X線結像光学系評価法

X射线成像光学系统评价方法

• 批准号: 03217103
• 负责人: 佐藤 繁
• 金额: $ 22.53万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1991
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1991 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03217103/
• 关键词: 一様感度光電子増倍管; 疑似ボダ-ル型軟X線高純度単色計; 多層膜・回折格子の効率; レ-ザ-プラズマX線源; 高精度軟X線定在波法; プラズマ検出器の較正; 三次元曲面形状評価; 光ヘテロダイン干渉計

本研究の内容は,既存の各種の光学計測装置を改造整備し種々の光学素子の特性評価に対応出来るようにすること(三谷,前沢,渡辺,小川原,加藤,宮原,太田),及び大曲率非球面鏡の三次元形状評価法(佐藤,東)の2項目に大別される。前者について,軟X線光学素子性能評価装置(三谷)ではコントロ-ル系の整備強化と偏光依存性の無い一様感度分布光電陰極の開発を行った。同装置用軟X線高純度単色計として疑似ボダ-ル型式分光器を最適化設計,製作(制御プログラムの作成と総合動作試験を行なった(前沢)。上の二つの装置は平成4年度PFに新設される準専用ビ-ムラインBLー12Aに設置される。プラズマ機器較正用ビ-ムライン(渡辺,桜井)では多層膜ミラ-の反射率,回折格子の効率を評価し,検出器(MCP等)の感度を較正した。また軟X線分光器を製作しUVSOR,BLー1Aに装置した。宇宙研平行X線源(小川原,紀伊)では装置を駒場から相模原に移設し調整試験,較正後全長36mのビ-ムラインとして完成しASTROーD衛星塔載用X線望遠鏡の評価を行なった。レ-ザ-プラズマX線源(加藤)ではW,Au,Pb,BiからのプラズマX線を定量測定し平均イオン模型を改良して発光スペクトルの理論解析を行なった。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では表面粗さの異なる二つの試料についてAuの価電子帯,N_<6.7>線,非3単性散乱光電子スペクトルを測定しスペクトルと粗さの相関を明らかにした。表面EXAFS,X線定在波法による表面界面の評価(太田)では最適化した超高真空測定装置を作成しアンジュレ-タ-ビ-ムラインBLー2A(PF)でS,Clを吸着させたNi単結晶表面の高精度軟X線定在波の実験を行った。三次元曲面形状評価法(佐藤,東)では,口径100mmのサンプルミラ-の曲率を分割及び一括測定できる光ヘテロダイン干渉計の実機を製作し分割測定とそれらを合成した全体形状復元の精度の検討を行ない,十分実用的であることを確めた。

の は content, this study existing の various の を transform servicing し kind of optical measuring devices 々 の optical element child の review 価 に 応 out seaborne る よ う に す る こ と (ohsawa, three valley, before crossing the 辺, ogawa, kato, palace, too field), and big curvature aspherics び の 価 three dimensional shape evaluation method (sato, east) の 2 project に comparing さ れ る. The former に つ い て, soft X-ray optics element child performance evaluation 価 device (3) valley で は コ ン ト ロ - ル の servicing strengthening と polarization dependence の no い a others photocathode sensitivity distribution の open 発 を line っ た. With the device with a soft X-ray high purity 単 color meter と し て suspected ボ ダ - ル type optical splitter を optimization design, production (suppression プ ロ グ ラ ム の made と 総 combined action test line を な っ た ohsawa before (). In the previous year of Heisei 4, the PFに newly established される quasi-specialized ビ-ムラ <s:1> <s:1> BL <s:1> 12Aに setting される. プ ラ ズ マ machine is using ビ - ム ラ イ ン (cross 辺, sakura Wells) で は multilayer ミ ラ - の reflectivity, inflexion grid の sharper rate を review 価 し, 検 extractor (MCP) を の sensitivity calibration し た. Youdaoplaceholder0 soft X-ray splitter を fabricate <s:1> UVSOR,BL <s:1> 1Aに device た た. Research parallel universe X-ray source (ogawa, kii) で は device を colts field か ら phase die original に set し adjustment test, a is the total length of 36 m の ビ - ム ラ イ ン と し て complete し ASTRO ー D satellite tower load with X-ray telescope の review 価 を line な っ た. レ ザ - プ ラ ズ マ X-ray source (kato) で は W, Au, Pb, Bi か ら の プ ラ ズ マ X-ray quantitative determination of average し イ を オ ン model modified し を て 発 light ス ペ ク ト ル の line theory analytical を な っ た. Photoelectron release に よ る surface interface の review 価 palace (former) で は surface coarse さ の different な る two つ の sample に つ い て Au の 価 electronic 帯 N_ < 6.7 > line, non 3 単 scattered photoelectron ス ペ ク ト ル を determination し ス ペ ク ト ル と coarse さ の phase masato を Ming ら か に し た. Surface EXAFS, X-ray in wave method に よ る の review 価 surface interface (was) で は optimization し た ultra high vacuum measurement device を made し ア ン ジ ュ レ - タ - ビ - ム ラ イ ン BL ー 2 a (PF) で S, Cl を sorption さ せ た Ni 単 の crystal surface precision of soft X-ray in wave の be 験 を line っ た. Method of three dimensional surface shape evaluation 価 (sato, east) で は, diameter 100 mm の サ ン プ ル ミ ラ - の curvature を segmentation and determination of a enclosed び で き る light ヘ テ ロ ダ イ ン dry involved meter の be machine を making し segmentation measurement と そ れ ら を synthetic し た all the precision of shape recovery の の 検 line for を な い, very be used で あ る こ と を め indeed た.

项目成果

K.Murai: "Nーshell emission of W,Au,Pb and Bi ions in the 10ー60 A^^ﾟ range recorded from Gekko MII laser produced plasmas" ILE Research Report,No 9103P Institute of Laser Engineering,Osaka University. 1-20 (1992)

K.Murai：“从 Gekko MII 激光产生的等离子体记录的 10-60 A^^ﾟ 范围内的 W、Au、Pb 和 Bi 离子的 N 壳发射”ILE 研究报告，编号 9103P 大阪大学激光工程研究所。 1-20 (1992)

S.Sato: "A surface-profile measuring system for synchrotron radiation mirrors" Review of Scientific Instruments. 63. 1490-1493 (1992)

S.Sato：“同步辐射镜的表面轮廓测量系统”科学仪器评论。

太田 俊明: "軟X線定在波法による金属表面吸着構造の解析" 表面科学. 13. 26-32 (1992)

Toshiaki Ota：“使用软 X 射线驻波法分析金属表面的吸附结构”《表面科学》13. 26-32 (1992)。

M.Sakurai: "Sensitivity calibration of surface barrier diodes for soft X-ray observation of plasma" Review of Scientific Instruments. 63. 832-836 (1992)

M.Sakurai：“用于等离子体软 X 射线观察的表面势垒二极管的灵敏度校准”科学仪器评论。

Y.Takata: "Thiophenol adsorption on Ni(100)studied by S K-edge SEXAFS and XANES" Surface Science. 259. 266-274 (1991)

Y.Takata：“SK-edge SEXAFS 和 XANES 研究了 Ni(100) 上苯硫酚的吸附”表面科学。