Research on Thin Pixel Detector with SOI Technology for High-rate Experiments

适用于高速率实验的SOI技术薄像素探测器研究

• 批准号: 21244040
• 负责人: ARAI Yasuo
• 金额: $ 25.71万
• 依托单位: High Energy Accelerator Research Organization
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21244040/
• 关键词: Silicon On Insulator; Pixel 検出器; 素粒子実験; 半導体超微細化; 放射線; Silicon-On-Insulator; 放射線、X線、粒子線; ピクセル検出器; 放射線イメージセンサー; Silicon-On Insulator

In this research project, we developed Silicon-On-Insulator (SOI)pixel radiation detectors (called SOIPIX) which can be thinned to 50 um and have more than 1 Mega pixels. We have demonstrated the resolution of a few micron by doingaccelerator beam test. In addition, we performed radiation tolerance test of the detector and made simulations to study its mechanism, and improved the tolerance by changing the process.

在这个研究项目中，我们开发了绝缘体上硅（SOI）像素辐射探测器（称为SOIPIX），它可以减薄到50 μ m，并具有超过1兆像素。通过加速器束流实验，我们证明了几微米的分辨率.此外，我们还对探测器进行了耐辐射性能测试，并进行了模拟实验，研究了其耐辐射机理，并通过改变工艺提高了耐辐射性能。

项目成果

Tests With Soft X-rays of an Improved Monolithic SOI Active Pixel Sensor

• DOI: 10.1109/tns.2012.2231880
• 发表时间: 2013-02-01
• 期刊: IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE
• 影响因子: 1.8
• 作者: Ryu, Syukyo Gando;Tsuru, Takeshi Go;Iwata, Atsushi
• 通讯作者: Iwata, Atsushi

27aFB-6 、「高エネルギー加速器実験に向けてのSOI検出器PIXOR1の試験評価」、素粒子実験領域

27aFB-6，“用于高能加速器实验的SOI探测器PIXOR1的测试评估”，粒子实验区

• 发表时间: 2013
• 作者: R. Masutomi;T. Chiba;K. Sasaki;I. Yasuda;A. Sekine;K. Sawano;Y. Shiraki;T. Okamoto;小野善将
• 通讯作者: 小野善将

2 層埋込酸化膜構造をもつSOI ピクセル検出器のTID 放射線耐性の評価

两层埋氧结构SOI像素探测器的TID抗辐射性能评估

• 发表时间: 2013
• 作者: R. Masutomi;K. Sasaki;I. Yasuda;A. Sekine;K. Sawano;Y. Shiraki;and T. Okamoto;若林知成;本多俊介
• 通讯作者: 本多俊介

SOI pixel検出器を用いた電子線飛跡再構成実験

使用 SOI 像素探测器进行电子轨迹重建实验

• 发表时间: 2011
• 作者: Y.Kanai;R.S.Deacon;A.Oiwa;K.Yoshida;K.Shibata;K.Hirakawa;S.Tarucha;T. Inoue;M.Harada;葛山浩教
• 通讯作者: 葛山浩教

SOI 技術を用いた読み出し一体型ピクセル検出器の開発

利用SOI技术开发读出集成像素探测器

• 发表时间: 2010
• 作者: T.Fujita;H.Kiyama;S.Teraoka;A.Oiwa;S.Tarucha;赤木和人;新庄康平
• 通讯作者: 新庄康平