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分光法による反応性プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発

分光法による反応性プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発
开发一种利用光谱测量反应等离子体中非发光自由基密度的方法
批准号：
01632006
负责人：
後藤 俊夫
金额：
$11.14万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1989 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632006/
关键词：
シランプラズマ赤外レーザー吸収法レーザー誘起蛍光法SiHm非発光ラジカルCF非発光ラジカル拡散係数反応速度定数CF_4プラズマ

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项目成果

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研究目的プロセス用反応性プラズマの定量的研究を行うには、薄膜形成の前駆物質として重要な非発光ラジカルの密度を知る必要がある。本研究ではシラン系ラジカルの赤外スペクトル、吸収のf値等を決定すると共に、赤外床び可視レーザ分光法を用いてSiH_m(m=0-3)非発光ラジカル密度(絶対値)測定法を開発し、RFシランプラズマ内のラジカル密度測定を行う。さらにエッチング系のCF_4系ラジカル計測も行い、それらの結果を基に計測法の簡便化を計る。また光イオン化質量分析法等による非発光ラジカルの反応速度定数の測定法の研究も行う。平成元年度研究成果63年度は赤外レーザー吸収法による直流パルスシランプラズマ内のラジカル密度及び拡散係数等の測定、可視レーザー分光法によるラジカル密度測定装置の製作を行った。それを発展させて本年度は次の成果を得た。1.シラン系ラジカルの計測(1)赤外レーザー吸収法を用いてSiH_2の赤外スペクトル(ν_3、ν_1バンド)の解明を行った。また薄膜作製条件下でRFシランプラズマ内のSiH_3非発光ラジカルの密度(絶対値)の空間分布を測定した。(2)ホローカソード光源を利用した紫外吸収法によりRFシランプラズマ内のSi原子密度を測定した。(3)飽和レーゾー誘起蛍光法によるラジカルの可視振動回転線のA係数測定法を確立した。2.赤外レーザー吸収法を用いてCR_4プラズマ内のCFラジカルの密度及び拡散係数を測定した。3.光イオン化質量分析法を用いて炭化水素系非発光ラジカルの反応速度定数を測定した。
期刊论文(32)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
A.Miyoshi: "Reaction of acetaldehyde and acetyl radical with atomic and molecular oxygen" J.Phys.Chem.93. 5813 (1989)
A.Miyoshi：“乙醛和乙酰基与原子和分子氧的反应”J.Phys.Chem.93。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
N.Itabashi: "Diffusion coefficient and reaction rate constant of the SiH_3 radical in silane plasma" Jpn.J.Appl.Phys.28. 325-328 (1989)
N.Itabashi：“硅烷等离子体中SiH_3自由基的扩散系数和反应速率常数”Jpn.J.Appl.Phys.28。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Goto: "Detection of radicals in processing plasmas" Proc.of 4th Int.Conf.on Laser Aided Plasma Diagnostics. November. 462-467 (1989)
T.Goto：“检测等离子体处理中的自由基”Proc.of 4th Int.Conf.on Laser Aided Plasma Diagnostics。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
C.Yamada: "Detection of the silylene ν_2 band by infrared diode laser kinetic spectroscopy" J.Chem.Phys.91. 4582-4586 (1989)
C.Yamada：“通过红外二极管激光动力学光谱检测亚硅基 ν_2 谱带”J.Chem.Phys.91 (1989)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 16 条
    ソリトンパルスによるパルス捕捉を用いたパルス光の波長制御・スイッチング
    • 批准号：
      14041206
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $4.35万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      後藤 俊夫
    • 依托单位：
      Nagoya University
    環境調和量子反応制御プロセスに関する調査研究
    • 批准号：
      11895002
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.15万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      後藤 俊夫
    • 依托单位：
      Nagoya University
    分光法による反応性プラズマ内の非発光ラジカル密度測定法の開発
    • 批准号：
      02214105
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $10.88万
    • 财政年份：
      1990
    • 负责人：
      後藤 俊夫
    • 依托单位：
      Nagoya University
    動的天然物化学研究推進のための総合的研究
    • 批准号：
      01307015
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
    • 资助金额：
      $0.0万
    • 财政年份：
      1989
    • 负责人：
      後藤 俊夫
    • 依托单位：
      Nagoya University