低濃度半金属化合物ガスの簡昜測定法の研究

低浓度非金属化合物气体简易测量方法研究

• 批准号: 02202252
• 负责人: 松村 芳美
• 金额: $ 1.15万
• 依托单位: National Institute of Occupational Safety and Health, Japan
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02202252/
• 关键词: 半金属水素化物; ジボラン; スチビン; 環境測定; 定量分析; 固体捕集; 吸着; 吸収

IC関連産業などで使用される半金属化合物が産業装置などから漏洩または排出され空気中に拡散する状態を想定し,これらのガスの空気中濃度の簡昜測定法の開発を進めた。本研究ではジボランとスチビンを対象物質とし,これらのガスに対する高感度かつ現場測定に適した定量分析法として固体捕集法を中心として研究した。目的とする測定法の定量下限は労働環境における暴露限界濃度として勧告されている値(共に0.1ppm)の10の1とした。そのために次の項目について検討した。(1)吸着剤と吸収液の収集と基礎特性値(比表面積,ホウ素とアンチモン含有量)、(2)吸着剤の対象ガス吸着容量、(3)吸収液による対象ガスの吸収特性、(4)吸着剤の改質、(5)吸着剤に捕集したガスの定量的脱着条件、および(6)脱着液中のホウ素とアンチモンの定量分析法。上記の検討から固体捕集法および分析法の最適な操作条件を次のように定めた。【ジボラン】過マンガン酸カリウム添着シリカゲルを吸着剤としてジボランを捕集→塩酸ヒドロキシルアミン溶液で脱着→ICP脱着液中のホウ素を定量、またはクルクミン酸法による吸光光度法でホウ酸として定量。【スチビン】過マンガン酸カリウム添着シリカゲルを吸着剤としてスチビンを捕集→塩酸ヒドロキシルアミン溶液で脱着→グラファイト炉原子吸光分析で脱着液中のアンチモンを定量。ジボランとスチビンの吸着特性および吸収特性をシラン,ホスフィンおよびアルシンと比較検討した。また、ジボランとスチビンについて既報の固体捕集法についても追試を行い、問題点を明らかにした。

IC masato even industry な ど で use さ れ る half metal compounds が industry device な ど か ら leakage ま た は discharge さ れ empty 気 に in the company, scattered す る を し scenarios, こ れ ら の ガ ス の の Jane 昜 concentration measurement in empty 気 の open 発 を into め た. This study で は ジ ボ ラ ン と ス チ ビ ン を like material seaborne と し, こ れ ら の ガ ス に す seaborne る Gao Gan degrees か つ field testing に optimum し た quantitative analysis と し て solid capture method を center と し て research し た. Purpose と す る measurement の quantitative limit は 労 働 environment に お け る exposure limit concentration と し て 勧 tell さ れ て い る nt (total に 0.1 PPM) の 10 の 1 と し た. Youdaoplaceholder0 そ ために ために the に project に て検 て検 て検 て検 to discuss た. (1) smoking a tonic と 収 absorption liquid の と 収 set based on feature numerical (specific surface area, ホ ウ element と ア ン チ モ ン contains quantity), (2) sorption tonic の like ガ seaborne ス sorption capacity, (3) 収 absorption liquid に よ る like ガ seaborne ス の 収 absorption characteristics, (4) sorption tonic の modification, (5) sorption tonic に capture し た ガ ス の quantitatively the conditions, お よ び (6) in the fluid off の ホ ウ element Youdaoplaceholder0 チモ チモ <e:1> quantitative analysis method. The above record states that <s:1> 検 discusses the ら solid capture method および analysis method <e:1>, the most suitable な operating conditions, を times, ように, and めた. 【 ジ ボ ラ ン 】 a マ ン ガ ン acid カ リ ウ ム add the シ リ カ ゲ ル を sorption tonic と し て ジ ボ ラ ン を capture - salt acid ヒ ド ロ キ シ ル ア ミ で ン solution and take off the ICP in the fluid off の ホ ウ を quantitative, ま た は ク ル ク ミ ン acid method に よ る absorbance spectrophotometry で ホ ウ acid と し て quantitatively. 【 ス チ ビ ン 】 a マ ン ガ ン acid カ リ ウ ム add the シ リ カ ゲ ル を sorption tonic と し て ス チ ビ ン を capture - salt acid ヒ ド ロ キ シ ル ア ミ で ン solution with off - > グ ラ フ ァ イ ト で take off the liquid in the furnace atomic absorption analysis の ア ン チ モ ン を quantitatively. ジ ボ ラ ン と ス チ ビ ン の sorption characteristics お よ び 収 absorption features を シ ラ ン, ホ ス フ ィ ン お よ び ア ル シ ン と compare beg し 検 た. ま た, ジ ボ ラ ン と ス チ ビ ン に つ い て newspaper の solid capture method both に つ い て も after test line を い, problem を Ming ら か に し た.

项目成果

M.OnoーOgasawara,M.Furuse and Y.Matsumura: "Determination of phosphine by adsorption sampling with modified silica gel and colorimetry of phosphate" Industrial Health. 28. 175-184 (1990)

M.Ono-Ogasawara、M.Furuse 和 Y.Matsumura：“通过改性硅胶吸附取样和磷酸盐比色法测定磷化氢”，《工业健康》28. 175-184 (1990)。

Y.Matsumura,M.OnoーOgasawara and M.Furuse: "Analytical methods of airーborne arsine,silane and dichlosilane by adsorption sampling and AAS" Applied Organometallic Chemitry.

Y.Matsumura、M.Ogasawara 和 M.Furuse：“通过吸附采样和 AAS 分析空气中砷化氢、硅烷和二氯硅烷的方法”应用有机金属化学。