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微重力反応性プラズマ中の微粒子成長

微重力反应等离子体中的微粒生长

基本信息

批准号：
15654082
负责人：
渡辺征夫
金额：
$ 2.3万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2003
资助国家：
日本
起止时间：
2003 至 2004
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,中性ナノ粒子の存在位置・滞在時間が拡散でのみ決定される「微重力反応性プラズマ」中でのナノ粒子の発生・成長機構を,特にナノ粒子の構造形成過程に焦点を絞り,実験的に明らかにすることを目的としている.今年度は,結晶シリコンナノ粒子の付着確率と輸送効率について明らかにするため,一次元ガス流において結晶シリコンナノ粒子作製を行った.気相中で発生した微粒子を捕集して透過型電子顕微鏡で観察した結果,サイズが2nm以上の単結晶シリコンナノ粒子の付着確率はほぼ100%であることが明らかになった.また,輸送効率は,ガス流速とナノ粒子の拡散速度に支配されており,重力はほとんど影響を及ぼさないことが明らかになった.また,他の材料への展開を目的として,カーボン微粒子の発生・成長機構について明らかにするため,重力下におけるカーボン壁と水素プラズマ相互作用による微粒子発生についても実験を行った.その結果,ナノメートルサイズのカーボン微粒子が大量に生成していること,カーボン壁の構造の違いにより生成量が変化することを明らかにした.ナノ粒子の付着確率及び輸送効率を明らかにすることは,ナノ微粒子を構造材としたナノ構造形成という,新しいプラズマプロセスへの展開への足がかりになると考えられる.

In this study, the formation and growth mechanism of neutral particles in "Microgravity Reaction Particles" is determined based on the existence location and residence time of neutral particles. Special particles areのstructural formation process にfocus を twist り, 実験's に明らかにすることをpurpose としている.This year, the concentration accuracy and transportation efficiency of crystallized シリコンナノ particles are clear.にするため,One-dimensional ガス流においてcrystallized シリコンナノparticle production を行った. The microparticles generated in the phase are captured and observed using a transmission electron microscope and the results are obtained. The deposit accuracy of the single crystalline particle size of more than 2nm is 100%.ことが明らかになった.また, conveying efficiency は, ガス flow rate とナノparticle dispersion speedにDominates されており, Gravity はほとんど affects を and ぼさないことが明らかになった.また, の Material への Development を Purpose として, カーボン Micro Particle Birth and Growth Machine The structure of the structure is clear and the water is in the water under gravity. Interaction is the result of micro-particle developmentサイズのカーボンMicroparticlesがGeneration in large quantitiesしていること,カーボンwallのstructuralのThe amount of generated particles is changed and the accuracy and accuracy of the particles are increased. The conveying efficiency is the same as that of the fine particle structure material and the structure of the material.いう,新しいプラズマプロセスへの开への足がかりになると卡えられる.

项目成果

期刊论文数量（8）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H_2+SiH_4 VHF discharges

利用脉冲H_2 SiH_4 VHF放电制备晶体硅纳米团簇

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
Thin Solid Films (in oress)
影响因子：
0
作者：
Tomohide Kakeya;Kazunori Koga;Masaharu Shiratani;Yukio Watanabe;Michio Kondo
通讯作者：
Michio Kondo

Nano-particle formation due to interaction between H_2 plasma and carbon wall

H_2等离子体与碳壁相互作用形成纳米颗粒

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
Thin Solid Films (in press)
影响因子：
0
作者：
Kazunori Koga;Yasuhiro Kitamura;Masaharu SHiratani;Yukio Watanabe;Akio Komori
通讯作者：
Akio Komori

Si Nano-Particles Formed in Plasmas under Microgravity and One G Conditions

微重力和 1 G 条件下等离子体中形成的硅纳米颗粒

DOI：
发表时间：
2004
期刊：
Proc.of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision
影响因子：
0
作者：
Masaharu Shiratani;T.Kakeya;K.Koga;Yukio Watanabe
通讯作者：
Yukio Watanabe

M.Shiratani, T.Kakeya, K, Koga, Y.Watanabe: "Si Nano-Particles Formed in Plasmas under Microgravity and One G Conditions"Proc.of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its Future Vision. 38 (2004)

M.Shiratani、T.Kakeya、K、Koga、Y.Watanabe：“微重力和一 G 条件下等离子体中形成的硅纳米颗粒”Proc.of 国际等离子体纳米技术及其未来愿景研讨会。