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Development of UV nanoimprint process in mixed condensable gas

Development of UV nanoimprint process in mixed condensable gas
混合凝结气体UV纳米压印工艺的发展
批准号：
17K14575
负责人：
Suzuki Kenta
金额：
$2.83万
依托单位：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-17K14575/
关键词：
ナノインプリント凝縮性ガスリソグラフィハイドロフルオロオレフィンバブル欠陥飽和蒸気圧マイクロ・ナノデバイスデバイス設計・製造プロセス

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通讯作者： 鈴木健太,倉島優一,尹成圓,高木秀樹,廣島洋,大島清志,小林英樹
共 15 条
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    • 批准号：
      15K18566
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Suzuki Kenta
    • 依托单位：
      Nihon institute of Medical Science
    海外基金