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プラズマ酸化及びエピタキシー法による化合物半導体素子の表面不活性化

プラズマ酸化及びエピタキシー法による化合物半導体素子の表面不活性化
使用等离子体氧化和外延方法对化合物半导体器件进行表面钝化
批准号:
X00040----021805
负责人:
菅野 卓雄
金额:
$4.48万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份:
1975
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1975 至 --
关键词:

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クーロン・ブロッケードを利用したナノパワー超高速エレクトロニクスの研究
  • 批准号:
    05302035
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
  • 资助金额:
    $3.07万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    菅野 卓雄
  • 依托单位:
高温超伝導材料の集積回路への応用の研究
  • 批准号:
    03210210
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $4.8万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    菅野 卓雄
  • 依托单位:
高温超伝導材料の集積回路への応用の研究
  • 批准号:
    02226210
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $6.34万
  • 财政年份:
    1990
  • 负责人:
    菅野 卓雄
  • 依托单位:
原子・分子系の配列制御とそのニュ-ロ機能への展開
  • 批准号:
    01306013
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
  • 资助金额:
    $1.41万
  • 财政年份:
    1989
  • 负责人:
    菅野 卓雄
  • 依托单位: