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X線結像光学系評価法

X射线成像光学系统评价方法

基本信息

批准号：
02233103
负责人：
佐藤繁
金额：
$ 19.84万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は各種の現存する光学計測装置を改造整備して種々の光学素子の特性研究に対応すること(三谷,前沢,渡辺,小川原,加藤,宮原,太田),及び大曲率非球面鏡の三次元曲率測定法の開発研究(佐藤,東)の2つに大別される。前者のうち,軟X線光学素子性能評価装置(三谷)では検出器駆動系のモ-タ-,エンコンダ-を増強し信頼性と読取精度の向上をはかりグリスホッパ-分光器出射光の偏光度測定を行った。同装置用軟X線高純度単色計(前沢)では元年度製作済の単色計内部に納めるミラ-の詳細設計製作をし設置調整と単色計全体の組立て動作真空試験を実施した。プラズマ機器較正用ビ-ムライン(渡辺,桜井)では回析格子の交換,イオンチェンバ-の改良を行ない多層膜の反射率測定,各種検出器の絶対感度較正を行うことが出来,実用の域に達した。宇宙研平行X線源(小川原,紀伊)では平行X線を利用しキャンパス移転に備えて鏡の表面粗さ,面形状測定等性能評価の検討を行った。レ-ザ-プラズマX線源(加藤)では重いタ-ゲット物質から放出されるX線スペクトルの絶対強度測定及びデ-タベ-ス確立のための理論解析を行った。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では購入した装置と既設光電子分光試料槽を組み合せ白金コ-トSiCミラ-の清浄及び劣化表面からの光電子収量の差が40%以上であることを見出だした。表面EXAFS,X線定在波法による表面界面の評価(太田)では高工研放射光施設二結晶分光器を用いてNi(100)面に塩素を付着させた表面の構造解析を行い,塩素付着によってNi表面第1層が外部に向けて0.2A^^°延びていることを見出だした。三次元曲面形状評価法(佐藤,東)では元年度に試作した2周波レ-ザ-を用いた光ヘテロダイン干渉計の検討と改良を行い曲率50mmの凹面鏡の測定を10nm以下の精度で測定できることを確めた。また大寸法ミラ-表面を小領域に分割して測定するための部分分割測定法のアルゴリズムを検討した。

This study is aimed at improving existing optical measuring devices, studying the characteristics of various kinds of optical elements (Mitani, Maezawa, Watanabe, Ogawara, Kato, Miyawara, Ota), and developing three-dimensional curvature measurement methods for large curvature aspheric mirrors (Sato, Higashi). For the former, the soft X-ray optical element performance evaluation device (three valleys) is used to measure the polarization of the emitted light from the spectrometer. Soft X-ray high purity colorimeter for the same device (front end), annual production, detailed design, production, setting adjustment, assembly, operation, vacuum test, etc. The reflectivity of multilayer films is measured by improving the reflectivity of multilayer films, and the absolute sensitivity of various detectors is improved by improving the reflectivity of multilayer films. Cosmic Research Parallel X-ray Source (Ogawa Hara, Kii): Evaluation of parallel X-ray utilization, surface roughness and surface shape measurement of mirrors The X-ray source (Kato) is the source of the X-ray emission. The X-ray intensity measurement and the theoretical analysis of the X-ray emission are carried out. Photoelectron emission surface interface evaluation (Miyahara), the purchase of equipment, even if the photoelectron spectroscopic sample tank assembly, platinum SiC separation and degradation of the surface of the difference in photoelectron emission of more than 40%, the results show that Surface EXAFS, X-ray determination in the wave method of surface interface evaluation (Ota), high technology research radiation application of two crystal spectrometers to use Ni(100) surface element to pay for the surface structure analysis, element to pay for Ni surface layer 1 to the outside of the wall to see. The three-dimensional curved surface shape evaluation method (Sato, East) is used to measure the curvature of a concave mirror with an accuracy of less than 10nm. The large size method is used to divide the surface into small areas, and the partial division method is used to divide the surface into small areas.