Design and arrangement of the sensors for the detection with small volume of multiple types of gases
Design and arrangement of the sensors for the detection with small volume of multiple types of gases
小体积多种气体检测传感器的设计与布置
批准号：
15K21225
负责人：
Murakami Sunao
金额：
$2.83万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
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弾性表面波デバイスアレイへの素子分離溝の作製
声表面波器件阵列中元件隔离槽的制作
声表面波器件阵列中元件隔离槽的制作
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[力丸 真也, 冨山 直人, 村上 直*, 伊藤 高廣, 冨山 直人，石井朋幸，村上直* ，伊藤高廣]
通讯作者：
冨山 直人，石井朋幸，村上直* ，伊藤高廣
金/クロム薄膜電極を有する弾性表面波デバイスの作製
金/铬薄膜电极声表面波器件的制作
金/铬薄膜电极声表面波器件的制作
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[力丸 真也, 冨山 直人, 村上 直*, 伊藤 高廣]
通讯作者：
伊藤 高廣
Development of parallelized SAW devices partitioned by microgap structures on a chip
开发由芯片上的微间隙结构划分的并行SAW器件
开发由芯片上的微间隙结构划分的并行SAW器件
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Tomoyuki Ishii, Sunao Murakami, Takahiro Ito]
通讯作者：
Takahiro Ito
Microfabrication of the Interdigital Transducers of Metal Thin Film on Piezoelectric Materials
压电材料上金属薄膜叉指换能器的微加工
压电材料上金属薄膜叉指换能器的微加工
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Sunao Murakami*, Naoto Tomiyama, Shinya Rikimaru and Takahiro Ito]
通讯作者：
Shinya Rikimaru and Takahiro Ito
圧電マイクロデバイスのための金属薄膜電極パターンの作製
压电微器件金属薄膜电极图案的制作
压电微器件金属薄膜电极图案的制作
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[力丸 真也, 冨山 直人, 村上 直*, 伊藤 高廣]
通讯作者：
伊藤 高廣