X線結像光学系評価法

本研究は大きく2つに分けられる。1つは各種の現存する光学計測装置を改造整備し種々の光学素子の特性研究に対応すること(三谷、前沢、渡辺、小川原、加藤、宮原、太田)、もう1つは大曲率非球面鏡の三次元曲率測定法の開発研究(東、佐藤)である。前者のうち、軟X線光学素子性能評価装置(三谷)では調整整備と測定操作ソフトの開発を行い、さらに検出器の光電面上で平担な感度特性を得るための光電陰極の最適形状を探索した。同評価装置用高純度軟X線分光系(前沢)では設計条件を満す光学系の検討を行い、第1班(軟X線光学の基礎)と協力して最適のものを発注した。プラズマ計測機器較正用ビームライン(渡辺、桜井)ではミラーの酸素放電洗浄や回折格子の更新を行なって散乱光を減らし3〜10nm領域での多層膜ミラーの反射率測定を行なった。宇宙研平行X線光源(小川原)では現在の13m長ビームライン(駒場)を渕野辺キャンパスに移設し40m長の平行X線源に発展させるための真空テストやアラインメント等基礎的データの収集を行った。レーザープラズマX線源(加藤)では使用目的に合わせたスペクトル分布と発生効率を得るため、ガラスレーザー激光II号を用いて金、鉛、ビスマスターゲットを照射し発生した軟X線の測定を行い合せて理論的解析を進めた。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では、XPS用検出器に電圧を印加するための高精度フローティング電源を製作した。表面EXAFS、X線定在波法による表面界面の評価(太田)では、銅、ニッケルにイオウや塩素を吸着させた時の表面原子構造の再配置を2つの方法を併用して観測した。後者の三次元曲面形状評価法(東、佐藤)では、イメージディセクタカメラによって二次元走査を行い表面位相情報を直接検出する光ヘテロダイン干渉計実験装置を製作した。基本性能の測定や種々の条件下での干渉計出力の安定性の実験を行い、ナノメートル級の測定精度が得られることを確かめた。

本研究は大きく2つに分けられる。1つは各種の現存する光学計測装置を改造整備し種々の光学素子の特性研究に対応すること(三谷、前沢、渡辺、小川原、加藤、宮原、太田)、もう1つは大曲率非球面鏡の三次元曲率測定法の開発研究(東、佐藤)である。前者のうち、軟X線光学素子性能評価装置(三谷)では調整整備と測定操作ソフトの開発を行い、さらに検出器の光電面上で平担な感度特性を得るための光電陰極の最適形状を探索した。同評価装置用高純度軟X線分光系(前沢)では設計条件を満す光学系の検討を行い、第1班(軟X線光学の基礎)と協力して最適のものを発注した。プラズマ計測機器較正用ビームライン(渡辺、桜井)ではミラーの酸素放電洗浄や回折格子の更新を行なって散乱光を減らし3〜10nm領域での多層膜ミラーの反射率測定を行なった。宇宙研平行X線光源(小川原)では現在の13m長ビームライン(駒場)を渕野辺キャンパスに移設し40m長の平行X線源に発展させるための真空テストやアラインメント等基礎的データの収集を行った。レーザープラズマX線源(加藤)では使用目的に合わせたスペクトル分布と発生効率を得るため、ガラスレーザー激光II号を用いて金、鉛、ビスマスターゲットを照射し発生した軟X線の測定を行い合せて理論的解析を進めた。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では、XPS用検出器に電圧を印加するための高精度フローティング電源を製作した。表面EXAFS、X線定在波法による表面界面の評価(太田)では、銅、ニッケルにイオウや塩素を吸着させた時の表面原子構造の再配置を2つの方法を併用して観測した。後者の三次元曲面形状評価法(東、佐藤)では、イメージディセクタカメラによって二次元走査を行い表面位相情報を直接検出する光ヘテロダイン干渉計実験装置を製作した。基本性能の測定や種々の条件下での干渉計出力の安定性の実験を行い、ナノメートル級の測定精度が得られることを確かめた。