X線結像光学系評価法

X射线成像光学系统评价方法

基本信息

批准号：
01651008
负责人：
佐藤繁
金额：
$ 16万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
起止时间：
1989 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は大きく2つに分けられる。1つは各種の現存する光学計測装置を改造整備し種々の光学素子の特性研究に対応すること(三谷、前沢、渡辺、小川原、加藤、宮原、太田)、もう1つは大曲率非球面鏡の三次元曲率測定法の開発研究(東、佐藤)である。前者のうち、軟X線光学素子性能評価装置(三谷)では調整整備と測定操作ソフトの開発を行い、さらに検出器の光電面上で平担な感度特性を得るための光電陰極の最適形状を探索した。同評価装置用高純度軟X線分光系(前沢)では設計条件を満す光学系の検討を行い、第1班(軟X線光学の基礎)と協力して最適のものを発注した。プラズマ計測機器較正用ビームライン(渡辺、桜井)ではミラーの酸素放電洗浄や回折格子の更新を行なって散乱光を減らし3〜10nm領域での多層膜ミラーの反射率測定を行なった。宇宙研平行X線光源(小川原)では現在の13m長ビームライン(駒場)を渕野辺キャンパスに移設し40m長の平行X線源に発展させるための真空テストやアラインメント等基礎的データの収集を行った。レーザープラズマX線源(加藤)では使用目的に合わせたスペクトル分布と発生効率を得るため、ガラスレーザー激光II号を用いて金、鉛、ビスマスターゲットを照射し発生した軟X線の測定を行い合せて理論的解析を進めた。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では、XPS用検出器に電圧を印加するための高精度フローティング電源を製作した。表面EXAFS、X線定在波法による表面界面の評価(太田)では、銅、ニッケルにイオウや塩素を吸着させた時の表面原子構造の再配置を2つの方法を併用して観測した。後者の三次元曲面形状評価法(東、佐藤)では、イメージディセクタカメラによって二次元走査を行い表面位相情報を直接検出する光ヘテロダイン干渉計実験装置を製作した。基本性能の測定や種々の条件下での干渉計出力の安定性の実験を行い、ナノメートル級の測定精度が得られることを確かめた。

这项研究可以大致分为两类。一种是修改和维护各种现有的光学测量设备，并对各种光学元素的特征进行研究（Mitani，Maezawa，Watanabe，Watanabe，Ogawara，Kato，Kato，Miyahara，OTA），而另一种则是开发和研究三维曲率测量方法的三维曲率测量方法，用于大型曲率曲率高空镜像（sato）（sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato sato。在前者中，软X射线光学元件性能评估设备（Mitani）进行了调整以维持测量和操作软件的调整和开发，并进一步搜索了光电极的最佳形状，以在检测器的光电表面上获得平坦的灵敏度特性。对于评估设备的高纯度软X射线光谱系统（Maezawa），我们研究了一个满足设计条件的光学系统，并与1组（软X射线光学元件的基础）合作，我们订购了最合适的选择。在等离子体测量仪器校准光束线（沃特纳布，樱花），进行镜子的氧气排放清洁和衍射光栅，以减少3-10 nm范围内多层镜的散射光和反射率测量。太空研究所的平行X射线光源（Ogawara）将当前的13m长光束线（Komaba）移至Fuchinobe校园，并收集了基本数据，例如真空测试和对齐方式，以发展为40m长的平行X射线源。为了获得针对激光等离子体X射线源（Kato）的预期用途量身定制的光谱分布和发电效率，我们通过使用玻璃激光照明II并进行理论分析来测量产生的软X射线。在通过光电发射（Miyahara）评估表面界面时，制造了高精度的浮动电源，以将电压施加到XPS检测器上。在使用表面EXAF和X射线驻波方法（OTA）评估表面界面的评估中，使用两种组合使用两种方法观察到硫和氯在铜和氯中的重新定位。在后者的三维弯曲表面形状评估方法（Higashi，Sato）中，制造了一种实验性光学杂项干涉仪系统，该系统使用图像解剖器摄像头使用二维扫描来直接检测表面相位信息。我们对各种条件下的干涉仪输出的基本性能测量和稳定性进行了实验，以确认可以获得纳米级测量精度。