X線結像光学系評価法

X射线成像光学系统评价方法

• 批准号: 02233103
• 负责人: 佐藤 繁
• 金额: $ 19.84万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02233103/
• 关键词: 多層膜の反射率; 軟X線高純度単色計; 平行X線源; レ-ザ-プラズマX線; EXAFS,X線定在波法; プラズマ機器軟正; 三次元曲面形状評価法; 光ヘテロダイン干渉計

本研究は各種の現存する光学計測装置を改造整備して種々の光学素子の特性研究に対応すること(三谷,前沢,渡辺,小川原,加藤,宮原,太田),及び大曲率非球面鏡の三次元曲率測定法の開発研究(佐藤,東)の2つに大別される。前者のうち,軟X線光学素子性能評価装置(三谷)では検出器駆動系のモ-タ-,エンコンダ-を増強し信頼性と読取精度の向上をはかりグリスホッパ-分光器出射光の偏光度測定を行った。同装置用軟X線高純度単色計(前沢)では元年度製作済の単色計内部に納めるミラ-の詳細設計製作をし設置調整と単色計全体の組立て動作真空試験を実施した。プラズマ機器較正用ビ-ムライン(渡辺,桜井)では回析格子の交換,イオンチェンバ-の改良を行ない多層膜の反射率測定,各種検出器の絶対感度較正を行うことが出来,実用の域に達した。宇宙研平行X線源(小川原,紀伊)では平行X線を利用しキャンパス移転に備えて鏡の表面粗さ,面形状測定等性能評価の検討を行った。レ-ザ-プラズマX線源(加藤)では重いタ-ゲット物質から放出されるX線スペクトルの絶対強度測定及びデ-タベ-ス確立のための理論解析を行った。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では購入した装置と既設光電子分光試料槽を組み合せ白金コ-トSiCミラ-の清浄及び劣化表面からの光電子収量の差が40%以上であることを見出だした。表面EXAFS,X線定在波法による表面界面の評価(太田)では高工研放射光施設二結晶分光器を用いてNi(100)面に塩素を付着させた表面の構造解析を行い,塩素付着によってNi表面第1層が外部に向けて0.2A^^°延びていることを見出だした。三次元曲面形状評価法(佐藤,東)では元年度に試作した2周波レ-ザ-を用いた光ヘテロダイン干渉計の検討と改良を行い曲率50mmの凹面鏡の測定を10nm以下の精度で測定できることを確めた。また大寸法ミラ-表面を小領域に分割して測定するための部分分割測定法のアルゴリズムを検討した。

This study は various の existing す る optical measuring device を transformation development し て kind of 々 の optical element child に の characteristics research 応 seaborne す る こ と (ohsawa, three valley, before crossing the 辺, ogawa, kato, palace, too field), and big curvature aspherics び の three-d curvature measurement の open 発 research (sato, east) の 2 つ に comparing さ れ る. The former の う ち, soft X-ray optical element child performance evaluation 価 device (3) valley で は 検 extractor 駆 move is の モ タ -, エ ン コ ン ダ - を raised strong し letter 頼 と 読 take precision の upward を は か り グ リ ス ホ ッ パ - optical splitter emergent light の line polarization degree determination を っ た. With device with a soft X-ray high purity 単 color meter (ohsawa) で は yuan annual production 済 の 単 color meter internal に na め る ミ ラ - detailed design を の し setting adjustment と 単 color meter all の assemblage て action vacuum test を be applied し た. プ ラ ズ マ machine is using ビ - ム ラ イ ン (cross 辺, sakura Wells) で は の exchange back analysis grid, イ オ ン チ ェ ン バ line - modified を の な い multilayer の reflectivity measurement, various 検 extractor is の unique sensitivity is seaborne を line う こ と が out and be with に の domain of し た. Research parallel universe X-ray source (ogawa, kii) で は parallel X-ray を using し キ ャ ン パ ス move planning に prepared え coarse さ の て mirror surface, surface shape measurement such as performance evaluation 価 の 検 line for を っ た. レ ザ - プ ラ ズ マ X-ray source (kato) で は heavy い タ - ゲ ッ ト material か ら release さ れ る X-ray ス ペ ク ト ル の unique strength determination and seaborne び デ - タ ベ - ス establish の た め の line theory analytical を っ た. Photoelectron release に よ る surface interface の review 価 palace (former) で は buy し と た device is a photoelectron spectroscopic try を group manger み せ platinum コ - ト SiC ミ ラ - の qing and び degradation at surface か ら の photoelectron 収 quantity more than 40% poor の が で あ る こ と を shows だ し た. Surface EXAFS, X-ray in wave method に よ る の review 価 surface interface (was) で は radiation light high research facilities two crystal optical splitter を with い て Ni (100) surface に salt element を pay the さ せ の た surface structure を い, salt, pay the に よ っ て Ni surface layer 1 が external に to け て 0.2 A ^ ^ ° delay び て い る こ と を shows だ し た. Three dimensional surface shape evaluation 価 method (sato, east) で は yuan annual に attempt し た 2 cycle レ ザ - を with い た light ヘ テ ロ ダ イ ン dry involved meter の 検 line for improved と を い curvature 50 mm の の determination of a concave mirror を below 10 nm の で determination precision で き る こ と を め indeed た. ま た method of big inch ミ ラ - surface を small areas に segmentation し て determination す る た め の part division measurement の ア ル ゴ リ ズ ム を beg し 検 た.

项目成果

T.Harada: "VV/0zone cleaning of a soft Xーray grating contaminated by synchrotron radiation" Applied Optics.

T.Harada：“受同步辐射污染的软 X 射线光栅的 VV/0 区清洁”应用光学。

佐藤 繁: "放射光ミラ-" 日本放射光学会誌「放射光」. 4. 11-28 (1991)

佐藤茂：《同步辐射镜》日本同步辐射学会杂志《同步辐射》4. 11-28 (1991)。

Y.Takata: "Soft XーRay StandingーWave Absorption Profiles of C(2×2)S/Ni(100)" Proc.6th Conf.XーRay Absorption Fine Structure(Elsevier).

Y.Takata：“软X－射线站立－C(2×2)S/Ni(100)的波吸收剖面”Proc.6th Conf.X－射线吸收精细结构(Elsevier)。

T.Ohta: "Surface Relaxation of S and Cl Adsorbed Metals Studied by Surface EXAFS and the Soft Xーray Standing Wave Method" Proc.6th Conf.XーRay Absorption Fine Structure(Elsevier).

T.Ohta：“通过表面 EXAFS 和软 X 射线驻波法研究 S 和 Cl 吸附金属的表面弛豫”Proc.6th Conf.X 射线吸收精细结构（Elsevier）。

M.Sakurai: "Characterization of Multilayer Reflectons for Soft Xーray Region Using Synchratrn Radiation" Vacuum. 41. 1234 (1990)

M.Sakurai：“使用同步辐射对软 X 射线区域的多层反射进行表征”真空。 41. 1234 (1990)