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分光法による反応生プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発

分光法による反応生プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発
开发利用光谱测量反应等离子体中不发光自由基密度的方法
批准号：
63632006
负责人：
後藤 俊夫
金额：
$8.96万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1988 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63632006/
关键词：
シランプラズマ赤外半導体レーザー吸収法可視レーザー誘起蛍光法SiHm非発光ラジカルアモルファスシリコン反応速度定数拡散定数

项目摘要

项目成果

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研究目的反応生プラズマの物性的・定量的研究を行うには薄膜形成の前駆物質として重要な非発光ラジカルの密度を正確に測定する必要がある。しかしシランプラズマ内に多く存在するSiH_3やSiH_2非発光ラジカルの密度さえまだ測定されていない。本研究では赤外レーザー吸収法、可視及び紫外レーザー分光法(誘起蛍光法、吸収法)を用いたSiHm(m=0-3)非発光ラジカル密度(絶対値)の測定法を開発して、DC及びRFシランプラズマ内の密度測定及び反応速度定数測定等を行う。またそれらの結果を基により簡便な測定法を確立する。63年度研究成果現在までに次の成果を得、63年度当初の研究計画をすべて達成した。1.赤外レーザー吸収法によるラジカル計測(1)直流パルス変調を利用して、SiH_3非発光ラジカルの密度を世界で初めて測定することに成功し、その密度測定法を確立した。さらにこのラジカルの拡散係数及び反応速度定数を決定した。(2)直流パルスプラズマ内のSiH非発光ラジカルの密度測定及び反応速度定数測定を行い、その測定法を確立した。(3)SiH_2ν_2バンドの赤外スペクトルを測定・解析し、電子基底準位内の振動回転準位の分子定数を決定した。2.可視レーザー分光法によるラジカル計測レーザー誘起蛍光法による密度測定を行うためのYAGレーザー装置を購入し、それを含んだ密度測定装置の設計及び製作を行った。上記1.の研究によりSiH〜SiH_3非発光ラジカルの同時測定が可能であることが示された。これはアモルファスシリコンの分野で大きな意味を持つと思われる。
期刊论文(12)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
加藤孝三: Proc.Jpn.Symp.on Plasma Chemistry 1. 1. 11-16 (1988)
加藤幸三：Proc.Jpn.Symp.on Plasma Chemistry 1. 1. 11-16 (1988)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
後藤俊夫: 41 Gaseous Electronics Conf.(Minneapolis). E11 (1988)
Toshio Goto：41 气体电子会议（明尼阿波利斯）（1988 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
加藤孝三: Jpn.J.Appl.Phys.(1989)
加藤幸三：Jpn.J.Appl.Phys.(1989)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
板橋直志: Jpn.J.Appl.Phys.Part2. 27. 1565-1567 (1988)
板桥直志：Jpn.J.Appl.Phys.Part2。27. 1565-1567 (1988)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    ソリトンパルスによるパルス捕捉を用いたパルス光の波長制御・スイッチング
    • 批准号：
      14041206
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $4.35万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      後藤 俊夫
    • 依托单位：
      Nagoya University
    環境調和量子反応制御プロセスに関する調査研究
    • 批准号：
      11895002
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.15万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      後藤 俊夫
    • 依托单位：
      Nagoya University
    分光法による反応性プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発
    • 批准号：
      02214105
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $10.88万
    • 财政年份：
      1990
    • 负责人：
      後藤 俊夫
    • 依托单位：
      Nagoya University
    動的天然物化学研究推進のための総合的研究
    • 批准号：
      01307015
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
    • 资助金额：
      $0.0万
    • 财政年份：
      1989
    • 负责人：
      後藤 俊夫
    • 依托单位：
      Nagoya University