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Creation of Giant Piezoelectric Transducer Thin Film with High Curie Point and Breaking Performance Limit of Piezoelectric MEMS

Creation of Giant Piezoelectric Transducer Thin Film with High Curie Point and Breaking Performance Limit of Piezoelectric MEMS
创造巨型高居里点压电换能器薄膜并突破压电MEMS性能极限
批准号：
19K05231
负责人：
Yoshida Shinya
金额：
$2.75万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K05231/
关键词：
圧電ＭＥＭＳスパッタ法エピタキシャル成長単結晶アクチュエータ微小電気機械システム（MEMS）圧電MEMSアクチュエータキュリー点変調圧電MEMSMEMSアクチュエータ圧電単結晶薄膜スパッタ成膜

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圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
压电MEMS高性能压电薄膜的开发
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Qi Xuanmeng, Yoshida Shinya, Tanaka Shuji, 吉田 慎哉]
通讯作者： 吉田 慎哉
Development of Sputter Deposition Technology of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film with Pure Perovskite Phase on Si for Piezoelectric MEMS Actuator
用于压电MEMS执行器的硅基纯钙钛矿相钐掺杂Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3外延薄膜溅射沉积技术开发
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka]
通讯作者： Shuji Tanaka
Sm-doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 Sputter-Epitaxy on Si Towards Giant-Piezoelectric Thin Film for Mems
用于MEMS的Sm掺杂Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3溅射外延硅薄膜
DOI： 10.1109/mems51782.2021.9375393
发表时间： 2021
期刊： Proceedings of 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子： --
作者： [Qi Xuanmeng, Yoshida Shinya, Tanaka Shuji]
通讯作者： Tanaka Shuji
Fabrication of Pure-Perovskite-Phase Sm-Doped Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film on Si by Magnetron Sputter using Powder Target
粉末靶材磁控溅射在硅上制备纯钙钛矿相 Sm 掺杂 Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 外延薄膜
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka]
通讯作者： Shuji Tanaka
共 11 条
    Creation of ultrahigh-performance piezoelectric micromachined ultrasonic rangefinder and its application to robot system
    • 批准号：
      16K17500
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      Yoshida Shinya
    • 依托单位：
      Tohoku University
    海外基金