珪素とハロゲンを含むプラズマ中の活性種のマイクロ波分光法による検出

微波光谱法检测含硅和卤素等离子体中的活性物质

• 批准号: 01632512
• 负责人: 谷本 光敏
• 金额: $ 2.24万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632512/
• 关键词: マイクロ波分光; 反応性プラズマ; 珪素化合物; 分子構造

半導体のドライエッチングの過程において発生すると考えられる短寿命分子は一般に化学的に非常に活性であるため、分光法による検出に必要なだけの十分な濃度に生成させることが難しい。しかし、分光器の感度を非常に高くすることができれば、分子の生成が不十分であったとしても、スペクトル線を検出することが可能である。マイクロ波分光法ではスペクトル線強度が周波数の2乗あるいは3乗に比例するので、なるべく高い周波数で測定を行うことにより実質的な分光器感度を向上させることができる。活性種を同定する手段としてマイクロ波分光法は類似した構造をもつ分子種を区別できるという特徴を有するので、本質的に混合物系である不安定分子を含む系での実験に適している。本研究では直流グロ-放電セルにより活性種を生成させ、クライストロンおよび周波数逓倍器(3逓倍、220〜270GHz)を高周波マイクロ波源として用い、プラズマ中の活性種のマイクロ波スペクトルを検出・同定するための分光器を製作することを目標にした。短寿命分子種はセル内で生成させることが必要であるが、放電電流を多くとることにより、活性種生成の効率が上がることが期待されるため、直流で4kVまでの電圧をかけられ、最大1Aまでの電流を流せるグロ-放電用電源を製作した。電流値は大電力用の抵抗器(50、1、0.5kΩ最大10個)をセルに直列に入れることにより調節できるようにした。高い周波数での測定では、シュタルク効果がかかりにくくなるために、光源変調が多く利用される。この場合バックグラウンドにうねりが生じ、それを補正することが必要となる。また短寿命不安定分子の場合、分子種濃度が低いために吸収線のS/N比が一般によくないので、スペクトルの積算を行う必要がある。これらの目的のためにパ-ソナルコンピュ-タによりデ-タ処理を行なうためのプログラムを開発した。

The process of semiconductor production is very difficult for short-lived molecules to be produced in general chemical reactions, especially for detection by spectrophotometry. The sensitivity of the spectrometer is very high, and the production of molecules is not very high. The wavelength division method is used to measure the line intensity, the ratio of the number of cycles to the number of cycles, and the sensitivity of the spectrometer. Active species are identified by means of wavelength division spectroscopy. Similar structures are identified by molecular species. Characteristics are present. Intrinsic mixtures are identified by unstable molecules. The purpose of this study is to detect and identify the active species in the DC/DC spectrum, and to fabricate a spectroscope for high frequency spectrum sources and active species in the DC/DC spectrum (3 GHz, 220 ~ 270GHz). The short-lived molecular species are generated within the cell, and the current is increased. The active species generation rate is increased. The DC voltage is 4 kV. The maximum current is 1 A. The current is increased. -The power supply for cell use is manufactured. Resistors for high current values (50, 1, 0.5kΩ max. 10) High frequency wave number measurement, light source modulation and multi-use In this case, it is necessary to make corrections. In the case of short-lived unstable molecules, the concentration of molecular species is low, the S/N ratio of absorption line is general, and the integration of species is necessary. This is the first time I've ever seen a woman who's had sex with someone else.