Design and arrangement of the sensors for the detection with small volume of multiple types of gases

小体积多种气体检测传感器的设计与布置

• 批准号: 15K21225
• 负责人: Murakami Sunao
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Kyushu Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2015-04-01 至 2018-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15K21225/
• 关键词: 弾性表面波デバイス; 3次元溝構造; 素子分離; センサ; 微細加工; ３次元溝構造; 圧電マイクロデバイス; MEMS; ガスセンサ; センシングデバイス

项目成果

弾性表面波デバイスアレイへの素子分離溝の作製

声表面波器件阵列中元件隔离槽的制作

• 发表时间: 2016
• 作者: 力丸 真也;冨山 直人;村上 直*;伊藤 高廣;冨山 直人，石井朋幸，村上直* ，伊藤高廣
• 通讯作者: 冨山 直人，石井朋幸，村上直* ，伊藤高廣

金/クロム薄膜電極を有する弾性表面波デバイスの作製

金/铬薄膜电极声表面波器件的制作

• 发表时间: 2017
• 作者: 力丸 真也;冨山 直人;村上 直*;伊藤 高廣
• 通讯作者: 伊藤 高廣

Development of parallelized SAW devices partitioned by microgap structures on a chip

开发由芯片上的微间隙结构划分的并行SAW器件

• 发表时间: 2015
• 作者: Tomoyuki Ishii;Sunao Murakami;Takahiro Ito
• 通讯作者: Takahiro Ito

Microfabrication of the Interdigital Transducers of Metal Thin Film on Piezoelectric Materials

压电材料上金属薄膜叉指换能器的微加工

• 发表时间: 2018
• 作者: Sunao Murakami*;Naoto Tomiyama;Shinya Rikimaru and Takahiro Ito
• 通讯作者: Shinya Rikimaru and Takahiro Ito

圧電マイクロデバイスのための金属薄膜電極パターンの作製

压电微器件金属薄膜电极图案的制作

• 发表时间: 2017
• 作者: 力丸 真也;冨山 直人;村上 直*;伊藤 高廣
• 通讯作者: 伊藤 高廣