低濃度半金属化合物ガスの簡易測定法の研究

低浓度非金属化合物气体简易测量方法研究

• 批准号: 03202256
• 负责人: 松村 芳美
• 金额: $ 0.96万
• 依托单位: National Institute of Occupational Safety and Health, Japan
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1991
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1991 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03202256/
• 关键词: 半金属水素化物; ゲルマン; セレン化水素; 環境測定; 定量分析; 固体捕集; 吸着; 吸収; 脱着率

半導体ICやファインセラミックスなどの製造原料として使用されている半金属化合物ガスには高い有害性と可燃性を有する物質が多い。本研究では、これらのガスが生産設備などから漏洩し,周辺空気を低濃度汚染した状態を想定し,空気中濃度の定量分析のための簡易測定法の開発を行っている。本年度はゲルマンとセレン化水素に対して、作業環境における暴露限界濃度勧告値(ゲルマンに対して0.5ppm,セレン化水素に対して0.05ppm)の10分の1以下まで測定する感度があり,かつ製造現場で使用できる携帯性のある測定法として、固体捕集法と原子吸光分析法を用いる測定法の開発研究を行った。そのために次の項目について検討した。(1)吸着剤と吸収液の収集と基礎特性値(不純物含有量など)の測定,(2)吸着剤の対象ガスの吸着容量,(3)吸収液の対象ガス吸収効率,(4)吸着剤の改質,(5)吸着剤に捕集したガスの定量的脱着条件,及び(6)脱着液中のゲルマニウムとセレンの定量分析法。上記の結果から,ゲルマンはアルカリ性水溶液には吸収されるが,その他の溶液には殆ど吸収されないこと,セレン化水素は種々の金属塩水溶液に吸収されることが分った。固体捕集法として最適な操作手順を次のように定めた。【ゲルマン】水酸化ナトリウム添着活性炭を考着剤としてゲルマンを捕集した後,吸着剤を加熱水素化ナトリウム水溶液で脱着する。脱着液中のゲルマニウムをグラファイト炉原子吸光分析法で定量する。【セレン化水素】硝酸亜鉛添着シリカゲルを吸着剤としてセレン化水素を捕集した後,吸着剤を硝酸(2.5M)で脱着する。脱着液中のセレンをグラファイト炉原子吸光分析法で定量する。ゲルマンとセレン化水素の吸着と吸収の特性を前年度までに研究対象とした半金属水素化物ガスと比較,検討した。

Semimetallic compounds used as raw materials for semiconductor IC production are highly hazardous and flammable. In this study, we developed a simple method for the quantitative analysis of atmospheric air concentration. This year, we conducted research on the development of a new method for determination of the carrier property in the production site and the application of the solid capture method atomic absorption spectrometry. The next item is a search engine. (1)Determination of basic characteristic value (impurity content) of adsorption agent and absorption liquid,(2) adsorption capacity of adsorption agent,(3) adsorption efficiency of absorption liquid,(4) modification of adsorption agent,(5) desorption condition of adsorption agent and quantitative desorption condition, and (6) quantitative analysis method of adsorption agent in desorption liquid. The above results show that the absorption of water in aqueous solutions is very high, and the absorption of water in aqueous solutions is very high. Solid capture method is the most suitable operation procedure. Water acidification, addition of activated carbon, adsorption, heating of aqueous solution Determination of trace elements in the stripping solution by furnace atomic absorption spectrometry Lead nitrate is added to the solution and adsorbed on nitric acid (2.5M). Determination of trace amounts in desorbing solution by furnace atomic absorption spectrometry The adsorption and absorption characteristics of the semi-metallic hydrate were studied in the past year.

项目成果

M.OnoーOgasawara,M.Furuse,Y.Matsumura & et al: "Determination of diborane by adsorption sampling using modified silica gel and the chromotropic acidーHPLC method" Industrial Health. 30. (1992)

M.Ono-Ogasawara、M.Furuse、Y.Matsumura 等人：“使用改性硅胶和变色酸 HPLC 方法通过吸附取样测定乙硼烷”Industrial Health 30。（1992 年）。