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Creation of Giant Piezoelectric Transducer Thin Film with High Curie Point and Breaking Performance Limit of Piezoelectric MEMS
创造巨型高居里点压电换能器薄膜并突破压电MEMS性能极限
基本信息
- 批准号：19K05231
- 负责人：
- 金额：$ 2.75万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2019
- 资助国家：日本
- 起止时间：2019-04-01 至 2022-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（13）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
压电MEMS高性能压电薄膜的开发
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉
- 通讯作者：吉田 慎哉
Development of Sputter Deposition Technology of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film with Pure Perovskite Phase on Si for Piezoelectric MEMS Actuator
用于压电MEMS执行器的硅基纯钙钛矿相钐掺杂Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3外延薄膜溅射沉积技术开发
- DOI：
- 发表时间：2020
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Xuanmeng Qi;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
- 通讯作者：Shuji Tanaka
Sm-doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 Sputter-Epitaxy on Si Towards Giant-Piezoelectric Thin Film for Mems
用于MEMS的Sm掺杂Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3溅射外延硅薄膜
- DOI：10.1109/mems51782.2021.9375393
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji
- 通讯作者：Tanaka Shuji
Fabrication of Pure-Perovskite-Phase Sm-Doped Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film on Si by Magnetron Sputter using Powder Target
粉末靶材磁控溅射在硅上制备纯钙钛矿相 Sm 掺杂 Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 外延薄膜
- DOI：
- 发表时间：2020
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Xuanmeng Qi;Shinya Yoshida;Shuji Tanaka
- 通讯作者：Shuji Tanaka
エピタキシャル圧電薄膜のSi基板上への成膜と高性能MEMSの創出
在硅衬底上沉积外延压电薄膜并创建高性能MEMS
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉;吉田 慎哉
- 通讯作者：吉田 慎哉
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Yoshida Shinya其他文献
A genome-wide association study identifies novel loci associated with rice panicle structure
全基因组关联研究确定了与水稻穗结构相关的新位点
- DOI：
- 发表时间：
2018 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Yano Kenji;Yoshida Shinya;Tamiya Gen;Hirano Ko;Kitano Hidemi;Matsuoka Makoto - 通讯作者：
Matsuoka Makoto
Anterior cruciate ligament reconstruction with ultrasound-guided femoral nerve block does not adversely affect knee extensor strength beyond that seen with intravenous patient-controlled analgesia at 3 and 6?months postoperatively
与术后 3 个月和 6 个月静脉自控镇痛相比，采用超声引导股神经阻滞进行前交叉韧带重建不会对膝关节伸肌强度产生不利影响
- DOI：
10.1016/j.knee.2022.01.006 - 发表时间：
2022 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Sengoku Takuya;Nakase Junsuke;Morita Yui;Asai Kazuki;Yoshimizu Rikuto;Kimura Mitsuhiro;Sakurai Goro;Yoshida Shinya;Yahata Tetsutaro;Tsuchiya Hiroyuki - 通讯作者：
Tsuchiya Hiroyuki
The effect of gracilis tendon harvesting in addition to semitendinosus tendon harvesting on knee extensor and flexor strength after anterior cruciate ligament reconstruction
截取股薄肌腱联合截取半腱肌腱对前交叉韧带重建后膝关节伸、屈肌力量的影响
- DOI：
10.1007/s00402-021-03877-1 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：2.3
- 作者：
Sengoku Takuya;Nakase Junsuke;Asai Kazuki;Yoshimizu Rikuto;Sakurai Goro;Yoshida Shinya;Yahata Tetsutaro;Tsuchiya Hiroyuki - 通讯作者：
Tsuchiya Hiroyuki
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{{ truncateString('Yoshida Shinya', 18)}}的其他基金
Creation of ultrahigh-performance piezoelectric micromachined ultrasonic rangefinder and its application to robot system
超高性能压电微机械超声波测距仪的研制及其在机器人系统中的应用
- 批准号：
16K17500 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
相似海外基金
ＥＣＲスパッタ法より形成したＨｆＯＮ薄膜の３次元ゲートデバイス応用
ECR溅射法形成HfON薄膜三维栅器件应用
- 批准号：
10J08545 - 财政年份：2010
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
後酸化逆スパッタ法による高活性光触媒薄膜の高速低温成膜技術開発
利用后氧化反溅射法开发高活性光催化薄膜高速低温沉积技术
- 批准号：
18760553 - 财政年份：2006
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
スパッタ法によるアルカリ金属ドープカーボンニノチューブ形成メカニズムの研究
溅射法碱金属掺杂碳纳米管形成机理研究
- 批准号：
14655019 - 财政年份：2002
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
熱電子・スパッタ法による一次元ナノ・カーボン・ファイバを含む複合炭素薄膜
热离子/溅射法制备含有一维纳米碳纤维的复合碳薄膜
- 批准号：
13875060 - 财政年份：2001
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
スパッタ法で合成した金属間化合物膜の構造と物性
溅射法合成金属间化合物薄膜的结构与物理性能
- 批准号：
98F00422 - 财政年份：1999
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
スパッタ法により作成したIr薄膜の成長組織
溅射法制备 Ir 薄膜的生长结构
- 批准号：
08650830 - 财政年份：1996
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
間欠反応スパッタ法によるCo/Al-O変調酸化多層膜のトンネル伝導と磁化過程
间歇反应溅射法Co/Al-O调制氧化物多层膜的隧道传导和磁化过程
- 批准号：
07750721 - 财政年份：1995
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
反応性スパッタ法による機能性セラミック薄膜形成過程における飛来粒子の質量分析
反应溅射形成功能陶瓷薄膜过程中飞行颗粒的质量分析
- 批准号：
07750921 - 财政年份：1995
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
重希ガスを用いたスパッタ法によるBaフェライト薄膜のイオン分布制御と特性向上
重稀有气体溅射法制备Ba铁氧体薄膜的离子分布控制及性能改善
- 批准号：
07750342 - 财政年份：1995
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
スパッタ法による歪み酸化鉄薄膜の磁気光学特性
溅射法制备应变氧化铁薄膜的磁光特性
- 批准号：
05855130 - 财政年份：1993
- 资助金额：
$ 2.75万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)