X線結像光学系評価法

X射线成像光学系统评价方法

• 批准号: 01651008
• 负责人: 佐藤 繁
• 金额: $ 16万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01651008/
• 关键词: X線光学素子性能測定; 高純度軟X線分光器; 平行X線光源; レーザープラズマX線源; 光学素子性能評価装置; プラズマ機器較正ビームライン; 三次元曲面形状評価法; 光ヘテロダイン干渉計; ナノメートル

本研究は大きく2つに分けられる。1つは各種の現存する光学計測装置を改造整備し種々の光学素子の特性研究に対応すること(三谷、前沢、渡辺、小川原、加藤、宮原、太田)、もう1つは大曲率非球面鏡の三次元曲率測定法の開発研究(東、佐藤)である。前者のうち、軟X線光学素子性能評価装置(三谷)では調整整備と測定操作ソフトの開発を行い、さらに検出器の光電面上で平担な感度特性を得るための光電陰極の最適形状を探索した。同評価装置用高純度軟X線分光系(前沢)では設計条件を満す光学系の検討を行い、第1班(軟X線光学の基礎)と協力して最適のものを発注した。プラズマ計測機器較正用ビームライン(渡辺、桜井)ではミラーの酸素放電洗浄や回折格子の更新を行なって散乱光を減らし3〜10nm領域での多層膜ミラーの反射率測定を行なった。宇宙研平行X線光源(小川原)では現在の13m長ビームライン(駒場)を渕野辺キャンパスに移設し40m長の平行X線源に発展させるための真空テストやアラインメント等基礎的データの収集を行った。レーザープラズマX線源(加藤)では使用目的に合わせたスペクトル分布と発生効率を得るため、ガラスレーザー激光II号を用いて金、鉛、ビスマスターゲットを照射し発生した軟X線の測定を行い合せて理論的解析を進めた。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では、XPS用検出器に電圧を印加するための高精度フローティング電源を製作した。表面EXAFS、X線定在波法による表面界面の評価(太田)では、銅、ニッケルにイオウや塩素を吸着させた時の表面原子構造の再配置を2つの方法を併用して観測した。後者の三次元曲面形状評価法(東、佐藤)では、イメージディセクタカメラによって二次元走査を行い表面位相情報を直接検出する光ヘテロダイン干渉計実験装置を製作した。基本性能の測定や種々の条件下での干渉計出力の安定性の実験を行い、ナノメートル級の測定精度が得られることを確かめた。

This study was conducted on the basis of a large number of observations. 1. Research on the characteristics of various optical elements for modification of existing optical measuring devices (Mitani, Maesawa, Watanabe, Ogawara, Kato, Miyawara, Ota), 1. Research on the development of three-dimensional curvature measurement method for aspheric mirrors with large curvature (Higashi, Sato). In the former, the soft X-ray optical element performance evaluation device (three valley) is used to adjust the preparation, measure the operation, and develop the detection device. In the meantime, the photoelectric sensitivity characteristics of the detector are obtained. The optimum shape of the photocathode is explored. High purity soft X-ray spectroscopic system for the same evaluation device (former): design conditions for optical system design, first class (basis of soft X-ray optics): cooperation for optimal design The measurement machine is used to measure the reflectivity of multilayer films in the region of 3 ~ 10nm. Cosmic Research Parallel X-ray Source (Ogawara) is now a 13m long parallel X-ray source (field). It is based on vacuum technology and vacuum technology. X-ray source (Kato) is used to determine the distribution and yield of gold, lead and silicon in laser II. Photoelectron emission surface interface evaluation (Miyahara), XPS detector voltage measurement, high precision power supply production Surface EXAFS and X-ray determination of surface interface evaluation by wave method (OTA) are used together to measure the rearrangement of surface atomic structure when adsorption of copper, copper and other elements occurs. The latter three dimensional curved surface shape evaluation method (East, Sato), the second dimensional search, surface phase information, direct detection of light, the first three dimensional shape evaluation device is manufactured. Basic performance measurement under different conditions, dry load measurement stability, measurement accuracy, etc.

项目成果

太田俊明: "Polarized XANES Studies of Polyethylene and Fluorinated Polyethylenes" Physica Scripta.

Toshiaki Ota：“聚乙烯和氟化聚乙烯的偏振 XANES 研究”Physica Scripta。

桜井誠: "UVSORの機器較正用ビームライン" 日本放射光学会誌「放射光」. 2. 1-12 (1989)

Makoto Sakurai：“UVSOR 设备校准的光束线”日本辐射光学学会杂志“同步加速器辐射”(1989)。

三谷七郎: "An Apparatus for characterizing the VUV and Soft X-Ray Optical Elements" Review of Scientific Instruments. 60. 2216-2218 (1989)

Shichiro Mitani：“用于表征 VUV 和软 X 射线光学元件的装置”科学仪器评论 60. 2216-2218 (1989)。

柳原美広: "Optical constants of SiC mirrors produced by different methods for photons of 60-1000eV" Review of Scientific Instruments. 60. 2030-2033 (1989)

Yoshihiro Yanagihara：“针对60-1000eV光子采用不同方法生产的SiC镜的光学常数”科学仪器评论60。2030-2033（1989）