揮発性希土類錯体の開発と熱CVDによる希土含有フッ化物 薄膜の合成・物性・構造

挥发性稀土配合物的开发以及热CVD含稀土氟化物薄膜的合成、物理性质和结构

• 批准号: 06241252
• 负责人: 河本 洋二
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Kobe University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06241252/
• 关键词: 希土類錯体; フッ化物; 薄膜; CVD

本研究では、希土類錯体と他の金属錯体を出発試薬とし、フッ素化ガスを用いることにより、溶融法では作製が困難な高均質、薄膜状の希土類含有フッ化物ガラスの合成、またこの合成の前駆体として好ましい希土類などの錯体の開発を検討・確立することである。具体的内容は、(1)希土類元素および他の金属元素の揮発性錯体を開発・合成し、それらの錯体ガスとフッ素化ガスの混合体をCVD法を用いての希土類含有フッ化物ガラス薄膜の作製プロセスの開発と、(2)ゾル-ゲル・フッ化法に適した希土類元素のアルコキシド錯体を開発・合成し、ゾル-ゲル法による酸化物前駆体の合成、次いでそのフッ素化による希土類含有フッ化物ガラス薄膜の作製プロセスの開発である。研究実績は次のようである。(1)に関して:揮発性の希土類および他の金属のβ-ジケトン錯体をCVD用気化器およびCVD用ガス混合器にて蒸気化し、それにフッ化剤SF_6を混合し、CVD反応を行なわせ、目的とする希土類含有フッ化物ガラス薄膜の合成に初めて成功した。(2)に関して:各種希土類および各種金属のアルコキシド錯体を合成し、その錯体を用いて、ゾル-ゲル法により希土類含有酸化物薄膜を作製した。次いでその酸化物プレカーサーをフッ化反応ラインを用いてHFあるいはNF_3のフッ素化ガスにてフッ化し、希土類含有フッ化物薄膜を作製の成功した。そして得られた薄膜について物性・構造のキャラクタリゼーションを行なった。

This study で は, greek-turkish misprinted と he の metal misprinted を try out 発 薬 と し, フ ッ element change ガ ス を with い る こ と に よ り, melt で は cropping が difficult な high homogeneous, film の greek-turkish class contains フ ッ compound ガ ラ ス の synthesis, ま た こ の synthetic の 駆 body before と し て good ま し い greek-turkish class な ど の misprinted の open 発 を 検 beg, establish す る こ と で あ る. And the content of the specific は (1) the soil type element お よ び he の metal elements の swing 発 sex misprinted を 発 synthetic し, open そ れ ら の misprinted ガ ス と フ ッ element change ガ ス の mixture を を CVD method using い て の greek-turkish class contains フ ッ compound ガ ラ ス film の cropping プ ロ セ ス の open 発 と, (2) ゾ ル - ゲ ル · フ ッ polarization method に optimum し た greek-turkish class element の ア ル コ キ シ ド misprinted を 発 synthetic し, open ゾ ル - ゲ ル method に よ る acidification 駆 body の before synthesis, い で そ の フ ッ element change に よ る greek-turkish class contains フ ッ compound ガ ラ ス film の cropping プ ロ セ ス の open 発 で あ る. The actual research performance is ようである times ようである. (1) に masato し て : swing 発 sex の greek-turkish class お よ び he の metal の beta ジ ケ ト ン misprinted を CVD with 気 it お よ び CVD with ガ ス mixer に て steamed 気 し, そ れ に フ ッ the tonic SF_6 を mixed し, CVD 応 を line な わ せ, purpose と す る greek-turkish class contains フ ッ compound ガ ラ ス early film の synthetic に め て successful し た. (2) に masato し て : all kinds of greek-turkish class お よ び various metal の ア ル コ キ シ ド misprinted を synthetic し, そ の misprinted を with い て, ゾ ル - ゲ ル method に よ り greek-turkish class contains the acidification content film を cropping し た. Time い で そ の acidification content プ レ カ ー サ ー を フ ッ turn against 応 ラ イ ン を with い て HF あ る い は NF_3 の フ ッ element change ガ ス に て フ ッ し, greek-turkish class contains フ ッ の success the compound film を cropping し た. そ し て have ら れ た film に つ い て property, structure の キ ャ ラ ク タ リ ゼ ー シ ョ ン を line な っ た.

项目成果

A.Konishi et al.: "Synthesis of Filmy ZrF_4-BaF_2 Glasses by Flourination of Amorphoics Oxide Gels" Mat.Res.Bull.(in press).

A.Konishi 等人：“通过非晶氧化物凝胶的氟化合成薄膜 ZrF_4-BaF_2 玻璃”Mat.Res.Bull.（出版中）。

Y.Kawamoto et al.: "Structural Study of ZrF_4-BaF_2-LnF_3 (Ln=Yor Rare Earth Elements)" J.Mat.Sci.Lett. (in press).

Y.Kawamoto 等人：“ZrF_4-BaF_2-LnF_3（Ln=Yor 稀土元素）的结构研究”J.Mat.Sci.Lett。