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monitoring of change in plasma impedance caused by particle

monitoring of change in plasma impedance caused by particle
监测粒子引起的等离子体阻抗变化
批准号：
16K21676
负责人：
Kasashima Yuji
金额：
$2.58万
依托单位：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16K21676/
关键词：
プラズマインピーダンス微粒子パーティクルプラズマエッチングインピーダンスエッチングプラズマ加工プラズマ・核融合

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Increase in Size of Flaked Particles Suddenly Generated by Impulsive Force in Mass-production Plasma Etching Equipment
量产等离子蚀刻设备中脉冲力突然产生的片状颗粒尺寸增大
DOI： 10.3131/jvsj2.59.360
发表时间： 2016
期刊： Journal of the Vacuum Society of Japan
影响因子： --
作者： [Yuji Kasashima, Fumihiko Uesugi]
通讯作者： Fumihiko Uesugi
Development of monitoring method for deposited film causing particles in mass-production plasma etching process using a load impedance monitoring system
使用负载阻抗监测系统开发大规模生产等离子蚀刻过程中沉积膜产生颗粒的监测方法
DOI： --
发表时间： 2016
期刊： Proceedings of International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2016
影响因子： --
作者： [Yuji Kasashima, Fumihiko Uesugi]
通讯作者： Fumihiko Uesugi
プラズマエッチングプロセスにおけるパーティクル検出手法の開発
等离子刻蚀过程中颗粒检测方法的研制
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [Nonogaki S., Masumoto S., and Nemoto T., 笠嶋悠司]
通讯作者： 笠嶋悠司
Easy-to-use detection method for micro-arc discharge in plasma etching equipment by measuring current flowing to ground
通过测量流向地面的电流来检测等离子蚀刻设备中微弧放电的简便方法
DOI： 10.7567/jjap.57.098002
发表时间： 2018
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [阿部亮介, 宮本定明, 遠藤靖典, 竹下潤一, Kasashima Yuji]
通讯作者： Kasashima Yuji
共 6 条
    Investigation of the mechanism of flaked particle generated in plasma etching
    国内基金
    海外基金
    工程肠球菌干扰微孢子虫谷胱甘肽系统抑制家蚕微粒子病发生机制的研究
    • 批准号：
      QN25C170007
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2025
    • 负责人：
      张宪翠
    • 依托单位：
      湖州师范学院
    微粒子高速冲击下软组织层合凝胶的动态力学行为研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2025
    • 负责人：
    • 依托单位：
      南京工程学院
    家蚕微粒子虫转录因子NbSte12的鉴定及调控功能研究
    • 批准号：
      CSTB2023NSCQ-MSX0228
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      10.0万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      龙梦娴
    • 依托单位：
      西南大学
    家蚕微粒子虫凝集素NbRBL2抑制宿主生长的分子机理
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      54万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      李田
    • 依托单位：
      西南大学