenstrahl identifiziert. In der hier beantragten Verlängerungsphase sollen die Untersuchungen zu den Grundlagen der ionenstrahlinduzierten Musterbildung auf vorstrukturierten Si-Oberflächen fortgesetzt werden und damit die Basis für ein neues hybrides Nanostrukturierungsverfahren geschaffen werden.