Creation of ultrahigh-performance piezoelectric micromachined ultrasonic rangefinder and its application to robot system
Creation of ultrahigh-performance piezoelectric micromachined ultrasonic rangefinder and its application to robot system
超高性能压电微机械超声波测距仪的研制及其在机器人系统中的应用
批准号：
16K17500
负责人：
Yoshida Shinya
金额：
$2.66万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2018-03-31
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エピタキシャルPMnN-PZT/Si トランスデューサを用いた高S/N 比pMUTレンジファインダー
使用外延 PMnN-PZT/Si 传感器的高信噪比 pMUT 测距仪
使用外延 PMnN-PZT/Si 传感器的高信噪比 pMUT 测距仪
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[吉田 慎哉，周 朕，田中 秀治]
通讯作者：
吉田 慎哉，周 朕，田中 秀治
MEMS用PZTの高性能化
提高 MEMS 中 PZT 的性能
提高 MEMS 中 PZT 的性能
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
セラミックデータブック2016/17
影响因子：
--
作者：
[Shota Sakamoto, Kennedy Okeyo, Satoshi Yamazaki, Osamu Kurosawa, Hidehiro Oana, Hidetoshi Kotera, and Masao Washizu, 吉田 慎哉]
通讯作者：
吉田 慎哉
MONOCRYSTALLINE PMNN-PZT THIN FILM ULTRASONIC RANGEFINDER WITH 2 METER RANGE AT 1 VOLT DRIVE
单晶 PMNN-PZT 薄膜超声波测距仪，1 伏驱动时测距范围为 2 米
单晶 PMNN-PZT 薄膜超声波测距仪，1 伏驱动时测距范围为 2 米
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[吉田 慎哉，周 朕，田中 秀治, Shinya Yoshida]
通讯作者：
Shinya Yoshida
東北大学 研究者紹介
东北大学研究员介绍
东北大学研究员介绍
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
Sputtering Epitaxy of Highly c-Axis Oriented PMnN-PZT Thin Film on SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si for Piezoelectric MEMS Sensors
用于压电 MEMS 传感器的 SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si 上高度 c 轴取向 PMnN-PZT 薄膜的溅射外延
用于压电 MEMS 传感器的 SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si 上高度 c 轴取向 PMnN-PZT 薄膜的溅射外延
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[田中あや, 藤井裕紀, 手島哲彦, 河西奈保子, 岡嶋孝治, 中島 寛, Pham Ngoc Thao，Shinya Yoshida，Shuji Tanaka]
通讯作者：
Pham Ngoc Thao，Shinya Yoshida，Shuji Tanaka
共 14 条
Creation of Giant Piezoelectric Transducer Thin Film with High Curie Point and Breaking Performance Limit of Piezoelectric MEMS
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批准号：19K05231
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.75万
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财政年份：2019
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负责人：Yoshida Shinya
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依托单位：
海外基金